: P+ z; g: h8 n: n" U# v$ Z/ t7 |FabEX系列產品：化願景為真實 " Q8 B, Y& _# j) y2 C5 V+ V2 F
FabEX系列產品可說是一種最佳化的自動材料處理系統（Automated Material Handling Systems, AMHS），能夠以高速（每秒三公尺以上）輸送將前開式晶圓傳輸盒（Front Opening United Pods, FOUPs），遠超過目前市面上的AMHS產品可達的速度。能夠在轉彎或斜坡處移動時，並將震動降至最低。最後，由於FabEX不需任何運輸工具，因此可提供現有傳輸系統可承擔的高承載量。上述系統均結合由精密網路協定構成的控制器與軟體，半導體工廠可無接縫地整合該系統。 ; F" E t. R/ S" H" }5 Y 2 h9 `0 v% O) C( ?$ A在傳統12吋晶圓廠，等待傳輸工具抵達、拿取及運送晶圓時間通常要60秒或更多。平均而言，FabEX AMHS可將這個時間降低至5秒以下。FabEX的另一項特點為與生俱來的簡易性，由於其運輸部分大幅度降低，因此更為可靠且持有成本更低。目前FebEX系列產品鎖定高階12吋晶圓廠。 5 h1 d- z- T7 g! b. M/ y' n
, k3 j* V. g" H* l3 @+ B& o( x8 d; B5 X該產品於2007年10月，獲得美國專利暨商標局（United State Patent and Trademark Office, USPTO）的專利認證，專利編號7,281,623，並包括36項專利權。一般的專利認證平均需花費三年時間才能取得，但是Aquest Systems在短短18個月內即獲得此一認證。FEX AMHS產品獲得專利的主要原因在於能夠以每秒三公尺以上的高速輸送晶圓盒，同時在轉彎及斜坡上也能運作並將摩擦降到最低，以增加輸送的可靠度。 & ^4 _3 A. W( E; D
( \$ c- {, Z, g* R6 L除上述專利外，Aquest Systems尚有十多款以上專利正在美國及其他國家進行申請程序，內容包括保障FabEX產品在降低輸送時間、增進運輸負載、易於安裝，及維修與彈性上的保證。 , V; }/ N+ w' A) q* f9 t
; C( N H( r) u( l0 @獲得客戶的採用及肯定 8 o2 M ^) D' p6 I
Aquest Systems於今年7月宣布，其FabEX AMHS產品獲得台灣半導體記憶體大廠PowerChip，金額超過兩百萬美元的訂單，該設備將安裝於12A及12B兩座PowerChip的12吋晶圓廠。此外，該產品並獲得國內外許多IC製造大廠的關注及詢問。