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請問大大，我現在想學關於高壓製程Layout2 ^* X3 ^3 H0 W& ~% w
那我對高壓製程的構造不是很了解，可以介紹網站或資料給我做參考 ...- h4 Y% L% a# a( Q; v( g
b0917353006cool 發表於 2011-6-10 06:20 PM ![]()
% q5 G! `. j. u1 s0 \個人淺見，分享下關於高壓製程和佈圖學習應驗
# u! F% O. D& `5 ^1：首先理解目前我們HV製程的一個簡單劃分
* J* G" r/ P; Y5 A( g 不同的廠家，會有不同的定義，在深亞微米中，可能5V VBRDS的Device已經被識別為高壓。9 k' B( @; A, G+ I" i* _
依據VBRDS/VGSmax大致可以作一個劃分; h$ I2 R0 Y$ v2 Z. Z \6 s/ y+ w% m
LV/ O5 w5 ?2 c- F
VbrDS<5V
0 i2 p. n! H: R MV 9 s3 `+ I# r+ ?' r
15V<VbrDS<25V
& ]* k! a8 D; F8 k8 z5 B" f HV# l8 U; g7 W" b" O
30 <VbrDS<45V
8 F# F' z; R1 q9 l, W 45<VbrDS<80V: r j' u: r3 \5 [
UHV( F$ O- {) Z& U! y6 K v
80<VbrDS<120V( i3 N7 j# }4 y, L& S; L
500V<VbrDS
9 ^$ [7 D5 ^/ D) C 800V<VbrDS
: |) ~3 N4 ^- V+ K( g 目前大致會做這樣幾個區間的劃分，這種狀況與製成本身的發展，產品系列兼容，甚至考慮兼容早期BIPOLAR用於電力，電機產品有一定關係。
% ?- o# s1 o: q+ e
- x) ^& D3 W. m9 i5 _2：此後，可以按照自己學習興趣與工作需求，選取制定學習計劃
2 g/ N0 F: k D 並理解器件的物理和電學特性
& Z6 E7 x c) W4 Z 這樣做是必須的，好處也很明顯。只有這樣才能避免犯錯誤，才能理解高壓規則的制訂依據或者限制級在那裏。
( C/ p- d2 ~8 i 一些圖書是必須的，製程介紹類的圖書相信大家都不會缺少，特別強調下，在30V以上時，最好下功夫對LDMOS做細緻的學習。
8 |* y% y# ?5 j! b% V, t 如果涉及到80V左右的應用，尤其需要謹慎，因爲在CMOS時代這個電壓區間是比較尷尬的，HVI可能會帶來leakage current的問題，一定要與廠家做好細緻溝通，並在Pre-tapout前作好Review。
c: r( w1 q1 f5 b$ l/ Y: k 500V之上的的單片集成應用必然會涉及到Resurf技術或者SOI的應用，這樣的製程會與普通的結隔離又較大的差異，HVI也會帶來影響。不過一般廠家都會給出一些解決方案，
5 G! ~- S& q9 k: S4 j, B IR，摩托等等公司也產生了很多專利 ，讓人感嘆設計師的創造力之強 。
, G/ n! `3 Q% w7 u k q 理論的學習，. w% b# A1 {$ P1 Y- l
推介使用陈星弼老先生的那本《功率mosfet與高壓集成電路》，這是一部相當老的圖書，出版于幾十年前，但是對基本結構，如場板，終端結構等等的介紹很清晰明瞭。
' ?9 E9 l. Q0 `. v2 j 原書已經絕版，好在資料可以到網路上搜索到。 R Y( ?4 a8 }, ]- n
) I) _8 N4 d8 w# i$ q p- `+ k
3：實踐* S+ `' I6 f( m# ]0 G
檢索了目前大多數的論文與報告，並不令人滿意。在這個工程領域，主要的技術應當是各個廠家。- ]* H6 u$ O: w3 I2 |
UMC/TSMC年前都對這個領域作了開發，可能主要的目標是指向對新能源產品的支持，可以咨詢並下載相關文檔。其中給出了Refrence Rules和相應的guide line，這些規則大部分對其他產品設計依然有1 H! t; K+ C; @2 c; R
參考的作用。此外 X-FAB，AMIS在這個領域可以說是歐美洲區域領導者地位，結構也與台系有區別。尤其AMIS。不過好像已經被ON收購，可能會在合作中產生一定障礙。- p9 _4 ~0 D$ @- g; K* Q
特別提一下新竹的EPISL，應當是臺灣較早投入這個領域的廠家之一，EPI是HVDevice的關鍵之一，或許是EPISL的最大優勢。當然，還有極低的價格。
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4：Reverse engineering
' o1 Y/ X+ g' S! w; m3 ~/ J- z 對於新的公司新的設計，是個可選，當然僅限與佈圖參考，如果完全依賴，那就驚險了。
% D1 q- \2 E- ~; g; {) A- L& [/ a! T; l4 n, R
淺見，歡迎拍塼！ |
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狗仔卡
發表於 2011-6-10 18:20:10
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