新製程,technology file該如何編寫?

averyer

各位前輩想請教關於offgrid的問題,
6 n# a0 p! W1 A1 [. h: \' m1 N0 d小弟目前剛接一個project,
手邊資料有
( n) Y9 P( R; ]9 P3 p(1). design rule,裡面layer層min grid->0.005
. D0 m4 t: k! S" P: u5 t: }(2). drc command file, precision:1  resolution:1000

9 ]5 W, b' v4 g3 ?因為手邊無technology file,所以需自己編寫,
但在technology file裡有,  dbscale
                                      dbresolution
                                      xgridspacing
" D8 {6 @5 D1 B( T2 g' X: G6 X                                      ygridspacing
2 Y: p3 ^; ~  ^5 k# I# k( V                                      majorgridration
$ C6 S9 X/ w/ U" _( E* u5 C1 E! P
上述指令分別代表什麼意思呢?

我一開始是
      dbscale          0.001
         dbresolution  0.001
/ f. i# S) r. w: [9 Q8 i' w1 K         xgridspacing  0.001
# y) T+ _* f! \+ E5 V         ygridspacing  0.001
8 K" ^% V0 L% i% n) Y         majorgridration 5
但會有offgrid error,是我那裡搞錯了嗎?

motofatfat

改成
. _7 M! }% Y3 |8 c# P0 d8 q' qdbscale          0.001
6 j- x! Y0 N0 x' Q$ O* x1 ?! e         dbresolution  0.005
7 W$ Y! l4 x8 D: Z7 H         xgridspacing  0.005
' C. h+ J9 W. t  t         ygridspacing  0.005
( N/ J% x$ Z) S1 D; O8 p: M' R: N8 @         majorgridration 5
7 I" C! m, }" ~3 R試試

ninesky

dbscale 尺標最小單位 通常是0.001
dbresolution  游標可移動最小距離 通常是0.005  較低階的製程會用0.01
+ ~6 x6 N9 x$ u& S: oxgridspacing  圖上兩個小點的水平距離
ygridspacing  圖上兩個小點的垂直距離
majorgridration  幾個小點會做一個大的點 通常是5
+ F7 V* @7 \+ a6 b
" k) T# w* c, a9 }# z% `如果會有off grid
就是因為你的可移動距離設的太小
小於drc command file的設定
# C7 z, m* m0 |; Z0 t有兩個選擇
$ o, A8 Z/ z4 H- }* Z. l& h將tf的dbresolution調大
或是將drc command file的設定調小