請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
' z3 l$ Z+ v9 T一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
* ~: x* T2 [5 j4 RX/Y/Z??

yytseng

回復 2# vincent_p0593
1 K# D; s7 H2 L8 F
  E& o! c. `, `5x2y2z = 1p10M

0 R4 R' H  O; b. _! V; W台積的metal定義中
" Y0 A1 i- z) J2 D! y; U" R$ VM1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
M2以上為 X 代表一倍厚度
4 `- W2 W! |5 gM5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)

不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同
1 \9 |/ g6 F4 M* m% q4 P2 U
+ z5 U' u0 ~5 {2 L5 t( B; H. Y3 W1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
  k9 u4 `2 {6 |" n% g- j5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
4 w9 X9 _0 C) A% ?* K每個process node各有其定義的厚度給x,y,z

目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
YZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
! B7 G& V9 x5 X' c; z. eY, YZ, Z都可當top metal?

. c, E% T* S& i) T" ~Thanks in advance.

cmyangf

要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.

AnnLin

原來如此, 長知識了! 感謝!

lowstar

Wow
, W2 a; s& j, W: z8 m$ Z  GI think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.
& j: [/ q8 W2 q( y; H8 Y
! R3 F, f9 f  n+ |5 u
6 K- N& p5 K2 p1 U' L) F

charlie0050

解了我心中的疑惑 謝謝大大