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請問大大,我現在想學關於高壓製程Layout& a" {! j& x# L' }
那我對高壓製程的構造不是很了解,可以介紹網站或資料給我做參考 ...% j- e- S7 _$ B4 H% p6 Q
b0917353006cool 發表於 2011-6-10 06:20 PM ![]()
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9 |) ~+ S. ?5 i1 u; j% ]個人淺見,分享下關於高壓製程和佈圖學習應驗
* |& C5 h7 y8 `) X7 m7 r1:首先理解目前我們HV製程的一個簡單劃分2 B& G( N4 H1 n% F* s4 d
不同的廠家,會有不同的定義,在深亞微米中,可能5V VBRDS的Device已經被識別為高壓。- t) U+ e/ B/ T" G% l
依據VBRDS/VGSmax大致可以作一個劃分4 k' c5 N/ P" x' r; e) N
LV- E7 K6 ^% E: q- M, q: N2 [
VbrDS<5V7 e5 ]# D0 k# G Y4 @& x, D) E
MV
7 M) Q: O4 k! H+ x/ ~* w; o( ^1 j 15V<VbrDS<25V4 ~8 @+ x# W1 R. o1 i' n
HV
$ h6 T* l8 I' h4 o 30 <VbrDS<45V
( g* S! W9 e/ j6 s' Q. W 45<VbrDS<80V
* C/ d' f( a1 Y UHV/ l2 i, Y; g8 h) X$ S; u. [) S+ L9 l
80<VbrDS<120V
4 E1 t2 y) R; X2 v0 r( `; L 500V<VbrDS
: v4 q% i- d- h( {' ^$ ` 800V<VbrDS i$ W! O4 j- ]: H$ \4 R/ Z; [
目前大致會做這樣幾個區間的劃分,這種狀況與製成本身的發展,產品系列兼容,甚至考慮兼容早期BIPOLAR用於電力,電機產品有一定關係。
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2:此後,可以按照自己學習興趣與工作需求,選取制定學習計劃+ N/ v4 J& \* {
並理解器件的物理和電學特性( U3 n4 e ^; I, `4 _% L L
這樣做是必須的,好處也很明顯。只有這樣才能避免犯錯誤,才能理解高壓規則的制訂依據或者限制級在那裏。0 W0 S& J' z# F1 C4 v4 l( Z5 m& Q8 C
一些圖書是必須的,製程介紹類的圖書相信大家都不會缺少,特別強調下,在30V以上時,最好下功夫對LDMOS做細緻的學習。
' _4 l) S+ v' N% S2 \5 E 如果涉及到80V左右的應用,尤其需要謹慎,因爲在CMOS時代這個電壓區間是比較尷尬的,HVI可能會帶來leakage current的問題,一定要與廠家做好細緻溝通,並在Pre-tapout前作好Review。
- H& W4 q. U! e! q* f 500V之上的的單片集成應用必然會涉及到Resurf技術或者SOI的應用,這樣的製程會與普通的結隔離又較大的差異,HVI也會帶來影響。不過一般廠家都會給出一些解決方案,
: p% t+ w) O8 K IR,摩托等等公司也產生了很多專利 ,讓人感嘆設計師的創造力之強 。4 B' _ U2 Z" x9 F0 l0 [
理論的學習," j/ ^* b$ `& B+ ^
推介使用陈星弼老先生的那本《功率mosfet與高壓集成電路》,這是一部相當老的圖書,出版于幾十年前,但是對基本結構,如場板,終端結構等等的介紹很清晰明瞭。4 H- X1 ^* g% m6 x7 q
原書已經絕版,好在資料可以到網路上搜索到。" ^, n* e0 D$ H) D! W Q: @
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3:實踐
& ^9 [' c/ s# ?; `$ l 檢索了目前大多數的論文與報告,並不令人滿意。在這個工程領域,主要的技術應當是各個廠家。
* |7 H' F1 i& V; G$ e UMC/TSMC年前都對這個領域作了開發,可能主要的目標是指向對新能源產品的支持,可以咨詢並下載相關文檔。其中給出了Refrence Rules和相應的guide line,這些規則大部分對其他產品設計依然有 p: ^% d6 X* Z' J1 `! n* n
參考的作用。此外 X-FAB,AMIS在這個領域可以說是歐美洲區域領導者地位,結構也與台系有區別。尤其AMIS。不過好像已經被ON收購,可能會在合作中產生一定障礙。7 @" m, I0 A3 c8 |
特別提一下新竹的EPISL,應當是臺灣較早投入這個領域的廠家之一,EPI是HVDevice的關鍵之一,或許是EPISL的最大優勢。當然,還有極低的價格。
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4:Reverse engineering3 U4 d# C" B' f9 J
對於新的公司新的設計,是個可選,當然僅限與佈圖參考,如果完全依賴,那就驚險了。7 ?+ e7 i1 [8 H. `" M1 C8 ^
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淺見,歡迎拍塼! |
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