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標題:
何謂 field oxide、 gate oxide,、thin oxide，thick oxide
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作者:
372412
時間:
2011-5-15 10:09 PM
標題:
何謂 field oxide、 gate oxide,、thin oxide，thick oxide
在書上常見到 field oxide、 gate oxide,、thin oxide，thick oxide
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但是真是讓這些名詞給搞亂了，不知道有何差別。所以想向網路上各位先進請教
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不知是否有剖面圖 cross-section 可以參考，已方便做比較。
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謝謝
作者:
小緯仔
時間:
2011-5-17 01:04 AM
基本上....field oxide = thick oxide 簡單的說就是OD之外的部分....
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gate oxide = thin oxide 長在poly 下層的 oxide....
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