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回復 terriours
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之到原理後~~不知道有沒有任何有效的解法可以防止呢!! 謝謝 ...
9 h* p% a0 N" u5 N/ xsydjeffrey21345 發表於 2011-7-7 13:24 ![]() . r, ]2 K7 Y6 f0 B
7 Q3 P; m. |& o8 n: K6 G# y! C解决天线效应有两个方法:
* _8 n4 [) y8 X% I. d* S, k方法一:在发生antenna effect的gate连线上进行“跳线”,所谓“跳线”就是将底层metal线换成高层的metal线。这样做的原理简单是:在process的過程中,每一個連接工藝步驟后都會進行一次靜電荷的 釋放,所以在metal上的靜電荷會被放掉,就杜絕了antenna effect的發生;5 o# N2 j& c9 C! `$ L
方法二:也可以在連線上加一個對地反向偏執的diode,這樣在工藝製作過程中,就可以自動放電,並不是網上通常說的把這個反向diode擊穿放電,有時候這個反向diode的大小也是要考慮的。2 ~% J3 w. D# d; `# s1 y8 ]
基本上就是這樣的,希望能幫到你。
" N0 G, j% j" {* }如上所述有錯誤,希望一起討論。 |
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