Chip123 科技應用創新平台
標題:
Layout Design Rule Considerations：How to set up the Space of Rpoly？
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作者:
CHIP321
時間:
2011-11-25 05:12 PM
標題:
Layout Design Rule Considerations：How to set up the Space of Rpoly？
Layout Design Rule Considerations：How to set up the Space of Rpoly？
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用於製作電阻的POLY間距在LDR中通常要遠大于GATE POLY的間距？較大的間距會帶來什麽收益？是出於PR的考慮or Etch的要求呢？
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若是基於精度控制，爲何GATE POLY不做此項有求？
作者:
MTK1019
時間:
2011-11-25 05:44 PM
1，FOX 比栅氧要厚，也就是 Etch的时候 接触面是要算立体的吧。FOX厚多少 宽度自然要加多少。
2 i) z' w% _! G7 T+ R7 c
2，Rploy 是生长在场氧上（FOX），相对栅氧是不平整的。距离大“翘起”效应低一点。
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个人的一点浅见，多多指教。
作者:
Clemens71
時間:
2011-12-1 01:46 AM
goooooooooooooooooooooooooooooooood
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