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原帖由 alai 於 2009-4-16 09:30 AM 發表 ![]()
' _- x/ ^$ G L0 W$ b( T9 T9 X通常我們做芯片時都有加sealring,但是,sealring,具體如何防護,以及sealring為啥要加passivation,仍然不是很清楚。5 p& t9 B2 Q1 W- e/ B
) @. A& F5 ~7 F+ U; Y$ M各位大大有相應的資料論文么?期待分享。
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4 b3 L+ M" Z# H" }/ Asealring的功用是讓IC周圍較硬,以便切割IC,不會碎到core,chip和chip中間會有切割道(最小80um),切割道都會開窗(加passivation),讓IC易於切割,一般sealring外圍也會開窗,其實sealring可以不用開窗,因為切割道就會開窗(光罩廠會自動在切割道蓋上passivation),不過sealring rule都有passivation,就照rule,若是自己劃sealring,千萬別劃錯,開窗要畫在sealring最外圍(以便緊臨切割道) |
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