Chip123 科技應用創新平台
標題:
請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何？
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作者:
vic
時間:
2012-3-6 06:21 AM
標題:
請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何？
各位大大您們好！
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請問有人知道 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 在製程上的的功用為何呢？
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謝謝！
作者:
despair
時間:
2012-3-7 11:50 AM
Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX)
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不管前者或後者者都可以提供組成device的一個感應電極。
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（如CMOS device or Field Oxide Device）
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但前者較長使用在CMOS邏輯製程中MOS的Gate極點，而後者常用
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在device之間的絕緣使用。
作者:
vic
時間:
2012-3-8 03:00 PM
簡單明暸...
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謝謝大大的解答...
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讓小弟受益良多...
5 f/ c# p s9 Z! x/ Y
感恩！
作者:
klim
時間:
2012-4-20 12:29 PM
那請問, 若使用FOX其MASK layer要增加嗎?
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