0.35製程pad的問題

yoyo20701

小弟最近為的下線~~遇到一個問題~~始終找不到錯誤~能否麻煩大大幫小弟解答一下~
小弟的pad在drc時出現錯誤~~但是它並不是所容許的錯誤~~
而且小弟是用內建裡的整個pad(它幫我畫好的那種(總共有24個pad))
去跑drc的~~但它所出現的錯誤~並不是技術檔案所容許~~~~~~
錯誤如下:
: i1 Z1 h4 U6 M1 y        1.check OD.R.1.WARN-2 Resules
' m4 W# o8 {2 m/ \' d         OD.R.1.WARN { @ OD without implant
3 x8 w* l" }0 v, E3 m          OD NOT IMP}
1 Y; l0 [- x! @* b; Y* o         2.check M2.S.1.WARN-35 Resules
$ h$ t( F6 f$ `            M2.S.1 {@ M2 spacing < 0.50
( o& T& B% }1 B" T9 ^* \  q) f           EXT M2 < 0.50 ABUT<90 SINGULAR REGION}
          3.check M3.S.1.WARN-3 Resules
- [& D6 T; O4 e1 F               M3.S.1 {@ M3 spacing < 0.50
            EXT M3 < 0.50 ABUT<90 SINGULAR REGION}

! ?+ J+ u/ I" V# s2 x7 |, R7 @$ Z, |              請大大幫解答~謝謝~

Shouwei

妳的2、3點所指的是
/ b% ?/ `. _5 g2. Metel2跟Metel2中間的最小間隔需要有0.5μm，可是您沒有達到(共有35處)
3. 同上(共3處)
+ d) d5 ^  D0 q; r. N* A
1 s* m& Z: p& t$ p+ a. p2 r1 u第一點是說您的diffusion沒有離子值入區的樣子，小弟是沒遇過啦
0 ]* ~  `0 c; n8 s* V) K只是在想，會不會是您沒有畫出pmos或是nmos，可能要慢慢找一下

其實您可以直接點下去DRC上面所寫的座標
) n7 V6 ~# |# w+ c就可以看到了，到底是哪出了差錯；第1點就需要這樣慢慢Try了~
不過，您的文中沒有提到，有沒有就單純的core做驗證呢？如果有還會這樣的話
, L, Q2 T/ u6 x6 k3 e! F可能是pad沒有放得很好唷，在放pad時，要把grid調到0.01μm才會對得好，我的經驗@!@
7 ?) W  ~# u% x0 |
( h  S9 ?3 J# m) }+ i最近下線都要postsim囉，要記得跑一下@!@
最好是掛PAD上去再POSTSIM一次，這樣應該會比別人好過~

edengod

1.check OD.R.1.WARN-2 Resules5 h  E% X6 ~, E$ ~: E9 _
- e# e9 g% ~& m         OD.R.1.WARN { @ OD without implant0 s7 r0 R9 b1 e7 o/ ]
# W) G/ G& j7 T0 D; o          OD NOT IMP}3 N; C: S' y2 V' ?: T
1 M9 i8 v- f7 e0 }有 diffusion 沒蓋到 implant  或 p/n implant 重疊(若是這樣 drc commfile 寫的不好)

! }* D2 _9 W2 p4 U2.3
Metel2/3 跟 Metel2/3 中間的最小間隔需要有0.5μm
8 a0 R0 p) @0 x/ {2 J或不是轉90度角.

yoyo20701

小弟找到那3個出錯的pad~單獨模擬那個pad~~結果有一個pad出現
1.check M2.S.1.WARN-35跟3.check M3.S.1.WARN-3的錯~~另外2個pad各有1個
( f, t6 m- X% S9 tcheck OD.R.1.WARN-2 Resules~~~我是單獨跑的~~也不知道為什麼會出錯~
" Y' x5 o9 X7 X9 k而且~~萬大大一個問題~pad不是都cic畫好的~~我們不是只有引用而已嘛?為什麼只單獨跑就出錯~~而且還是不容許的錯~~麻煩大大幫解答一下~~謝謝

Shouwei

載新的來試試吧XD
# \% n1 T- R3 Z' A6 ]" `4 h% a@!@ 唯一能想的，不然妳就真的點drc上面說的座標，去看到底是哪裡出錯
& C: l, k2 I2 \/ v唯有慢慢找了，因為小弟引用也沒有遇過

李寶容@FB

現在正再畫IO
/ J' L5 v" k& M. j. _大家的回答都超有用的!!