請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
- O4 y  d2 Y) b- v" V一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
X/Y/Z??

yytseng

回復 2# vincent_p0593
8 E8 a) P4 r3 E# a3 ]1 \
5 j0 I" F1 X- \" K9 _5x2y2z = 1p10M

台積的metal定義中
M1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
. U' E8 }9 ~4 i  ]M2以上為 X 代表一倍厚度
M5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)
$ _2 {, l6 {. O- A9 f
9 H+ I# i7 a* M' b6 D+ r- z/ D( A不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同
& }3 V2 W1 ]6 E8 E* Y2 p* \
, _( F; U' R, _1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
8 R, [+ s5 V! M& ]6 d7 P詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
3 l! \  ^; S+ S5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
每個process node各有其定義的厚度給x,y,z

% o4 v% k9 E! I& z目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
7 L0 d6 |, y8 C1 `如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
' U# ]! |0 M# LYZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
' y" @/ `8 i# N  Q; g! n7 n1 YY, YZ, Z都可當top metal?

Thanks in advance.

cmyangf

要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.

AnnLin

原來如此, 長知識了! 感謝!

lowstar

Wow
I think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.


5 ?: F4 }" t2 Y3 u& [% \

charlie0050

解了我心中的疑惑 謝謝大大
; X4 G' k: r* G7 L$ `+ P