DRACULA 中的ATTRIBUTE CAP問題

comochen

各位好,
最近在參考Foundry的LPE command file對寄生參數的寫法時,對ATTRIBUTE  CAP的語法有些疑惑
( r2 Z  _- V5 q! ~1 t3 e依照Dracula Reference內ATTRIBUTE CAP章節內Case 4的定義如下
Case 4:
PARASITIC CAP {subType} device_layer terminal_layer1 terminal_layer2
ATTRIBUTE CAP {subType} areaCoeff perimCoeff depthRange sidewallCoeff
且參考此章節Example 4 中的例子
*OPERATION
( P3 Q$ [5 T. K' C# J: f9 O+ SPARASITIC   CAP[F]      M12 MET1 MET2
9 Y, `4 P3 {6 O! f4 \+ rATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.2 0.019 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
ATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.6 0.032 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
( `: h3 J& ?  C$ c4 U* vLEXTRACT NEWE M12 BY CAP[F] PFILE & ; FLEXIBLE EQUATION
EQUATION C= 0.5*AREA +1.2*(PERI-TPR) + CLL
3 u4 K6 r! Z1 N: s...
*END
% T! P" C" E6 _* s5 V0 ^  }
其中(若以下解釋有錯請糾正我)
areaCoeff為M12的單位面積寄生電容值(Ca)
perimCoeff為M12的邊緣電容值
8 _& _: m2 ^$ C9 F4 X. l, P8 M$ p* GdepthRange為M12距離MET1的距離
/ S6 b6 L( M8 ~sidewallCoeff為不同距離區間下M12與MET1的Fringe電容值

以下為我節取一段Foundry的LPE command
$ o5 A% F2 s1 K, C9 t   PARASITIC  CAP[A3]  M12      ME1       ME2      
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.42  1.6709E-05
# c+ h  A9 y# e3 ^* Z1 K  w' ^+ T   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.966664  4.20651E-05
8 u& i. n7 e. \' u9 [; q- H& o1 p+ E   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  1.51333  5.99823E-05
4 S4 _& g" ^7 {) s1 T   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.06  7.1379E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.60666  7.83301E-05
  [+ m( W6 N* e  |/ F, _, c: p   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  3.15334  8.2139E-05
為何ME1距離M12越遠Fringe電容值越大？
& X7 I+ {$ o, B$ k6 f電容不是兩端越遠電容值越小嗎？
還是我根本就理解錯誤？
懇請各位不吝指教,感謝!!感謝!!

jkchien

你對sidewall coeff理解有疑問，你的中文解釋和圖形例子有問題
那張圖是用來說明case3 fringe coeff ，不是用來說明case 4
1 \% t1 B& \- o# J7 X5 g9 Mcase 4是 除了原本的area and peri parameters，對sidewall-up或是sidewall-down作coeff 做出計算並且透過公式加總等效電容值