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Edwards公司將在SEMICON Taiwan展示業界領先的乾式泵浦和尾氣處理解決方案
展示包含低碳足跡且對環境影響最小的各種系統產品系列
專業真空產品和尾氣處理系統及其相關加值服務的全球領先供應商Edwards公司 (NASDAQ: EVAC),將於下周 (2012年9月5日至7日) 參加SEMICOM Taiwan國際半導體展覽,展場位於台北世貿南港展覽館,Edwards公司展位編號:545。
Edwards將展示其先進的乾式真空泵浦,以及供半導體、太陽能光電、平面顯示器和LED等產業在生產製造過程中,有助將使用期間的整體成本及環境影響減至最低的尾氣處理解決方案。其中展品包含iXL120、iXL1000、 iXH6050H等乾式泵浦,以及eZenith和Atlas系列各級尾氣處理系統。另外,STPiX3006也將在台灣經銷商日揚科技 (Highlight Tech Corporation) 的展位同時展出。
SEMICOM Taiwan展會中將看到iXL1000的正式發表,它是為電介質刻蝕及輕型應用所設計的新型乾式真空泵浦, 相較於同等級iGX/GX系列乾式泵浦,它能再有效降低多達33%的耗電量。
同時展出的高吞吐量iXL120,是市場上最小(450mm x 230mm x 280mm)與最輕(59 kg)的泵浦之一,適用於在製程室快速抽真空及淨化應用方案。它的小尺寸特點能安裝在製程工具下或隱藏在晶圓廠 (fab) 的樓板層 (waffle floor),有效節省fab空間。
乾式真空泵浦iXH系列結合了最先進的技術,能有效地掌握並符合半導體、平面顯示器、太陽能和LED等產業在生產製造上的嚴苛需求。Edwards研發的最新一代STP渦輪分子泵浦,提供了一個完全磁懸浮且高速的轉子,同時也更整合電源供應和控制器於其中。
Edwards在台灣至今已經建置超過22,000台乾式和渦輪分子泵浦,以及3,000個尾氣處理系統,是台灣半導體、平面顯示器、LED和太陽能等產業的真空解決方案之市場領導者。 2010年Edwards更加強對台灣的承諾,於苗栗縣竹南設置一個國家級的5,000平方公尺服務銷售中心,為顧客帶來更貼近的在地服務,並擴展各項服務的範圍。 |
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