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標題:
Layout佈線問題
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作者:
serenityjie
時間:
2013-6-11 07:31 PM
標題:
Layout佈線問題
大家好:
/ d* t+ T7 X# t# w/ L2 k! d+ g/ y
1 b+ d1 m4 S" f# Y. H
小弟最近在Layout佈線時想到一個問題，
& g2 ?6 i& C: Y9 _" Z. ~
一般在做金屬導線連接時，
; Z m+ k$ Q- N) o! p9 Y
應該是像圖一一樣，[attach]18482[/attach]
$ W7 a, ]) Y5 _
polysilicon與Metal line並無間隙，且需要部份重疊，
- e; t b' X3 o
利用Contact hole 將兩者連接起來，
$ Q! a) f6 K$ t
Contact hole是屬於垂直方向將上下兩個需相通的部分做連接，
3 n9 M% r0 C" I$ L ]: b3 W
想請問各位前輩，
2 n' O" M9 K& K- [7 Y
若以圖二這種方式連接，[attach]18483[/attach]
* Y8 n% q# Y- Y
polysilicon與Metal line之間不重疊，保持有一段距離，
, q; K$ o" F" `( z" c1 }
再利用Contact hole 將兩者連接起來，把Contact hole當成導線的功能，
0 V: Z3 l# K+ a3 I. T
讓Contact hole具有垂直方向以及水平方向的連接，
0 _% x. _, r- @& P( O$ ~
這樣可以嗎?
作者:
k200630901
時間:
2013-6-13 01:05 PM
會有current density的問題 去翻閱一下製程設計手冊，找一下current density在不同layer間的參數~
作者:
t1FP125
時間:
2015-8-24 08:04 AM
翻翻一下製程設計手冊
8 o3 W+ {: t3 y" r2 d! `2 e
翻翻一下製程設計手冊
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