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標題: 请问在mim电容下放器件需要注意哪些呢？ [打印本頁]

作者: scy8080 時間: 2010-5-21 03:14 PM
標題: 请问在mim电容下放器件需要注意哪些呢？
我准备用smic.18 1p6m rf工艺，需要在mim电容下面放器件来节省面积，有这么做过的大大讲下需要注意哪方面呢？谢谢
比如电容匹配性影响，寄生电容影响等，如何精确计算评估这些寄生影响，及后仿如何提取出这些参数影响呢。

作者: Nancy_Yeh 時間: 2010-6-2 11:39 AM
MIM底下最常放的東西是邏輯
但是也要RD同意
至於寄生電容收抽POSTSIM就知道啦
如果是很重要的電容要做match
那當然不能放啦
要放也要RD同意

作者: scy8080 時間: 2010-6-11 10:46 AM
谢谢，仔细看了design rule，规定下面不能放任何有源和无源器件。

作者: smilodon 時間: 2010-7-10 02:02 PM

谢谢，仔细看了design rule，规定下面不能放任何有源和无源器件。0 l* R7 d5 ^$ i# X- \- F% w" H
scy8080 發表於 2010-6-11 10:46 AM

Foundry的rule是为了保证MIM电容的可靠性和精度，实际上，我们在下面做过期间，不过我们的MIM电容和下面的MOS电容都是加在电源和地之间，起decoupling作用，是在HHNEC 0.13um工艺上实现的。

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