標題: 請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??) [打印本頁] 作者: vincent_p0593 時間: 2010-4-27 11:21 AM 標題: 請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??) 請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??( p+ l4 ^! P) \
一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick) . m7 r a# P2 M. C$ tX/Y/Z??作者: vincent_p0593 時間: 2010-4-29 12:09 PM
自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解8 P, G+ {8 c& K
5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚) ! F# K8 d! t( h. ^: U每個process node各有其定義的厚度給x,y,z8 M* m# p' @ U! ?5 m. P( O W
; A2 B* Y& u) J% S! Q$ j/ ]; m5 Y; V
目前的了解,...歡迎補充.作者: yytseng 時間: 2010-5-21 12:13 AM 回復 2#vincent_p0593( A+ T, n+ z; g( k; I" C
% m# c7 [( z+ O$ _5x2y2z = 1p10M 5 k1 W5 Z; I* _ X+ s1 ^6 C6 t$ o/ [! W" B% V
台積的metal定義中 ) F& q8 w; _& L0 \% g* B
M1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....4 S( i# h# F0 [0 S/ j
M2以上為 X 代表一倍厚度3 E- T S! w0 m" e8 j
M5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度) & z; G! [, i8 ?& ` F. N; I/ d1 A' {9 P$ u( n1 N4 b) m5 o
不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同+ l: [+ `; {( K5 W3 {' \
6 F( D) [/ K# w# G& f7 f
1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁) . O2 f0 M$ {! p# q- A# n. L詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到作者: vincent_p0593 時間: 2010-5-24 05:45 PM
了解所述, 感謝!+ E. q Y. ~; z4 F1 E6 i+ j0 T/ ]
如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y? # u1 ]- V. C# Z* d5 K5 QYZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍$ B1 @ V" T5 R) o
Y, YZ, Z都可當top metal?3 n/ p; z& W- g% `! S/ l9 L7 [0 j
* G! h7 r4 p, S1 j* nThanks in advance.作者: cmyangf 時間: 2010-6-1 10:53 PM
要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.作者: AnnLin 時間: 2015-11-24 02:59 PM
原來如此, 長知識了! 感謝!作者: lowstar 時間: 2019-3-9 05:16 PM
Wow ' H* }4 P r! X! f4 AI think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house. 0 Z: d" D' A3 m, b0 M. n+ E6 q5 P* R( p8 i8 M) [: n. D! w
& f9 j/ v: [, ]4 z: @2 D