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標題: DRACULA 中的ATTRIBUTE CAP問題 [打印本頁]
作者: comochen    時間: 2009-11-28 01:15 PM
標題: DRACULA 中的ATTRIBUTE CAP問題
各位好,
7 {3 q) ]2 ^2 o! B$ h; k最近在參考Foundry的LPE command file對寄生參數的寫法時,對ATTRIBUTE  CAP的語法有些疑惑
8 x; e7 j# P  n; p依照Dracula Reference內ATTRIBUTE CAP章節內Case 4的定義如下. i2 Z* C) d, y6 q" q. ~; }
Case 4:6 q* h: o5 d' W3 F" W
PARASITIC CAP {subType} device_layer terminal_layer1 terminal_layer2
3 r: P8 W# z  R6 S& IATTRIBUTE CAP {subType} areaCoeff perimCoeff depthRange sidewallCoeff( |0 [) Z2 o& ^- U9 k& b
且參考此章節Example 4 中的例子& w* \2 j) Z; x: Z6 Q1 t2 J& M
*OPERATION' |: F* p: I2 J1 s* X
PARASITIC   CAP[F]      M12 MET1 MET2
5 u4 A' @0 _% j8 `2 N1 {ATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.2 0.019 ; PIECE-WISE COEFFICIENT6 \6 H; B+ g( D' ?
ATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.6 0.032 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
& n' {! Z- F7 ?% WLEXTRACT NEWE M12 BY CAP[F] PFILE & ; FLEXIBLE EQUATION0 ~+ i  C# y; z# m  I0 F- f
EQUATION C= 0.5*AREA +1.2*(PERI-TPR) + CLL
" G) S4 r( _- C3 W.../ n" x: b  g4 c( O& [2 `' i
*END0 R" J% y) G% t, _( J) ^3 e0 [
[attach]8504[/attach]! \1 h6 w, S; e& J! @% J! J0 d" {
其中(若以下解釋有錯請糾正我)
$ r% \2 T4 U. L! q* DareaCoeff為M12的單位面積寄生電容值(Ca)
$ y  O  a) _" M2 @- zperimCoeff為M12的邊緣電容值* Y7 {& ]4 a) U$ p( A  ]
depthRange為M12距離MET1的距離+ c1 Z3 ?4 f" ~8 j& S: C
sidewallCoeff為不同距離區間下M12與MET1的Fringe電容值1 |! i$ w1 g, h1 [3 H

# R5 x9 a% Q1 T& z8 ~以下為我節取一段Foundry的LPE command
5 s# m8 n; ]+ \1 y4 V! Y% {2 x   PARASITIC  CAP[A3]  M12      ME1       ME2      
: Q4 m  v* _. w- U: O   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.42  1.6709E-05& e" {" s9 F4 [6 F. p# J) D
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.966664  4.20651E-058 R2 N7 W. c6 _( ^% h
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  1.51333  5.99823E-05
) y/ E1 ^9 I* c  O   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.06  7.1379E-05" E; [$ p( @# L: W  n( g5 e' A! |
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.60666  7.83301E-05
2 G# h/ U, }/ G7 d- h6 N8 l   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  3.15334  8.2139E-057 X) d$ @4 B! Y( X3 |7 R, w
為何ME1距離M12越遠Fringe電容值越大？
$ i  o* H/ h9 U& b電容不是兩端越遠電容值越小嗎？
5 s/ O. F# N4 d4 O2 \* J& P還是我根本就理解錯誤？
+ f! t  r* U9 y* L( h+ _6 A+ t) Q& ~) c懇請各位不吝指教,感謝!!感謝!!
作者: jkchien    時間: 2010-4-23 05:11 PM
你對sidewall coeff理解有疑問，你的中文解釋和圖形例子有問題; f; z- M4 R$ H# j/ `
那張圖是用來說明case3 fringe coeff ，不是用來說明case 4. i0 E  I" V1 B- H9 k4 t/ b- a
case 4是 除了原本的area and peri parameters，對sidewall-up或是sidewall-down作coeff 做出計算並且透過公式加總等效電容值



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