DRACULA 中的ATTRIBUTE CAP問題

comochen

各位好,
最近在參考Foundry的LPE command file對寄生參數的寫法時,對ATTRIBUTE  CAP的語法有些疑惑
依照Dracula Reference內ATTRIBUTE CAP章節內Case 4的定義如下
  C3 O9 V  u* |' zCase 4:
PARASITIC CAP {subType} device_layer terminal_layer1 terminal_layer2
ATTRIBUTE CAP {subType} areaCoeff perimCoeff depthRange sidewallCoeff
且參考此章節Example 4 中的例子
*OPERATION
PARASITIC   CAP[F]      M12 MET1 MET2
ATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.2 0.019 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
ATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.6 0.032 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
LEXTRACT NEWE M12 BY CAP[F] PFILE & ; FLEXIBLE EQUATION
EQUATION C= 0.5*AREA +1.2*(PERI-TPR) + CLL
$ v! q2 K* k. ~' ~( Y...
- X& ?: m' p5 Y; |4 |*END
( B$ Q( R% _; }1 S
7 a. k1 A/ B9 C- }2 c) x其中(若以下解釋有錯請糾正我)
# Q; I0 s, |5 S! P" t( y9 W) ^areaCoeff為M12的單位面積寄生電容值(Ca)
perimCoeff為M12的邊緣電容值
depthRange為M12距離MET1的距離
6 d0 y% l0 x  v: T' J( `sidewallCoeff為不同距離區間下M12與MET1的Fringe電容值

4 U" ~& L% |! X+ m7 e以下為我節取一段Foundry的LPE command
   PARASITIC  CAP[A3]  M12      ME1       ME2      
  A- v: h9 Q4 |: u1 P8 S) S4 ?! V$ |   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.42  1.6709E-05
) K7 W, U/ K, C$ F) r   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.966664  4.20651E-05
! K$ l0 n) u& E' J0 P2 e   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  1.51333  5.99823E-05
6 t' X" C! F$ o/ v, W3 Z4 F' M   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.06  7.1379E-05
+ K. [( l7 m- b: e  x- i& T) F$ E   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.60666  7.83301E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  3.15334  8.2139E-05
7 t7 g; x8 u, z為何ME1距離M12越遠Fringe電容值越大？
( e' M( t, z0 i  W! Y$ B4 Q電容不是兩端越遠電容值越小嗎？
還是我根本就理解錯誤？
懇請各位不吝指教,感謝!!感謝!!

jkchien

你對sidewall coeff理解有疑問，你的中文解釋和圖形例子有問題
那張圖是用來說明case3 fringe coeff ，不是用來說明case 4
4 A- c2 P7 f1 H* W% i9 i& Kcase 4是 除了原本的area and peri parameters，對sidewall-up或是sidewall-down作coeff 做出計算並且透過公式加總等效電容值