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標題: 關於高壓製程HVNW與NW [打印本頁]

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作者: tommy01    時間: 2013-4-12 11:31 AM
標題: 關於高壓製程HVNW與NW
請問一下高壓製程裡面的HVNW與一般低壓的NW有什麼不同?
. j, p" ^# o6 J高壓製程的WELL到OD距離較大,用一般的NW也可以阿
7 q8 Y' U# [2 H: w" u0 M0 J0 u爾且連接到HVNW電位與一般的NW一樣,不是都透過subco連出來的嗎?
! m7 m. i$ U1 z# U還是HVNW挖的井區比低壓NW深,導致subco也比一般NW深,所以可以提高耐壓?

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作者: m851055    時間: 2013-4-12 02:21 PM
與參雜濃度及doping深度有關。
' m# {# b. K2 j  ^8 C, f! K看cross-section圖可以了解。

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