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標題: 請教DRC Error (dummy) - NO.IND.M1.R 1 [打印本頁]

作者: mrj0702    時間: 2012-8-8 07:43 PM
標題: 請教DRC Error (dummy) - NO.IND.M1.R 1
本帖最後由 mrj0702 於 2012-8-8 07:58 PM 編輯
* ], q! _$ v# D( N& t
+ P! r$ m: H1 i. A% z各位好:
6 R6 j* \! i2 Q4 ~9 T我是在學的大學生,接觸Layout的時間並不長,所以請各位多多包涵與指教。
( n# D0 f8 x* S% P: x9 l' d* k; o6 l1 [  a2 b
我使用TSMC的PDK繪製了一個OP。
) t  i1 y' G. ~9 Q" l4 _
0 X7 z& O9 c& W- O在下線申請的假錯列表中,有幾項DRC Error是不能忽略的。
: ?9 z& t/ O4 T. a7 GDensity的錯誤(NO.IND.PO.R.3、NO.IND.M1.R1~M5.R1、UTM20K.R.1)! j, m5 D  e5 `

% ?  N7 r/ o5 S, S1 `5 ?4 y0 Z! h$ C因為我不會使用輔助工具來自動填補,所以OP旁邊的Dummy(5um*5um)是自己手動補上的(範圍1mm*1mm)。! m" f1 R3 P5 T/ v
我試著將M1-M6/dum重疊,不過這些Dummy的錯誤依然無法去除。' ?! w/ U+ C: v
我想我肯定是漏了其他金屬層的Dummy,所以這個DRC Error 才會無法去除。7 b# k: n; d5 e$ z

" D. `7 K! Y" I# t有前輩能夠指教如何自動填補Dummy?或者手動補Dummy需要那些金屬層?
作者: glavine    時間: 2012-8-14 03:36 PM
那個錯誤是密度不夠 po密度要到14%3 {4 D9 a9 S+ ]- N8 h% `+ ~
其他m1~m6都要填佔整顆晶片的30%
作者: ONLYFLYSKY    時間: 2012-8-15 02:40 AM
本帖最後由 ONLYFLYSKY 於 2012-8-15 02:52 AM 編輯
  S2 S: Q) i- I9 G5 F; }4 W0 W% \+ d7 w( {0 Y; O/ a
要補,,因為是看整片WAFFER的面積,至少確保您的部份是OK的 ,所以後續CIC在補不足的部份不用補那麼大的面積,對他們來說是省時省事,也確保在補時不會動到下片的人的晶片,這是看空的部份來禣的。5 C6 E1 o2 E* m

( V2 r6 D6 U4 W1 M4 {: c( v$ _6 a" j4 z) y( h
不用補,因為是看整片WAFFER的面積,你的沒補,或許可以靠 其他人的來補償你不足的部份。--->等你出社會時跟其他業者搭BUS時,製程廠如果可以讓你忽略,也就是他們可以負責這部份。
作者: mrj0702    時間: 2012-8-26 12:29 PM
謝謝兩位的回答,我已經補上並成功消除這些錯誤了。




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