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[問題求助] tsmc 0.18 BCD process 認不到 w/o salicide電阻

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1#
發表於 2023-10-6 00:00:20 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
本帖最後由 weilun_1016 於 2023-10-6 12:29 AM 編輯
8 _! ]3 t8 s* y) }5 x6 H$ b
2 V* j/ r! t" `" C5 D. G+ W) c1 t各位前輩好
4 Y1 V. d: F# }( g6 V1 E) a
8 B" S; p7 p" T9 S  o0 R2 A: V小弟最近在畫layout碰到一個問題,遲遲無法解決,因此想上來詢問各位前輩的意見, H, ~& O6 x. h5 Y* B" Z  J
0 ]/ C+ K9 y. G6 D  F0 G+ O
小弟用的製程是 TSMC 0.18UM CMOS HV MIXED SIGNAL BASED BCD GEN2 SALICIDE
" s6 v: \5 r9 k7 c* V
3 s  u! I1 j/ b% K在畫layout時有使用到 P+ Poly resistor w/o Silicide的電阻,而且都是直接用tsmc他們的PCELL4 R5 J, D( n0 e/ q: }9 Z& p# G% w/ X
7 n! B+ r8 g6 s/ }0 v6 [: _
但跑LVS時,layout轉出來的netlist檔卻沒有這個電阻,所以一直有missing instance的情況
5 }+ m/ v3 W3 V! S0 H8 @, E9 @
3 \5 B1 d4 W3 Z
以下有幾點我有先確認過,因此才推測是不是layout認不到w/o Silicide類型的電阻:4 n$ f9 `9 ~9 V  z& s0 @% s
; a! h; M( K3 N8 c5 X' q) ]2 z
1.用w/o Silicide的電阻時,跑LVS時,layout端會有missing instance的情況;一旦改成w/i Silicide的電阻時,LVS即可通過→排除接線問題
! i7 L' m! l9 V! B! a2 r$ q6 B% v: J
2.在layout中將所有PCELL內所有w/o Silicide的電阻叫出來,跑LVS時,layout端都不會有Unmatched的元件( e# E/ ^7 e' y* v9 a. G8 z; [1 ^9 C( d

% W' }. [2 a$ U  j( F我也有去看LVS Rule的檔案,知道這兩種電阻只差在有沒有RPO Layer (Non-salicide OD Area Definition),也確認PCELL內都包含了應該有的Layer- j: U, |4 [+ D, c/ d) ~
1 M3 `$ m* {7 B: h
6 ^! t9 E/ d$ x  C( `
+ `- O- d2 P" v6 S: W) T
若是自己按照LVS Rule定義的layer去畫電阻,就會變成在還沒覆蓋RPO Layer時,layout認的到它是w/i Silicide的電阻[PS],
  T$ g2 k$ Z7 Z
( U2 z( [7 M. s! S一旦在原有w/i Silicide的電阻覆蓋RPO Layer,就missing instance了。" K" G' r' r2 w6 p( E1 u2 }
) {: e0 |' @: ~/ L) p  W- F" u& Q% o
請各位有經驗的前輩能提點一下小弟,要怎麼解決這個問題,已經被困了好幾天了) }) r  `; K0 I3 X4 r, Z  H
. \9 U' D/ a/ @( |5 ]" m. w

4 S$ T2 X* Q3 j4 V+ C
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