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標題:
請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何？
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作者:
vic
時間:
2012-3-6 06:21 AM
標題:
請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何？
各位大大您們好！
$ `6 b! [+ H8 l- I2 E
請問有人知道 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 在製程上的的功用為何呢？
+ @' }' z1 \8 B/ r1 `3 h
謝謝！
作者:
despair
時間:
2012-3-7 11:50 AM
Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX)
2 h- Z) b$ A/ G- g
5 R+ X" J4 I3 Q4 N- c
不管前者或後者者都可以提供組成device的一個感應電極。
2 g! v. R+ J+ {9 [2 I9 g
（如CMOS device or Field Oxide Device）
, T0 [, E- p$ v" T/ M# p( O
: O& h+ h' l4 Q! A' n+ H- G
但前者較長使用在CMOS邏輯製程中MOS的Gate極點，而後者常用
1 K# {3 F' i0 o$ b) p3 P
在device之間的絕緣使用。
作者:
vic
時間:
2012-3-8 03:00 PM
簡單明暸...
( k: T/ r+ g4 R. i; Z
謝謝大大的解答...
5 ?2 A$ Y# s! ?8 H. i
讓小弟受益良多...
0 @+ u {7 B. l+ ^% x
感恩！
作者:
klim
時間:
2012-4-20 12:29 PM
那請問, 若使用FOX其MASK layer要增加嗎?
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