請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何？

vic · 發表於 2012-3-6 06:21:22

各位大大您們好！
請問有人知道 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 在製程上的的功用為何呢？
謝謝！

despair · 發表於 2012-3-7 11:50:22

Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX)

不管前者或後者者都可以提供組成device的一個感應電極。
（如CMOS device or Field Oxide Device）

但前者較長使用在CMOS邏輯製程中MOS的Gate極點，而後者常用
在device之間的絕緣使用。

vic · 發表於 2012-3-8 15:00:15

簡單明暸...
謝謝大大的解答...
讓小弟受益良多...
感恩！

klim · 發表於 2012-4-20 12:29:58

那請問, 若使用FOX其MASK layer要增加嗎?

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[問題求助] 請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何？