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[問題求助] λ -base esign rules中有些規則不懂 想請教謝謝^^

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1#
發表於 2007-6-11 12:57:51 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
小妹我從唐經洲的書上看到其介紹!
- C* j9 A' O: ]% k: z" _而首先Mead&Conway只是提出λ基礎設計規則作者吧?
8 ]6 h8 y% v: b4 ^, h% V接著是書上寫的名詞規則有些不是很了解 ,在此提出麻煩大大們 提供意見謝謝^^
( m" y9 T1 ]; d9 w4 l6 x+ h------------------------------------  l0 N/ e2 ]7 ?5 m, T
規則/說明
* B8 C+ H8 J7 m- K) oEpd>=2λ  :閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為" n- _' n/ R; w& \1 J
                 diffusion overlap而短路。
2 h( ?3 h% F" ~  M0 F2 f9 `------------------------------------: E9 ^2 T3 j, C% p0 F( e" z' ?
關於diffusion overlap 這點 不懂diffusion為何會部份重疊而短路? 因為畫layout view時 畫棵mos不就先畫好diffusion後再畫poly閘極等,但diffusion已畫好了 那來的第2個diffusion來讓它部份重疊而短路呢?  還是說poly畫上 形成了s及d的diffusion 而poly未超過diffusion的最小長度將使這2區的diffsion短路呢?" N* r5 R  f  ]5 h$ h# ?: w/ S
-------------------------------------
( d8 z  S" w1 Z8 ?) G6 T1 x名詞定義:
  ]% V4 K) `2 D  si:implantation region  7 k9 [0 y6 j: ~) Q4 n! F
implantation region  這是畫mos有 畫到嗎? 這是什麼東西?implantation好像指摻雜區吧?8 `% o' [4 r' ~" ]$ i+ i. b) Y
-------------------------------------' H+ {) L' q+ f- n
Emc>=1λ:contact hole 和包覆著洞外面的metal區的最小寬度. y# z& O$ }# B
------------------------------------
7 n2 I# s" }4 l5 N上述規則是不是指包覆著洞外面的metal區從contact往外延伸的最小寬度呢?
# w) d9 B+ @( t% {/ |------------------------------------
7 G; Z% Q1 e# QOpd=1λ:poly與diffusion對接成接觸的重疊寬度。通常poly與diffusion均作成4λ寬,兩者重疊1λ的寬度,在兩者之間開一個2λ寬、4λ長的- ^: b2 K3 `+ k0 h' U7 t8 i2 U) _
              contact hole置於中間,而覆蓋於其上的metal為4λ寬、6λ長的metal。3 t% L1 D5 C7 T) q% M# b/ A
-----------------------------------
) m- ]+ p, K, ?: s上述規則介紹poly、diffusion、contact hole、metal的尺吋,但是業界每間公司都是用Mead&Conway提出λ基礎設計規則嗎?
2 _8 a5 m2 }/ v9 K$ [" O" G還有我是使用calibre驗証軟體,我曾開啟drc  command file來看 有看過這些規則如wd>=2λ  ,sdd>=3λ ,wp>=2λ等等,只是每間公司desing rule要求的線性尺吋λ的大小 應該與Mead&Conway提出λ基礎設計規則不同大小吧?
. _, ~& l, `9 Y$ O9 A---------------------------------
$ G/ _" L) d' l; d還有我跑drc 出現的錯誤訊息看不懂,但訊息中有出現這些規則如wd>=2λ 等之類的訊息,於是我去開啟drc command file內容想看看裡面的設計規則,而我不會寫command file 所以也看不懂別人寫的內容,但是跑drc時除錯的錯誤訊息的內容 不都是撰寫drc command file時寫好各物質之間的距離、寬度 及不符合規則時要出現的錯誤文字訊息嗎?( _0 S) N: {+ i6 r' T" I& m
所以我只要看的懂command file就能知drc的所有規則吧?2 C3 C( ]( _5 U7 C+ v! P6 _9 h( o
簡單的就是問 如何看懂command file? 看的懂的話 那我跑drc、lvs時 的錯誤訊息 我就能清楚了解是那裡的錯誤 ,讓我方便很快的除錯。1 b9 k7 J. R9 W
是有書還是網站有介紹嗎?( |$ I" [. P$ q* x- _" a& N
--------------------------------------# q; p, E4 t* t# W9 L! Y
Eig>=1.5λ :implantation區需超出閘poly的最小長度。& f3 ?3 ?& u2 o& E7 C2 ]
--------------------------------------
. C! L# i# P, Z! F上述規則的 implantation區 我沒看過 ,到底是什麼?
4 D# ^3 y$ B' K$ |( `/ {8 O- q8 r& j5 }2 Y/ s4 P

8 p% d+ I$ l/ ~) ?2 K
& J0 }8 A% r7 {麻煩大大們有空 協助解決小妹的問題  3q  ^^
( W/ d" D- `4 ?. w  [9 i
- d) m# f7 @& P4 e: K[ 本帖最後由 君婷 於 2007-6-11 01:08 PM 編輯 ]
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2#
 樓主| 發表於 2007-6-11 21:18:27 | 只看該作者
還有一堆規局雖然寫各材質間的距離、寬度為多少λ?  但是λ只是個參數用以表示物質的線性大小,所以這與畫layout view時有關嗎?  因為畫layout時 不是都必須符合drc command file裡所設定的規則,否則跑drc就不會過了。0 V4 W6 J  J+ H: r* r& i# }
那麼書上的這些規則 在應用的實作上 到底是用在那阿?
" q3 X9 S6 x9 l0 Q* g" G$ z9 Y+ N希望有大大 願意回答小妹我那麼多的問題,因為才7個人看過我的文章 @@ 感恩><
3#
發表於 2007-6-11 23:16:13 | 只看該作者
λ -base 這是一個示意的 Design Rule, 也就是差不多的 rule, 相當的不經精確, 但是好備好記!# Q( N: r1 r5 r3 L' z; G
所以  RULE 就不需要被太多了!!
4#
發表於 2007-6-12 03:55:37 | 只看該作者
我不知道各家公司是如何運用λ參數來撰寫design rule. ~' s3 S0 z" N( l. H" g, I
不過,我以前待過的公司是不寫λ參數的,因為,那是學術理論教學用的,它是讓你有一個概念知道各個參數的定義值是以那個作為標準
. G( t) t2 Q6 _/ k0 {但,在實際情況裡,我們是直接用design rule來看待layout rule與command file
- j* _) V/ z; k, p7 V- x所以,只要照著design rule上面的定義來畫layout,就不會有問題' \1 G" `1 B5 J9 W
而LVS,DRC,ERC等check都是依據design rule來定的,所以,有任何的錯誤訊息出現,都是因為layout上有某些地方違返了design rule% T/ u3 a) ]( Q( Y0 b  }6 z
所以,清楚且了解design rule上面的描述,對於在除錯會有很大的幫助! ^7 F3 R& f+ J# t  `: `4 V% d
最後,design rule上面會有圖示標出各個rule的值的定義方式,當你遇到錯誤訊息時,首先先判讀錯誤的地方是在那裡,然後翻design rule看看裡面的rule值為何
5#
 樓主| 發表於 2007-6-12 06:40:52 | 只看該作者
謝謝2位大大的答覆,請問λ -base上定義許多規則分別多少λ  只是為了讓你看懂這名詞所代表那裡不符合design rule的意思嗎?
5 r. w: U0 v1 c& Q% [+ z而design rule定義的內容不是都在DRC,LVS,ERC的command file並且在裡面也定義了 若跑這3樣) L. K/ O& ?  m
check時 若有違反design rule 將出現什麼錯誤訊息,我的確主要目的是 想問 怎看定義>< 才方便除錯,請問關於design rule內定義的規則和錯誤訊息 的撰寫 都是固定語法嗎?還是有相關資訊有教你怎看這間公司design rule定義的內容? 像我作DRC  check都是直接看layout view上圖示標示那裡違反規則 再從錯誤訊息中看其要求所規定的最小長度或寬度,但我錯誤訊息只看的懂上面寫的數字其它都不懂,而作LVS check時 因為design rule定義更不了解 ,而跑LVS時除錯時 沒像DRC還有在layout view有圖示 直接清楚告訴你就是那裡錯誤要修改 所以 小妹我才請教是否有相關資訊教你怎看design rule定義的內容   ^^: ]+ S" J( m& g7 a
同時也謝謝2位的答覆   感恩^^

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6#
發表於 2007-6-12 21:13:14 | 只看該作者
我回答一下有關於LVS check7 b$ T6 i/ u( U' H6 w8 b3 t
LVS check是檢查電路與layout兩者的差異
9 @% x1 F- m, ?8 F1 ^9 K  t如一: 電路中有一NMOS,W=5.05um,L=0.88um,而你在layout上故意畫個畫了一個NMOS,W=5.04um,L=0.88um,讓W少了0.01um,所以你在作LVS check時,就會出現電路和layout的size不符的錯誤訊息
: u) G5 D9 T1 e+ i2 P如二:原本電路上有一條線是要接到vdd,但你在layout上卻把它接到gnd,故而在作LVS check時也會出現電路和layout不符的錯誤訊息+ D* p; u, O! _& m7 H/ @; w: u9 r; s
因為layout是要畫出電路上的元件與各個接點接法,一旦layout並沒有完全畫出電路該有的接法與元件大小,那在作LVS check時就會出現錯誤訊息
& R, o9 Y+ W+ o* r0 P0 m" e& m' E# W
) v: O4 i& _- G4 V8 \所以,在畫layout時,一般的作法都是先畫一個小電路,然後作LVS check,確保小電路的LVS沒問題,然後再繼續畫其他的小電路. s+ e& |9 F7 m
如此一來,在作整個大電路的LVS check時,比較不會出現找不到LVS錯誤的地方在那
- u6 {, u1 Q6 q' q8 t當然.這是經驗談8 q, _0 V' o. h8 S( _( y  p$ D9 ]
試想一下,你要在50個元件的layout中找出一個LVS error,和如果你要在100個元件中的layout中要找出一個LVS error,那一個比較容易些
4 V; j) v0 N! f* }% H4 d: p5 O4 ]所以,一個很大的電路layout,通常LVS check會切割成好幾個小電路的LVS check,等到每個小電路的LVS都過了之後,再作完整電路的LVS check

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7#
 樓主| 發表於 2007-6-12 21:57:39 | 只看該作者
喔喔^^想請問一下您的業界經驗,因為畫的是vlsi 具有1000個邏輯閘、1000~1萬個元件,如此超大的電路畫layout view一定畫死人><, a2 M9 }2 u  V. J2 ]# w" S
是不是習慣上 先建好各基本邏輯閘和電子元件的schematic,symbol,layout view,然後作到DRC,LVS check就好 並存在library,當要開始畫設計工程師交給你的schematic為其建layout view時 才叫出已建好的邏輯閘 來方便畫?
+ n( y  X$ A4 s) i. ^  _8 x而事先建好的電子元件和邏輯閘作到DRC,LVS check就可以了?  R4 P7 @4 B0 |( }# L' Y
我的想法大略只有這樣畫vlsi電路才較快 不然會畫死人 不知畫到民國幾年@@- b( E. \9 ^) u6 }2 y
還有公司裡的cell library裡應該有先前的layout engineer早先建好的元件才對吧?
( [( i  @: w5 T( B# m7 z. y% q- l; I( E* }3 q8 c
[ 本帖最後由 君婷 於 2007-6-12 09:58 PM 編輯 ]
8#
發表於 2007-6-12 22:42:20 | 只看該作者
現在的 logic circuit 很少用人畫了說!!
, @, z7 f/ v5 m# z- n( j現階段  都是用 APR 比較多!!!  而且 foundry 廠都會提供 cell library!
' \/ D- c. D% L3 w* Z當然也有可能提供 MACRO cell 供 design hourse 使用!; J, [! d  B. O. m/ z. T) a- N) J
0.35um  以上的製程,才有可能自己建 cell library!!# I5 }7 ^# n( x" k6 q% ~
7 A0 ^( p1 N2 e
現在的數位 designer 也很少自建 schematic entry!( K: }, [6 s& \& N
都是用 Verylog-L ........ 等等 tools, simulation, 合成, APR, .........
9#
 樓主| 發表於 2007-6-12 23:29:06 | 只看該作者
很多公司仍用0.35um以上的製程嗎?因為我學的正好是0.35的,而您介紹的verylog等tools應該是屬semi custom中分類在programmable device這一類 的tools 如FPGA、PLC等這些IC設計軟體且會自動幫你佈局拉線  設計者只要會寫程式就好 是吧^^
10#
發表於 2007-6-13 01:20:53 | 只看該作者
CIC 現在.35以下歸類為先進製程(真的有先進嘛= =?),反正差不多,不過數位的很少自己畫吧?都是直接auto placement吧?) ]" x; E* o/ I9 T* T0 g6 Q
- G: i* ?& d. Z+ q
λ -base只是比較適用於製程的轉換,規範不同的λ,所以rule之間的關係沒變,只要改變λ就可以。現在還有人在上這個嘛....
: Y# T- d( A: _1 j4 D
2 f0 k1 W; Z: C' ]還有類比跟數位那差很多的方式...妳如果要用verylog那就是tool要熟,不需要來看layout....也不用在電路元件上探討...當然是指基本的數位的,如果是特殊的比如memory那令當別論。反正就是verlog寫一寫然後轉一轉,只要跑個看有沒有timing不吻合的問題然後他就自己幫你弄到差不多了,沒人在那邊一條一條畫的。4 v- K7 M8 t! Q  n1 \7 S
. K$ d9 x2 S- n: ?  k
妳是不是搞混了數位跟類比.....這差很多捏...主要探討的項目也不太相同,數位著重在一件事情:right go the right thing!
, t) b  N1 u. _& J$ M8 J# l如果是VLSI那要看教學的人,我看大部分都偏數位,少部分偏類比。數位你只要不要弄到meta上面去,隨便弄不要太離譜都不會有什麼大問題,所以才可以使用這種自動佈線的方式。類比的那個可能WL差一些特性天差地遠,才會特別專注在layout跟元件上面的探討。數位的差一點反正我只要0跟1,準位差點那沒差別。我看數位好像都是套裝好的。你要memory就寫一寫他就生出一塊,然後就貼一貼拼個圖上去,然後要什麼就用tool弄一弄,貼一貼兜一兜,大該這樣就差不多了,這樣才能做的很大又很快。慢慢用手拉不僅沒意義(功能又沒比較好 做心酸)而且又浪費時間(時間=產品上市日期=金錢=公司生存率)。

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11#
發表於 2007-7-13 13:58:59 | 只看該作者

回復 #1 君婷 的帖子

關於你的問題:
8 ^" T1 p$ K, T+ s1 rEpd>=2λ:閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為diffusion overlap而短路。
5 K- \8 U, S$ ?& P
) t: ]9 T% _& G其實是多慮了,這只是特殊情況,沒有人會犯這種錯
7 {4 Y. ?: I! f/ [# G( P我們在畫MOS的時候不是會把poly覆蓋在diffusion上嗎?# Y' r8 `) {, D3 j: }! O  k9 N6 X
其中的兩邊就是source跟drain,
4 t0 S4 V7 |% d1 r- K" J而poly跟diffusion覆蓋的區域就是gate
2 U/ y* ~& L' m' l- V' R3 v2 F這是無庸置疑的嘛~
" Q# F( z+ o2 U& S8 |MOS一般的digital操作我們知道就是在gate上施加電壓以使其導通或截止
3 @/ w: |7 N3 f/ E: t( m5 x  L) L+ Z書上寫的意思是說poly我們都會使它超過diffusion,  E7 ]/ w7 f! X: a  W, b. J( g
而超過多少則有design rule規範
* L" g" E7 ^# M# m: X如果今天poly的某一端沒有超過deffusion,6 W% B  l! _2 }6 [* ~% V0 I. e9 y9 v
也就是說poly並沒有整個把兩塊diffusion區隔開來# c$ j1 N6 B, q' U. k4 p7 P% Y
這樣的話就沒有形成source跟drain
' V$ _4 m3 a! X! F/ p也就不算是一顆MOS,
, ^6 I* _3 O! K: `所以書上才會說兩端短路,是因為根本沒有區隔出source跟drain2 y: V0 ~9 x( @+ q6 f! j7 n
, n9 e$ E6 _3 P" ]8 a
而λ只是一個單位符號,看看就好,
: d  K& W1 {( O. w. o* H他只是為了要讓看書的人大概知道幾λ幾λ,
8 V" ~! Y9 d" Y* Z7 u, C這個rule跟那個rule大概的比值是多少,
. k- A1 v$ {/ ?% d' s8 s8 f所以不用太在意,畢竟每個process的rule都不一樣
9 B9 |1 e. ~! p, {' H. Y0 `所以書上為了不想表示成一個定值
' \) o6 W' G- O' {2 A; T就用λ來表示,意思相信也是希望讀者不要認為它是個絕對的值. i9 Q- }' h& H$ U9 D3 a

% i5 V9 T! R) h( R$ }從您的發問可以看出來您是位剛入門的同事, \( J+ W2 V5 c7 P" d4 a
因此建議您書上的看看就好,design rule比較重要!) \1 O& M2 f0 j% w3 G
) Y) g, M" W9 F5 n1 Y
小弟的淺見!
8 A( l! J, Y- ^) ^7 @+ V如果有不對的地方還請指教~
$ r1 g( i) F0 w8 M4 a0 Z. ^, {: M4 a3 D1 g# p+ t: T! Z5 t: G5 n
[ 本帖最後由 vlsi5575 於 2007-7-13 02:06 PM 編輯 ]

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12#
 樓主| 發表於 2007-10-22 23:38:53 | 只看該作者
使用cadence tools學習至今 發生了一個很大的問題 即LVS的除錯訊息根本幾乎不太明白其所表達的意思,無法直接從訊息中直接了解 就是指電路那裡節點有誤。
" ~' {6 @. ?. m; n/ {: dLVS的除錯訊息有教學網站嗎?因為小妹認為除錯花最多時間的地方乃在於LVS 而DRC本身就會顯示那裡的佈局不符合規局,所以小妹現在為了LVS的除錯能力很頭疼。
7 r" p' F  D- c, @- _對於finster  副版主所提的LVS看法...." P9 ]0 p1 i# V2 B3 p, E+ f; O
小妹覺得將netlist與layout作 LVS比對時,netlist因為之前跑過pri-sim所以netlist本身一定正確,LVS有錯誤訊息 一定是Layout部份有畫錯。) z2 ?+ \5 D& |  N2 B1 R( \
假設layout的晶體寬度與電路的寬度不同 所出現的錯誤訊息 應該是表示電路寬度與layout不符吧?
0 o- u/ u, {" J& n  e7 y/ m而不是表示layout與電路寬度不符吧?7 j* ~' M% n7 Z* a# ]% |! G5 J2 ^. S
不知小妹對LVS的想法是否正確? layout錯了 但除錯訊息卻都是表示netlist與layout不符 讓初學者以為是netlist錯了?$ f2 q% A7 K4 V# u% |6 U
麻煩大大們提供LVS除錯經驗及是否有教學資訊     謝謝唷^^
13#
發表於 2007-10-23 13:01:16 | 只看該作者
不知您是使用哪一套軟體去跑LVS
/ r; @  _/ L* Sdracula還是calibre
0 K2 i  g# g" z% T4 m- u) l一般來說circuit轉出來的netlist file很少會有錯的4 M/ R$ Y- Y2 }
您說的layout mos width 跟netlist 的不符" V( N- i# A/ L: h
這不就是代表您所lay的mos有錯嗎?!+ E6 @! W/ t' F5 B# M
怎會想去netlist錯了 = =
! N. q" R2 K1 B! c7 R+ @  |) P總覺得您把LVS report所要表達的意思給誤解了
* S( F) u( X" CLVS除錯大多數都是靠經驗累積的
: x1 k( e( l/ L9 N0 r而初學者大多靠前輩帶著做學習debug的能力5 f0 l+ W, B7 a- R' d" W
倒是沒聽過有教學資訊7 H2 P9 y7 Y5 W+ W( M+ A" S
或許改天請版主開個專門把LVS驗證出現的問題
2 K) L8 j5 m. e; j# j& L, c集中在一起的版好了 ^O^
14#
 樓主| 發表於 2007-10-23 15:18:49 | 只看該作者
抱歉 我所用的是calibre  
; S* r7 J" L9 r& G% v3 X對於除錯訊息心裡的確認為不符部份 絕不會指netlist部份有誤,除非是後來schematic被修改過而忘了重轉一次netlist。' h6 d: a4 a: s% G0 Z+ \
假設layout檢查出有17個net s和netlist 有16個nets, W# p0 m: s& N
就表示可能layout有某處開路 難到不會有可能是短路嗎?7 Y/ o% r1 B' b! q- V4 j7 R

3 ~) W9 b) A: q& Q. _& X假設layout檢查出有16個net s和netlist 有17個nets* \( {9 v5 _7 X$ y0 r& P
表示可能layout有某處短路 難到不會有可能是開路嗎?- N* m) V# f9 ~) R) V, b

  c4 l* ?  y6 x; C8 G5 F: P想請教calibre有沒很直接的指明就是layout處那裡開路或短路以及很清楚的說明就是那個一個點?      謝謝唷><! u; ?3 H1 R, t, c9 Y& \( `* Y
8 r4 |, K0 B" Z+ l  M. p+ w
小妹還想請教一下關於節點node在spice的定義,node指輸入端或輸出端的端點及2接腳以上連接在同一個點都算node吧...
6 u2 F# C& x) G( l, [2 ~% G; P5 e. z所以若2元件中有2接腳本來是連線在一起(只有一個node),若開路了 則在開路的2端也各算1個node於是變成2個node嗎? 謝謝' @  k& ~: X8 O7 {. B1 {1 i6 S6 w
: o6 B" J* h+ f' |
[ 本帖最後由 君婷 於 2007-10-23 03:40 PM 編輯 ]
15#
發表於 2007-10-23 19:28:12 | 只看該作者
假設layout檢查出有16個net s和netlist 有17個nets
: O& o6 }  _( \; N. g$ ^) c表示可能layout有某處短路 難到不會有可能是開路嗎?  r! Y+ `3 V$ k" i- f6 F
Ans: 是的....不可能是open.....如果是open的話) a" L" K9 D* q2 q+ c5 D
         layout會多出一條net
0 u7 L# z: b4 x( d" j) q8 G" L+ {) Uㄟ....不知道小妹您有沒有開啟RVE
6 ~' e  B* |; w0 w" s一般來說用RVE LVS來debug應該會很容易找到錯
# k! h) h0 b  e除了power&ground的short比較難找之外& m( ]: e$ p2 C
照理說應不難除錯唷 ^^
16#
發表於 2007-10-24 11:17:46 | 只看該作者
有些問題必須從半導體製程去解釋,比方說,- A/ ?; j! D4 n; u5 M9 r8 D/ f
=====================================================
9 _& H8 W3 @6 f; w2 \1 \4 u! NEpd>=2λ  :閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為: i# T% _3 u& |8 Q" w6 R
                 diffusion overlap而短路。- w  R  B: {6 `5 y: |  h5 g
=====================================================
8 L* e& t& F+ Q' P$ Q& b8 C上述應該指的是endcap,如果layout上的poly是突出diff的,實際上製程廠做出來的型狀,是會往後縮,並且尾5 {$ N+ }  @0 I: f# p( y: T
端呈圓弧狀,為了避免poly縮進diff中,而造成s跟d導通,所設定的rule.
- z3 h% b6 |: I: u- E9 z當然有些比較特殊的mos不在此限,比如說可變電容之類.
4 _+ u' n* y  ~6 g( A8 }妳把poly也就是gate當成一個控制s跟d的開關,也就不難理解了,妳後面所說的diff短路應該是指這個吧.
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