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標題: MOM電容佈法 [打印本頁]
作者: r2583614    時間: 2014-1-23 12:05 AM
標題: MOM電容佈法
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
作者: beverly_tseng    時間: 2014-1-23 02:18 PM
回復 1# r2583614
& k$ {2 ~( f6 s5 R3 Z5 ?8 }. }- s4 }& T3 N3 p

6 ?7 t3 ~. y& ^4 j4 T4 i) P    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
2 K, g: I6 D  t. _    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
作者: l690527    時間: 2014-5-21 05:51 PM
有 froundy  kit 就用
  F" d: b0 {  G% |畫的 每間蓋的layer 也不一樣8 y7 ~9 O* t* L8 T8 F
廠建好的 製程try過比較沒問題, d9 J0 h- d; P$ b

! b; ?1 H- r& S, n7 \' q自己寫一個spice  model  容值抓抓看6 T5 [  ]9 g  e6 G. V% H  W

# |0 U3 Y* N+ L: p, eMOM 是tsmc的说法： metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap，
1 y9 ~* r, I. b7 ?可能任何工艺都有这个cap，
+ I& p3 }' ?* {' J$ V
' A" j9 A& k  `( p, i! U8 ]' JMIM ： metal insulator metal， 这个在Analog、RF工艺里面才有，用来做 高精度的cap，! J# G# G/ \2 u0 q8 S6 y
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成，  logic工艺是不提供的，6 @/ j1 W9 t% P- r- ?2 B: G) I
MIM的2层metal 特别厚， 一般是下面的好几倍甚至是10几倍



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