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Chip123 科技應用創新平台»論壇 › Chip1 -- 基礎元件 › Layout設計討論區 › 請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何？ ...
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[問題求助] 請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何？

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vic
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1#
發表於 2012-3-6 06:21:22 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
各位大大您們好！/ e+ Q& s* @2 l, p3 p
請問有人知道 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 在製程上的的功用為何呢？; a0 ^% _% y$ u1 `3 w
謝謝！
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despair
2#
發表於 2012-3-7 11:50:22 | 只看該作者
Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) % q. Q; Y+ n0 c! L$ ~  J0 H
9 O; Q; n  w9 c% }
不管前者或後者者都可以提供組成device的一個感應電極。9 q9 J. m1 E3 x# P; J2 r$ q2 \
（如CMOS device or Field Oxide Device）
8 F, E+ H$ {. Q- d" }0 V$ u. u; F( [
6 r1 J4 U3 K6 |但前者較長使用在CMOS邏輯製程中MOS的Gate極點，而後者常用
  S+ s* E  T; U% f在device之間的絕緣使用。
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vic
3#
 樓主| 發表於 2012-3-8 15:00:15 | 只看該作者
簡單明暸...! _; x" Y: h: u, K2 o
謝謝大大的解答...0 g0 Y$ Z' p$ r
讓小弟受益良多...
" W7 U8 E9 r( I3 {% J2 r" w感恩！
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klim
4#
發表於 2012-4-20 12:29:58 | 只看該作者
那請問, 若使用FOX其MASK layer要增加嗎?
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