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標題: poly同軸性的問題 [打印本頁]

作者: uurtu666 時間: 2008-4-5 12:01 AM
標題: poly同軸性的問題
當我們在layout時為了更有效的利用空間會想到把mos翻轉,但是這樣一來在一個block電路中mos poly gate的方向有x方向又有y方向,請問這在製程中會有什麼不好的影響麻?

作者: jianping 時間: 2008-4-5 12:04 AM
還好吧，如果能省面積這樣做又有何不可,面積就是金錢

作者: yhchang 時間: 2008-4-5 12:27 AM
我的感覺是盡量不要這樣做
因為製程不可能做得很均勻大致上呈現一個梯度的分佈
所以做到同軸心的話可以避掉 gradient type的 Variation
但是 random的誤差還是避不掉要降低除非你用面積去換

作者: 小緯仔 時間: 2008-4-6 01:02 AM
這樣子可能會應電流流向的關係

造成不同軸的MOS可能應此燒毀吧

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