請問功率二極體/電晶體是使用什麼製程呢?

fsshlin

請教版上各位先進，功率二極體/功率電晶體是屬於高壓高電流的功率元件，必需使用什麼製程來做呢?
) H+ w+ J: L' `( H6 r' B9 G) i7 D% b5 ]隨著電流電壓規格的不同，是否製程也會跟著改變呢?

bernie820

可以去翻翻製程的書

或者是製程文件
$ ~3 `3 \! b, \. l% V
再不然把元件書看一看可大概知道是用那些製程完程!

5 n5 q1 p7 K9 o" }5 C然後以模擬方式去找嘗試

cukow

我们实验室有用.13的锗硅工艺做的

yuany

工艺文件不是都有说明的吗？？
+ z4 i) |# O6 ]0 T+ n% t# N/ j! |4 ]9 k- Q都会有个process flow
) ~5 a3 _, }7 Z( @+ [5 J8 \
: {9 A3 s$ i' X: M# rCMOS中功率器件只是多了个层次或者改了些规则而已啦。。
比如提高栅压或SD间距

chriskomh

好像是BCD製程?
1 R' g  P9 g5 _/ Q3 G0 G7 ^( t雙載子CMOS高壓製程?
% f7 O5 Q$ ^- p1 ?您可以再查查看

dreamflying61

看看电子工业出版社的 半导体制造技术吧！