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標題:
TSMC 0.18 MIM電容LVS錯誤
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作者:
ccy3065
時間:
2008-12-25 02:04 PM
標題:
TSMC 0.18 MIM電容LVS錯誤
請問各位高手.我已經畫好了一個MIM電容.
: c1 }1 {- k( T7 A8 c1 ^, W0 @" L
畫法如下.
! m* D- m3 a3 f* r1 ~
1.先打上VIA56
" x; T. e, [) N0 o
2.用CTM5和Metal6(這兩者同樣大小)覆蓋再VIA56上
1 i4 l' v8 I. Z4 |% V! a
3.再來是Metal5包住.略大於1和2
$ T# b0 A' m" O) U5 d- u
4.最外層用CTM Dummy包起來
" O x: G6 C* l
: W. @+ M* A0 R- O1 u, F
DRC已經確認過了.但是LVS有誤.
/ W( X; ~- ~" S$ m% P. T
4 n6 U- u' e1 F
LAYOUT NAME ne SOURCE NAME
: J. p+ `2 V6 j' @8 r, X3 w! i2 z
************************************************************************************************
* W9 G; g) ?4 d1 M8 `: p
C0(-96.425,-81.585)
C(M5)
C0
C(CP)
1 s; C8 ^ I/ H3 R4 k( q
bad component subtype
: P8 V" R' R- Q$ ]( h' p8 n
. J) a2 M, T9 s- m+ T# i
9 w4 r+ [/ O$ M g
請問是不是我有少包了dummy之類的.因為layout好像是只有看到M5.但是.sp檔是識別成電容!
8 Z' n. ~7 Y( G' `* ]7 [7 s! p
謝謝各位啦!!
作者:
JoyChou
時間:
2008-12-25 03:27 PM
怎麼看起來你的SP檔是要你畫POLY電容的樣子?
5 P- Z& K& z" b. ^
你們的MIM電容在netlist裡是定義成怎樣的TYPE?
作者:
ccy3065
時間:
2008-12-25 04:49 PM
標題:
回復 1# 的帖子
感謝J大.我已經解決了!
9 W. W% ]* q* t0 a
果然是你說的問題.
7 ^+ R$ v0 {5 Q
我的schematic呼叫錯了!
$ S2 ]9 m, g) [: P% s4 d
謝謝你!!
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