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[問題求助] λ -base esign rules中有些規則不懂 想請教謝謝^^

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1#
發表於 2007-6-11 12:57:51 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
小妹我從唐經洲的書上看到其介紹!- R0 P2 t2 [+ n5 _) f- d$ U3 r
而首先Mead&Conway只是提出λ基礎設計規則作者吧?' `- W3 |, X/ T4 d: I
接著是書上寫的名詞規則有些不是很了解 ,在此提出麻煩大大們 提供意見謝謝^^3 `' e, K* m1 Z/ l; c5 T/ O+ a
------------------------------------- V/ t. ?* E/ C3 X
規則/說明
" P' T3 t0 x2 Q5 lEpd>=2λ  :閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為
2 A9 o$ J- S; E  T) K4 Q5 i9 R                 diffusion overlap而短路。
; g8 K- d* S3 c" N: v% j------------------------------------: O9 e6 G; Z3 _4 e
關於diffusion overlap 這點 不懂diffusion為何會部份重疊而短路? 因為畫layout view時 畫棵mos不就先畫好diffusion後再畫poly閘極等,但diffusion已畫好了 那來的第2個diffusion來讓它部份重疊而短路呢?  還是說poly畫上 形成了s及d的diffusion 而poly未超過diffusion的最小長度將使這2區的diffsion短路呢?5 M% c5 j5 z: P* _7 i' ~
-------------------------------------& h; s5 D3 l% i- q$ t
名詞定義:
& o* j% [1 ?) {7 A  ii:implantation region  
! q" t" U8 @' r+ _- `! u/ ]2 [7 Yimplantation region  這是畫mos有 畫到嗎? 這是什麼東西?implantation好像指摻雜區吧?
0 J9 l7 @9 ]8 y1 p% i-------------------------------------
% U% m& ]; R- c2 p1 j5 vEmc>=1λ:contact hole 和包覆著洞外面的metal區的最小寬度" U! g; `* q, f, k# L( l1 H
------------------------------------- Y: Z: L2 \/ f* U3 p
上述規則是不是指包覆著洞外面的metal區從contact往外延伸的最小寬度呢?+ P" C& b5 A5 T! t9 x' O1 z
------------------------------------! F$ }6 V' N5 |
Opd=1λ:poly與diffusion對接成接觸的重疊寬度。通常poly與diffusion均作成4λ寬,兩者重疊1λ的寬度,在兩者之間開一個2λ寬、4λ長的! v8 y5 {& b* g- i
              contact hole置於中間,而覆蓋於其上的metal為4λ寬、6λ長的metal。
0 r) J/ B( ?5 G5 E1 a9 T-----------------------------------8 M  C& `+ c/ K5 H- u
上述規則介紹poly、diffusion、contact hole、metal的尺吋,但是業界每間公司都是用Mead&Conway提出λ基礎設計規則嗎?
& v! B1 X/ d1 c還有我是使用calibre驗証軟體,我曾開啟drc  command file來看 有看過這些規則如wd>=2λ  ,sdd>=3λ ,wp>=2λ等等,只是每間公司desing rule要求的線性尺吋λ的大小 應該與Mead&Conway提出λ基礎設計規則不同大小吧?- [+ i" p' ~# p4 c
---------------------------------4 u+ P5 r* x5 c2 ?! s
還有我跑drc 出現的錯誤訊息看不懂,但訊息中有出現這些規則如wd>=2λ 等之類的訊息,於是我去開啟drc command file內容想看看裡面的設計規則,而我不會寫command file 所以也看不懂別人寫的內容,但是跑drc時除錯的錯誤訊息的內容 不都是撰寫drc command file時寫好各物質之間的距離、寬度 及不符合規則時要出現的錯誤文字訊息嗎?
2 E5 H6 E' @; a所以我只要看的懂command file就能知drc的所有規則吧?
9 D6 D% w& `+ |  R" h. I簡單的就是問 如何看懂command file? 看的懂的話 那我跑drc、lvs時 的錯誤訊息 我就能清楚了解是那裡的錯誤 ,讓我方便很快的除錯。8 h. p  p; g* S7 k7 I! }8 v6 X
是有書還是網站有介紹嗎?' D4 [' T2 u8 o1 h4 A) A
--------------------------------------
  w" d; K* q' i5 AEig>=1.5λ :implantation區需超出閘poly的最小長度。, k. Y) m# l+ P
--------------------------------------
; p& z) h& U4 F4 ~! k上述規則的 implantation區 我沒看過 ,到底是什麼?  A1 e) ~; L/ e! U3 V

" C) b2 T& ~4 D4 ?3 P& q  q) n) G; j  n" I) ?) L: r
  o; c7 w+ K9 N' Z' j, h/ L
麻煩大大們有空 協助解決小妹的問題  3q  ^^
! Z, b& o: L9 w* K$ E% o5 o7 j4 t2 X: f
[ 本帖最後由 君婷 於 2007-6-11 01:08 PM 編輯 ]
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2#
 樓主| 發表於 2007-6-11 21:18:27 | 只看該作者
還有一堆規局雖然寫各材質間的距離、寬度為多少λ?  但是λ只是個參數用以表示物質的線性大小,所以這與畫layout view時有關嗎?  因為畫layout時 不是都必須符合drc command file裡所設定的規則,否則跑drc就不會過了。
! p2 h- j7 H6 \! D那麼書上的這些規則 在應用的實作上 到底是用在那阿?9 \9 ]3 y7 h) N# Z" T
希望有大大 願意回答小妹我那麼多的問題,因為才7個人看過我的文章 @@ 感恩><
3#
發表於 2007-6-11 23:16:13 | 只看該作者
λ -base 這是一個示意的 Design Rule, 也就是差不多的 rule, 相當的不經精確, 但是好備好記!
. p$ f4 M* V$ J# z6 O6 ]* U  K所以  RULE 就不需要被太多了!!
4#
發表於 2007-6-12 03:55:37 | 只看該作者
我不知道各家公司是如何運用λ參數來撰寫design rule
; `9 Q" m5 B' b+ ~不過,我以前待過的公司是不寫λ參數的,因為,那是學術理論教學用的,它是讓你有一個概念知道各個參數的定義值是以那個作為標準1 i9 d3 x6 ^; t7 _  V
但,在實際情況裡,我們是直接用design rule來看待layout rule與command file. j( [  J% `7 Y; {/ s/ m
所以,只要照著design rule上面的定義來畫layout,就不會有問題  e  J4 C/ V6 U6 Z$ X( _4 h; m! N5 i
而LVS,DRC,ERC等check都是依據design rule來定的,所以,有任何的錯誤訊息出現,都是因為layout上有某些地方違返了design rule
7 H  o; _8 ]9 x; I5 x$ y所以,清楚且了解design rule上面的描述,對於在除錯會有很大的幫助5 {0 r" k2 ]2 s, s/ Z( j
最後,design rule上面會有圖示標出各個rule的值的定義方式,當你遇到錯誤訊息時,首先先判讀錯誤的地方是在那裡,然後翻design rule看看裡面的rule值為何
5#
 樓主| 發表於 2007-6-12 06:40:52 | 只看該作者
謝謝2位大大的答覆,請問λ -base上定義許多規則分別多少λ  只是為了讓你看懂這名詞所代表那裡不符合design rule的意思嗎?
& R2 v7 ]6 J- b而design rule定義的內容不是都在DRC,LVS,ERC的command file並且在裡面也定義了 若跑這3樣
; {( c! k9 q: |2 zcheck時 若有違反design rule 將出現什麼錯誤訊息,我的確主要目的是 想問 怎看定義>< 才方便除錯,請問關於design rule內定義的規則和錯誤訊息 的撰寫 都是固定語法嗎?還是有相關資訊有教你怎看這間公司design rule定義的內容? 像我作DRC  check都是直接看layout view上圖示標示那裡違反規則 再從錯誤訊息中看其要求所規定的最小長度或寬度,但我錯誤訊息只看的懂上面寫的數字其它都不懂,而作LVS check時 因為design rule定義更不了解 ,而跑LVS時除錯時 沒像DRC還有在layout view有圖示 直接清楚告訴你就是那裡錯誤要修改 所以 小妹我才請教是否有相關資訊教你怎看design rule定義的內容   ^^5 s+ @2 D, o; O# O1 S, j3 i$ T7 j
同時也謝謝2位的答覆   感恩^^

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6#
發表於 2007-6-12 21:13:14 | 只看該作者
我回答一下有關於LVS check; N+ B  y) l; L8 _
LVS check是檢查電路與layout兩者的差異
2 k" O4 i, M5 D$ }$ k( |如一: 電路中有一NMOS,W=5.05um,L=0.88um,而你在layout上故意畫個畫了一個NMOS,W=5.04um,L=0.88um,讓W少了0.01um,所以你在作LVS check時,就會出現電路和layout的size不符的錯誤訊息
, c% A' }# @+ L4 l0 H8 Z# Y1 |9 f4 L如二:原本電路上有一條線是要接到vdd,但你在layout上卻把它接到gnd,故而在作LVS check時也會出現電路和layout不符的錯誤訊息1 p* k# p# A# ?( i0 A
因為layout是要畫出電路上的元件與各個接點接法,一旦layout並沒有完全畫出電路該有的接法與元件大小,那在作LVS check時就會出現錯誤訊息
0 b# C  Q6 _! ~) t2 p/ Y+ w  r5 G  T# _/ Y; m
所以,在畫layout時,一般的作法都是先畫一個小電路,然後作LVS check,確保小電路的LVS沒問題,然後再繼續畫其他的小電路& r" B2 `& @  R
如此一來,在作整個大電路的LVS check時,比較不會出現找不到LVS錯誤的地方在那0 ~, N' k1 H" L# `2 C" K' I" N
當然.這是經驗談; x5 j+ T# _6 X3 e
試想一下,你要在50個元件的layout中找出一個LVS error,和如果你要在100個元件中的layout中要找出一個LVS error,那一個比較容易些
! p% O& N/ q  o" F+ g" e  O% c" J2 S  E所以,一個很大的電路layout,通常LVS check會切割成好幾個小電路的LVS check,等到每個小電路的LVS都過了之後,再作完整電路的LVS check

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7#
 樓主| 發表於 2007-6-12 21:57:39 | 只看該作者
喔喔^^想請問一下您的業界經驗,因為畫的是vlsi 具有1000個邏輯閘、1000~1萬個元件,如此超大的電路畫layout view一定畫死人><% l8 t4 _' g: }; q) Q) N, f1 t
是不是習慣上 先建好各基本邏輯閘和電子元件的schematic,symbol,layout view,然後作到DRC,LVS check就好 並存在library,當要開始畫設計工程師交給你的schematic為其建layout view時 才叫出已建好的邏輯閘 來方便畫?
, v* Q- o7 q6 j3 H$ z4 q# V而事先建好的電子元件和邏輯閘作到DRC,LVS check就可以了?
4 K$ Q( m/ }, a我的想法大略只有這樣畫vlsi電路才較快 不然會畫死人 不知畫到民國幾年@@% J/ O1 o: r* s- a: n3 [6 E
還有公司裡的cell library裡應該有先前的layout engineer早先建好的元件才對吧?
9 K/ o/ x; K# f+ u
6 L( P% v9 G1 N[ 本帖最後由 君婷 於 2007-6-12 09:58 PM 編輯 ]
8#
發表於 2007-6-12 22:42:20 | 只看該作者
現在的 logic circuit 很少用人畫了說!!; w# r+ W2 F' K1 a4 Q
現階段  都是用 APR 比較多!!!  而且 foundry 廠都會提供 cell library!6 |  @+ x8 ]# ^; K
當然也有可能提供 MACRO cell 供 design hourse 使用!
% g5 I( V! B/ J% G2 r0.35um  以上的製程,才有可能自己建 cell library!!
4 d3 L+ F* z: M2 M0 V% U
0 ]6 U' [/ M' U- I; I; Z& B3 O7 A現在的數位 designer 也很少自建 schematic entry!
) q. o$ Z, g* R& z* s" j& Z# h% m) u都是用 Verylog-L ........ 等等 tools, simulation, 合成, APR, .........
9#
 樓主| 發表於 2007-6-12 23:29:06 | 只看該作者
很多公司仍用0.35um以上的製程嗎?因為我學的正好是0.35的,而您介紹的verylog等tools應該是屬semi custom中分類在programmable device這一類 的tools 如FPGA、PLC等這些IC設計軟體且會自動幫你佈局拉線  設計者只要會寫程式就好 是吧^^
10#
發表於 2007-6-13 01:20:53 | 只看該作者
CIC 現在.35以下歸類為先進製程(真的有先進嘛= =?),反正差不多,不過數位的很少自己畫吧?都是直接auto placement吧?
0 R- i' i8 k3 j
* ]; D/ G( m$ p% D3 M; tλ -base只是比較適用於製程的轉換,規範不同的λ,所以rule之間的關係沒變,只要改變λ就可以。現在還有人在上這個嘛...., E7 A; G" D# R3 S( z5 @. U. a
8 x; Z& l5 f; q6 U- x
還有類比跟數位那差很多的方式...妳如果要用verylog那就是tool要熟,不需要來看layout....也不用在電路元件上探討...當然是指基本的數位的,如果是特殊的比如memory那令當別論。反正就是verlog寫一寫然後轉一轉,只要跑個看有沒有timing不吻合的問題然後他就自己幫你弄到差不多了,沒人在那邊一條一條畫的。
2 W* P) D0 M, y, a& v) j0 B: Y) A+ D/ N: i$ t; l  l1 ^8 ~
妳是不是搞混了數位跟類比.....這差很多捏...主要探討的項目也不太相同,數位著重在一件事情:right go the right thing!
- N& o  W5 J. @+ W3 y如果是VLSI那要看教學的人,我看大部分都偏數位,少部分偏類比。數位你只要不要弄到meta上面去,隨便弄不要太離譜都不會有什麼大問題,所以才可以使用這種自動佈線的方式。類比的那個可能WL差一些特性天差地遠,才會特別專注在layout跟元件上面的探討。數位的差一點反正我只要0跟1,準位差點那沒差別。我看數位好像都是套裝好的。你要memory就寫一寫他就生出一塊,然後就貼一貼拼個圖上去,然後要什麼就用tool弄一弄,貼一貼兜一兜,大該這樣就差不多了,這樣才能做的很大又很快。慢慢用手拉不僅沒意義(功能又沒比較好 做心酸)而且又浪費時間(時間=產品上市日期=金錢=公司生存率)。

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11#
發表於 2007-7-13 13:58:59 | 只看該作者

回復 #1 君婷 的帖子

關於你的問題:+ t/ ~) @) y1 S6 U
Epd>=2λ:閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為diffusion overlap而短路。$ J4 D% `+ i* p; \! V
; v7 R2 n) Z6 I' R1 [
其實是多慮了,這只是特殊情況,沒有人會犯這種錯8 Z0 O0 Q' Z7 P* {- f- a- u1 B; C
我們在畫MOS的時候不是會把poly覆蓋在diffusion上嗎?
. i9 X/ G. D* l0 D$ O2 X8 Z! O其中的兩邊就是source跟drain,9 Q0 k4 k' \; O3 c/ `
而poly跟diffusion覆蓋的區域就是gate. t. i/ v) _, E- W8 k
這是無庸置疑的嘛~
9 _% m* ?, L" E$ p1 e  `MOS一般的digital操作我們知道就是在gate上施加電壓以使其導通或截止
& ]& g; E2 \! n  x. D9 [書上寫的意思是說poly我們都會使它超過diffusion,
3 a3 T% Q, L# Y* o# C: i而超過多少則有design rule規範+ e& i4 Q; \' \6 G* F6 e, _% x
如果今天poly的某一端沒有超過deffusion,2 f8 J0 f) G2 k5 Y- n
也就是說poly並沒有整個把兩塊diffusion區隔開來
6 C2 H! B  V, G3 F; G這樣的話就沒有形成source跟drain
, `* t5 a6 [2 O0 @9 D  r  w也就不算是一顆MOS,
! V+ f& D- b, L8 i+ |8 U5 l/ u所以書上才會說兩端短路,是因為根本沒有區隔出source跟drain
- k& _& j; M/ E+ U* j  g/ H
) {' l" j2 P* L) @5 Z0 h( q而λ只是一個單位符號,看看就好,
, c' n+ e/ a! L: B6 }他只是為了要讓看書的人大概知道幾λ幾λ,) U* b$ A$ E/ w# K9 x: B' h0 k
這個rule跟那個rule大概的比值是多少,
2 E3 z' V* `- G2 q/ N" u: g7 e1 p所以不用太在意,畢竟每個process的rule都不一樣
" ^9 `# P0 h+ q4 K$ M$ a所以書上為了不想表示成一個定值
( W3 N) r6 p$ |7 Q, r* F. [1 n0 Z9 |, l# t就用λ來表示,意思相信也是希望讀者不要認為它是個絕對的值
# b$ |- Y' h7 q: q( h8 E0 A
& ?+ h# {4 |" I; c) I3 V/ ~: D- {從您的發問可以看出來您是位剛入門的同事
- F7 z8 K/ r: b9 q/ O因此建議您書上的看看就好,design rule比較重要!
7 V6 M8 s1 W- R0 Q$ u
" O) r4 ?! p- L; w1 m小弟的淺見!
& y5 H+ `# L" C0 D1 G如果有不對的地方還請指教~( ^" \' E! X3 p, T- ^

5 l& X' A% D/ @7 p2 P0 E+ z[ 本帖最後由 vlsi5575 於 2007-7-13 02:06 PM 編輯 ]

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12#
 樓主| 發表於 2007-10-22 23:38:53 | 只看該作者
使用cadence tools學習至今 發生了一個很大的問題 即LVS的除錯訊息根本幾乎不太明白其所表達的意思,無法直接從訊息中直接了解 就是指電路那裡節點有誤。. A; L. p, a+ v3 v! ^, [+ m: {/ h: z6 q
LVS的除錯訊息有教學網站嗎?因為小妹認為除錯花最多時間的地方乃在於LVS 而DRC本身就會顯示那裡的佈局不符合規局,所以小妹現在為了LVS的除錯能力很頭疼。
; e+ T8 G: u" M對於finster  副版主所提的LVS看法....
) }. t% C' A' @  P- i7 G小妹覺得將netlist與layout作 LVS比對時,netlist因為之前跑過pri-sim所以netlist本身一定正確,LVS有錯誤訊息 一定是Layout部份有畫錯。
8 Q9 g8 D# A# ^2 w% u假設layout的晶體寬度與電路的寬度不同 所出現的錯誤訊息 應該是表示電路寬度與layout不符吧?2 [5 H% D8 c0 r
而不是表示layout與電路寬度不符吧?- b. L3 W6 [, \+ C
不知小妹對LVS的想法是否正確? layout錯了 但除錯訊息卻都是表示netlist與layout不符 讓初學者以為是netlist錯了?; _) C- q/ }' J; |4 Z2 }
麻煩大大們提供LVS除錯經驗及是否有教學資訊     謝謝唷^^
13#
發表於 2007-10-23 13:01:16 | 只看該作者
不知您是使用哪一套軟體去跑LVS
0 g4 ]& ?* d, \/ Ddracula還是calibre) a/ t& a! [9 Q+ k8 y4 v3 ~/ g
一般來說circuit轉出來的netlist file很少會有錯的
5 x! X; x8 F+ j! Y您說的layout mos width 跟netlist 的不符; t- M2 o" I# h5 C- u6 u* q6 r# N5 R
這不就是代表您所lay的mos有錯嗎?!$ @/ h5 L- C, M( _
怎會想去netlist錯了 = =9 I7 W0 A7 ]: w: F: T  k
總覺得您把LVS report所要表達的意思給誤解了
4 p# V% e2 ], q7 _3 ?1 c0 QLVS除錯大多數都是靠經驗累積的" b$ Y, t( E- Z- R3 u8 a
而初學者大多靠前輩帶著做學習debug的能力
3 c! b% Y5 _- _0 m倒是沒聽過有教學資訊
; o* M' @; \4 B' T或許改天請版主開個專門把LVS驗證出現的問題
( X! `0 I! s  V集中在一起的版好了 ^O^
14#
 樓主| 發表於 2007-10-23 15:18:49 | 只看該作者
抱歉 我所用的是calibre  
) S! v& ?( r) e, e, `, C8 {對於除錯訊息心裡的確認為不符部份 絕不會指netlist部份有誤,除非是後來schematic被修改過而忘了重轉一次netlist。
5 G$ p2 m# H, N假設layout檢查出有17個net s和netlist 有16個nets7 S0 m. e8 i' {
就表示可能layout有某處開路 難到不會有可能是短路嗎?
/ v( X" c, A* r; o* P5 ?/ |- S" g. p# P( A# O5 o9 [; b$ e- k
假設layout檢查出有16個net s和netlist 有17個nets* @( }0 I& A9 V, l  s
表示可能layout有某處短路 難到不會有可能是開路嗎?. H( d$ p, s( Q7 B. S  |$ u2 V

7 E* B( C3 v1 {( {& l2 P: c* J想請教calibre有沒很直接的指明就是layout處那裡開路或短路以及很清楚的說明就是那個一個點?      謝謝唷><
, c& c8 _  }+ P, t# [
8 Z0 X) ^( \* e% f/ k小妹還想請教一下關於節點node在spice的定義,node指輸入端或輸出端的端點及2接腳以上連接在同一個點都算node吧...9 E: u% }( j" D8 {2 P* I, {4 \
所以若2元件中有2接腳本來是連線在一起(只有一個node),若開路了 則在開路的2端也各算1個node於是變成2個node嗎? 謝謝' y* E9 \6 X3 h* n. B
. N) y; ~. x8 }) s
[ 本帖最後由 君婷 於 2007-10-23 03:40 PM 編輯 ]
15#
發表於 2007-10-23 19:28:12 | 只看該作者
假設layout檢查出有16個net s和netlist 有17個nets
' _( J! _3 Z5 a3 J表示可能layout有某處短路 難到不會有可能是開路嗎?3 U/ A+ M1 h% Y  O2 L# i
Ans: 是的....不可能是open.....如果是open的話
, D2 |2 r* x3 y& q. y. G         layout會多出一條net
( l  p) ?% V) I: t9 b% u  s4 }ㄟ....不知道小妹您有沒有開啟RVE
( S8 |! _* {$ H) R" r2 {9 d0 Y; J一般來說用RVE LVS來debug應該會很容易找到錯) c6 h" |) ?2 b" d; @
除了power&ground的short比較難找之外# n. A# B' R5 s( N
照理說應不難除錯唷 ^^
16#
發表於 2007-10-24 11:17:46 | 只看該作者
有些問題必須從半導體製程去解釋,比方說," f7 b( b$ D6 \6 j  b% l+ h
=====================================================
2 Q9 ]9 }6 ~# G. v0 o4 ]Epd>=2λ  :閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為5 h" ?$ ]  }! F  E4 k
                 diffusion overlap而短路。' \0 R* d$ K" n! O: v
=====================================================$ R% m! F. ^  H- A8 L$ N
上述應該指的是endcap,如果layout上的poly是突出diff的,實際上製程廠做出來的型狀,是會往後縮,並且尾2 W4 t0 P( X8 d- u( o  h
端呈圓弧狀,為了避免poly縮進diff中,而造成s跟d導通,所設定的rule.
  N; J9 L! _; O2 y當然有些比較特殊的mos不在此限,比如說可變電容之類.
) @- l4 k' m$ J- n% F3 M! f妳把poly也就是gate當成一個控制s跟d的開關,也就不難理解了,妳後面所說的diff短路應該是指這個吧.
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