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有一本書我覺得蠻不錯的
2 l/ c$ N# d* f7 J8 P原文跟中文書都有 也是大部分技術學院大三大四8 ?% X6 n* {. ]! X O( k: ?
會使用的 半導體製程概論 教材' b6 @+ J5 w# J& v6 x! O; S
看完這本再去看 莊達人的 VLSI 製造技術, 高立出版
( {& }, U7 [' y5 |整個製程概論應該就會蠻了解 (莊達人這本跟施敏的半導體元件物理幾乎每個固態組的學生都會買)+ F- k4 e# ^! Q
9 J9 N5 e% a( b6 w. O
Introduction to semiconductor manufacturing technology2 r4 U* O: ^' R& B' ?% U3 C- p
半導體製程技術導論
6 k8 j0 w5 L2 q' }原著 Hong Xiao) N! E# Y! }* g& B. s
譯者: 羅正忠 張鼎
3 O R2 k1 |& h/ z9 o2 J3 v; w4 G8 F- |& B& h# V( M
以下簡列書的目錄
6 Q9 Z. L% U" S; r. g; ?Ch1 導論2 C! }6 k9 r( X2 o
Ch2 積體電路生產的簡介
, D0 I+ w. l) c- O1 cCh3 半導體的基礎
8 E- C0 l- F$ c% v r& u6 W: Z0 w8 I; ECh4 晶圓製造/ y, \+ A1 G* F. O6 K
Ch5 加熱製程* J* T* z7 z- {5 o* S+ \* e
Ch6 微影技術
- N7 K( q) n* w$ l3 LCh7 電漿的基礎原理
- ?7 s1 |' P$ I' ?7 @' y9 DCh8 離子佈植3 r4 E1 @: r9 z9 G
Ch9 蝕刻1 F1 q! ?% G. ~- {$ h3 F$ b8 f' e: @
Ch10 化學氣相沉積與介電質薄膜
6 _2 y- q. x" _9 y; O: N3 RCh11 金屬化製程
' o3 J2 I( \! _9 _0 W8 U9 oCh12 化學機械研磨
2 G/ ~' o. ?% t7 E" }+ J( P7 JCh13 製程整合$ L |) B8 P9 T& R6 Z
Ch14 CMOS製程# e7 K3 ~. k. q( R& ~# [, s
+ o7 G( c1 r4 X+ }0 U3 U
這些都是基礎 到了公司學到的 不同公司的製程 對各個Layer的命名方式都會有所不同
. \4 F/ T0 G4 Z& \8 e7 q7 c學習這些基本理論的原因 是要培養 你對整個半導體 從最底層到最高層一個建構剖面圖的觀念" R; z8 Z- X) w5 w- z& K5 P
用什麼製程技術產生Oxide做隔離 用什麼製程技術做成Channel
9 a8 G+ P# }$ V% C6 `; P3 A怎麼樣做出濃度不同的diffusion, 寄生BJT或Diode又是怎麼形成的等等0 G7 ]3 L# r2 ^0 y: P5 O: n8 T8 q. o
- |5 o- F' o9 X f6 a: e) Z9 a
在這邊比較可惜的是 以前的交大NDL有 半導體製程的教學網頁 會把0.35um的製程從第一個步驟介紹的最後一個步驟
1 z% y8 X- {5 x! r l0 |都是用動畫的方式來呈現 對當時還在唸大學的我非常有幫助, 不過現在好像找不到這個網頁了 殘念$ B1 |$ r x) w% i6 x' d/ E& ?
6 Y- ^: S1 Z# k- ]5 A( Q% _) ~, \6 u[ 本帖最後由 yhchang 於 2008-2-4 10:49 PM 編輯 ] |
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