請教DRC Error (dummy) - NO.IND.M1.R 1

mrj0702

1 J$ W; N4 _/ z, b  M9 K% }
各位好：
( q6 R4 W2 Z3 ?4 X9 W0 ~我是在學的大學生，接觸Layout的時間並不長，所以請各位多多包涵與指教。
6 o2 V( N5 W) g  K0 e: V2 e) P
我使用TSMC的PDK繪製了一個OP。
' L* ^0 y0 C( D% V; y
在下線申請的假錯列表中，有幾項DRC Error是不能忽略的。
( q) I# y6 R0 t  yDensity的錯誤(NO.IND.PO.R.3、NO.IND.M1.R1~M5.R1、UTM20K.R.1)

因為我不會使用輔助工具來自動填補，所以OP旁邊的Dummy(5um*5um)是自己手動補上的(範圍1mm*1mm)。
( ^7 h3 r; b# r4 _我試著將M1-M6/dum重疊，不過這些Dummy的錯誤依然無法去除。
我想我肯定是漏了其他金屬層的Dummy，所以這個DRC Error 才會無法去除。
% ?9 C; Q, g0 {
有前輩能夠指教如何自動填補Dummy？或者手動補Dummy需要那些金屬層？

glavine

那個錯誤是密度不夠 po密度要到14%
其他m1~m6都要填佔整顆晶片的30%

ONLYFLYSKY

" e4 L. X1 g5 v4 v, L要補，，因為是看整片WAFFER的面積，至少確保您的部份是OK的 ，所以後續CIC在補不足的部份不用補那麼大的面積，對他們來說是省時省事，也確保在補時不會動到下片的人的晶片，這是看空的部份來禣的。


! R  e+ w1 A: Z, P; o0 U不用補，因為是看整片WAFFER的面積，你的沒補，或許可以靠 其他人的來補償你不足的部份。--->等你出社會時跟其他業者搭BUS時，製程廠如果可以讓你忽略，也就是他們可以負責這部份。

mrj0702

謝謝兩位的回答，我已經補上並成功消除這些錯誤了。