MOM電容佈法

r2583614

有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???

l690527

有 froundy  kit 就用
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
/ {: t; r. E& L8 t; `4 U廠建好的 製程try過比較沒問題

- x  G( x; G4 v6 K0 p' G4 E$ s" w, U1 ]; f自己寫一個spice  model  容值抓抓看

- h& z" c/ Y  T- MMOM 是tsmc的说法： metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap，
" u5 ?" _5 M( a& m- X1 x* A可能任何工艺都有这个cap，

MIM ： metal insulator metal， 这个在Analog、RF工艺里面才有，用来做 高精度的cap，
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成，  logic工艺是不提供的，
/ [4 Z) K% n) o* FMIM的2层metal 特别厚， 一般是下面的好几倍甚至是10几倍

beverly_tseng

回復 1# r2583614

+ U8 E) M1 m" U! H6 B4 v
9 r: y! ^% s( t  l9 Q# @1 f# R8 Q    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.