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[問題求助] 請教DRC Error (dummy) - NO.IND.M1.R 1

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1#
發表於 2012-8-8 19:43:23 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
本帖最後由 mrj0702 於 2012-8-8 07:58 PM 編輯 . g2 p* Q# \0 q( s/ s
: a- p& u3 l! V9 s
各位好:
6 A0 Y. a% i8 Q2 S% C5 I  g我是在學的大學生,接觸Layout的時間並不長,所以請各位多多包涵與指教。
' S4 X9 ]' V! L* J# R6 h( A" p  h  B: y. ~4 Z! R) B3 I
我使用TSMC的PDK繪製了一個OP。
& _2 j- U) P4 F9 R6 d' D, m" X* Z. C" x8 c0 l  w6 U; [2 Z: f) q
在下線申請的假錯列表中,有幾項DRC Error是不能忽略的。6 T4 C* }& w$ H* `- ^
Density的錯誤(NO.IND.PO.R.3、NO.IND.M1.R1~M5.R1、UTM20K.R.1)
. G* o- {4 N; O; x. E) k
6 Z# d9 [) m5 M6 i( }( x! i4 p因為我不會使用輔助工具來自動填補,所以OP旁邊的Dummy(5um*5um)是自己手動補上的(範圍1mm*1mm)。
3 v+ W) ^5 b0 n2 Z我試著將M1-M6/dum重疊,不過這些Dummy的錯誤依然無法去除。  c$ M; w4 w, V7 H0 y; s: L
我想我肯定是漏了其他金屬層的Dummy,所以這個DRC Error 才會無法去除。
% k+ e/ Q. t6 F+ ~+ w
& a9 P  Y2 _1 d- m. A9 {9 ~有前輩能夠指教如何自動填補Dummy?或者手動補Dummy需要那些金屬層?
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2#
發表於 2012-8-14 15:36:56 | 只看該作者
那個錯誤是密度不夠 po密度要到14%
) H  q9 J$ W$ v* m9 f4 ?1 M" q其他m1~m6都要填佔整顆晶片的30%
3#
發表於 2012-8-15 02:40:26 | 只看該作者
本帖最後由 ONLYFLYSKY 於 2012-8-15 02:52 AM 編輯 1 K9 P8 H6 x4 }! @& o2 L) L
9 Y' Y/ m5 ]1 ?6 v! \
要補,,因為是看整片WAFFER的面積,至少確保您的部份是OK的 ,所以後續CIC在補不足的部份不用補那麼大的面積,對他們來說是省時省事,也確保在補時不會動到下片的人的晶片,這是看空的部份來禣的。
' R# c  S. I% G* A4 O, q+ J0 r& G7 G6 V- H

8 I& |" _1 h/ y不用補,因為是看整片WAFFER的面積,你的沒補,或許可以靠 其他人的來補償你不足的部份。--->等你出社會時跟其他業者搭BUS時,製程廠如果可以讓你忽略,也就是他們可以負責這部份。
4#
 樓主| 發表於 2012-8-26 12:29:25 | 只看該作者
謝謝兩位的回答,我已經補上並成功消除這些錯誤了。
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