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標題:
如何知道製程參數?
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作者:
kminmin1
時間:
2022-7-7 03:03 PM
標題:
如何知道製程參數?
想請問各位大大
我使用的製程是UMC18
/ I+ ^) B/ z8 d. h" C
; ?3 {# j/ l% j- x& L8 o) r. M. l
要如何知道製程的參數?
# s2 H' K- o( K. i' f+ [6 R
如:Va ,
λ ,uncox等等...
. `$ x; o' e/ P/ b* F2 U# z1 h2 W
有試過手算，
但發現同長度的PMOS在不同電流下(飽和區)，
λ值卻不同
0 X. M0 U# ?4 n( ~' q, g
ro=1/gds
0 J7 Z% `+ Z4 q% U
ro=1/
λ*idsat
4 b" [1 M: `0 Y* O8 N
λ=1/va*L
. _' }8 W' p* P( c6 E. Z
, i( ?$ {. l' A {
例:
! C: c" d. z+ P( |2 Z: }3 _
PMOS(saturation)
PMOS(saturation)
- q+ U, n. y$ K3 ]
W=25u L=0.5u W=25u L=0.5u
6 H) R4 [& r" g M
id -8.907e-05 -8.588e-05
9 R. Q9 t/ X S% l0 a
gds 7.941e-06 5.289e-06
4 D2 Q) @) ~$ d! D& k9 n/ C
/ m( _- u) Q. z% r
算出後:
7 ]) @2 n8 ]5 T( o% v
λ 0.089 0.061
( l% {! e' b! u* g0 W1 }6 a8 {( X
2 W- M# y% y W/ p s
* H3 x: P$ C) p' i$ x
看有些論文寫說
λ是工藝給定的
5 p0 L! q% Y6 q8 y5 s j
哪一些製程參數是固定的?還是都是非固定呢?
; B% h3 \# Y9 L# Q& v) S- X
% ?* k, |% _$ r4 |
作者:
YMCK
時間:
2022-7-7 06:19 PM
沒有辦法知道一個確定的值吧
$ _. b& x9 |( l0 b* | e) W
只能先用製程檔提供的初始值下去估計
; u. D5 Q/ _8 `! g. w7 b
然後再看模擬跑出來的結果下去調整
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