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[問題求助] 新製程,technology file該如何編寫?

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1#
發表於 2011-10-11 20:48:10 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
各位前輩想請教關於offgrid的問題,
8 Y4 q8 j1 O) X# }* ]小弟目前剛接一個project,3 M- |7 O: ^% m( G0 C' A
手邊資料有
, d- Y/ p& H8 }5 b; R" `2 L0 ]/ P6 g(1). design rule,裡面layer層min grid->0.0051 m9 w1 m$ q# H
(2). drc command file, precision:1  resolution:1000
2 |$ L% X* w$ n0 M# F" F. u0 {
8 T8 R  f; O2 s; D因為手邊無technology file,所以需自己編寫,  t; J# r) U0 R% C) g# `( r
但在technology file裡有,  dbscale
& h1 _: c: u) J                                      dbresolution) u- ?, v5 k3 _9 L: y' V1 _
                                      xgridspacing
, w7 @: f, z+ q& \8 o& ]5 t                                      ygridspacing
, k5 N5 |8 U; x+ M4 I                                      majorgridration8 @! W# z: r3 V% X, f4 P; p$ K
! l& n8 [7 m; ^8 ~" Z, e0 A
上述指令分別代表什麼意思呢?# I5 U& H! l8 y  u; z' x8 F; @/ G

8 Z$ u* j; W! o# H0 s' A6 Q5 |我一開始是& O9 M# }% e2 g5 g* o% u. g0 I- ?
      dbscale          0.001
3 v& ?9 x: B3 N         dbresolution  0.001
7 Q/ u7 M8 d; J; P% Z         xgridspacing  0.0015 C+ v. D& d* @/ G% W
         ygridspacing  0.001
" @/ q- y2 L2 y$ E+ N% i7 w         majorgridration 5: q) i2 O2 v3 X4 N, ~! H
但會有offgrid error,是我那裡搞錯了嗎?
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2#
發表於 2011-10-17 14:20:16 | 只看該作者
改成
( ~9 n' X+ k% t2 Xdbscale          0.0018 o- B% \5 h) K1 M, F# |
         dbresolution  0.0054 F8 T" ?, g+ V8 ?
         xgridspacing  0.005" p" l. A- o9 n/ z- Z5 k& V; ]% _" a
         ygridspacing  0.0051 p# ]; g! b6 `  O; E
         majorgridration 5
! a; {6 Y" F" _6 D3 C' g( K試試
3#
發表於 2011-12-2 11:06:29 | 只看該作者
dbscale 尺標最小單位 通常是0.001
9 J: i7 i- Z, U' s2 fdbresolution  游標可移動最小距離 通常是0.005  較低階的製程會用0.01: }% T* u5 G( O: s5 w8 H! S
xgridspacing  圖上兩個小點的水平距離
0 ?+ v5 N1 c3 H; |% lygridspacing  圖上兩個小點的垂直距離- p- ~( D, x" P: f- o( o" C' ]
majorgridration  幾個小點會做一個大的點 通常是57 f3 ?& d- j! ?! M1 I& S
" h. K$ x! d8 L- u
如果會有off grid
/ j% d- X* m7 @3 g就是因為你的可移動距離設的太小/ ?* ~* r  P& E  v  _
小於drc command file的設定* x. t6 U. z5 T
有兩個選擇
* A: [+ q" e1 \將tf的dbresolution調大6 }( y5 _; p- z1 Y7 r0 g' R4 G0 t
或是將drc command file的設定調小
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