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標題:
如何知道製程參數?
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作者:
kminmin1
時間:
2022-7-7 03:03 PM
標題:
如何知道製程參數?
想請問各位大大
我使用的製程是UMC18
# K$ H% r/ h" a& U+ W, z8 A
; n$ n" U$ x9 `/ H) b, G
要如何知道製程的參數?
, b; b' ~8 f" I x, R; y: N
如:Va ,
λ ,uncox等等...
5 o5 n. s+ a- B( K8 Y+ r" r
有試過手算，
但發現同長度的PMOS在不同電流下(飽和區)，
λ值卻不同
3 s" a C# Q. Y
ro=1/gds
$ J* e. O& e, z+ P2 t9 t& T. k% K2 H
ro=1/
λ*idsat
6 ]& B: L" G, T6 X5 d# B/ M7 A/ D% L
λ=1/va*L
+ I2 L( ?5 _+ G% A+ ?8 {/ F* E$ D; F
% w0 Y. u; f$ u, _" I
例:
, q. ~6 [# P1 a7 o. U9 ~: c
PMOS(saturation)
PMOS(saturation)
" q: Q* X! ]/ w8 u+ {
W=25u L=0.5u W=25u L=0.5u
# Q( \+ Z; ?8 J0 n. p
id -8.907e-05 -8.588e-05
; w; t: D; v0 i2 ?6 C9 }+ V5 K1 r" c
gds 7.941e-06 5.289e-06
, B+ c% c: b8 S5 |; t x4 _* `
0 c' H$ S; n* Q7 t5 R) a0 T; g
算出後:
$ ^: d2 ^( H1 t! m7 M
λ 0.089 0.061
9 V# ~: L% N' B2 G" f7 u
; h, e) n v C) s
( m2 ]4 h5 U C7 F! [4 v) m
看有些論文寫說
λ是工藝給定的
9 y; |' ]7 ~) \' O7 v
哪一些製程參數是固定的?還是都是非固定呢?
U3 {3 X$ t/ a
+ G" G9 C* H& f1 _
作者:
YMCK
時間:
2022-7-7 06:19 PM
沒有辦法知道一個確定的值吧
9 {& u0 v1 N6 j* m4 n/ K
只能先用製程檔提供的初始值下去估計
5 m5 k# v& e( J" l W: }. }( h
然後再看模擬跑出來的結果下去調整
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