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標題: 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？ [打印本頁]

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作者: hyseresis    時間: 2008-11-21 11:33 AM
標題: 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
5 \) k+ X9 Q: q/ l* k是如何形成？
" ~& U- c. M, N3 I9 T) O作用是什麼ㄋ？？

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作者: motofatfat    時間: 2008-11-21 12:48 PM
可以把它想成多一層 導電用物質
幫助導電 ,只會附著在 poly & diff 上
; l2 o9 v' W1 T會全面灑在晶圓上　如果　不想有
% z, E8 y/ o/ l+ z; `的地方就用　ＲＰＯ(t) 或　ＳＡＢ　(u)
圍起來　那各地區　就會是　nonsilicide
8 D, e% R. w. [' [* y阻值較高　通常用在　電阻　和　ＩＯ　ＣＥＬＬ　上

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作者: hyseresis    時間: 2008-11-21 01:07 PM
標題: 回復 2# 的帖子
感謝！！原來如此阿!!
6 m" F2 K" g. [0 c$ F之前一直不是很清楚,是做什麼的！
" L" S% {& J, C& a' `9 t! S) s- ?0 B現在了解囉

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作者: jauylmz    時間: 2008-12-1 05:31 PM
延續 二樓的說明   
% X1 m6 D  B: m/ p- k9 h; A0 Q8 _Silicide 又名 金屬矽化物  常用的幾種( TiSi2、NiSi、CoSi2、WSi2 )

記得以前還有Polycidce 只用在 Poly 上的

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