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標題: 用mos 電容,使用tsmc 0.18um的製程 [打印本頁]

作者: jeffrey    時間: 2008-3-7 04:26 PM
標題: 用mos 電容,使用tsmc 0.18um的製程
Dear 先進們,
  s3 J3 F* n8 {; v" N請問若在tsmc 0.18um的製程�,則若電容使用mos來做, 則它的電容值是多少(如每個???f/um)
3 ?' y* L1 V; E$ h! d; r( z因小弟不清楚的design rule有否寫這個數值..
) G: s. m. T1 g2 }2 Q8 U& s' x! Z) q$ h5 w7 M
感謝各位的幫忙.
作者: qpau    時間: 2008-3-8 09:37 PM
MOS的電容值可以用oxide的厚度,面積以及介電係數算出來,
$ L/ e- Q0 p) Q4 Ioxide厚度在spice model內可找得到, 通常是tox這個參數,
" [8 o' X" |9 b. e2 q但要注意MOS的電容值會隨著偏壓改變,( I( D( V) {+ q
可用軟體模擬出C-V曲線,: c( U+ ~( e$ s5 B0 E, S# N
Btw, 0.18um製程中應該有提供accumulation mode varactor這種元件,4 \9 a" Z3 r: Z' A9 t8 f
也就是長在NWELL裡的NMOS,
& L, ]7 i0 F: Z# Xspice model文件中應該也有這種元件詳細C-V曲線以及RF model,
9 Z/ U; h( n  [) Z使用這種元件並不需要多加光罩,
1 F' N( G. ^: t- A. S4 k/ {7 o建議你可以查ㄧ下spice model的說明文件
作者: tommywgt    時間: 2008-3-11 12:09 PM
我記得是不是在美國的哪所大學有很多的虛擬製程可以下載的???/ D% p' G: O- H& ]
9 O4 K% }; J* F! y5 ~
哪位大大可以補充一下下?
作者: st80069    時間: 2008-9-1 06:02 PM
我記得Hspice有一個指令可以模擬MOS的電容值,且要用MOS做電容估算的方法就是下面這個指令$ p) j4 S( K3 E2 ~# Q. r. _
.option dccap post- l; ^- |- V% B
.print CGG=LX18(mn1)
, y& Z2 m& }5 [3 i/ k.dc vin 0 5 0.1  D; t6 B4 J) I
....
% {1 G+ R0 Q* D$ E3 Y0 U) J.....
- q. p( T+ C* Z6 Q0 V$ F0 Q.......2 k  b  [0 J3 Q
.end
# {7 O2 O& W$ [+ w4 n) }然後往.lis 裡就有出現這個MOS的電容值了吧....% a" G- v- C2 R9 `8 o0 q' G
如有錯誤,請大大們指教~~~1 p  n# p! {+ T, [  S
9 S5 d. O+ d) u' q" ^( j6 x% ]
對了,想借問一下,用mos作電容 V.S. 三明治metal夾層作的電容 差別在哪裡啊,6 S6 Q, o6 }1 j% C3 h
我模擬過,發現MOS只需要小小一顆W/L=2.9/15 就可以輕輕鬆鬆的達到750fF,
5 H0 ^) c! Z8 z而三明治卻需要好幾十倍,那面積大大減小,為什麼大家不改成都用MOS做就好了???
作者: 小緯仔    時間: 2008-9-17 04:10 PM
回樓上的大大,MOS電容是非線性電容5 b' v2 p/ W# }: r$ n0 W) h
! ?/ t5 N* i- _  O" ~
比較不穩定,但好處就是能用小面積來換取大的電容值




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