如何選擇ESD Device Contact Type？

CHIP321

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近來遇到了由於Contact導致電流密度不一緻的問題。
3 t/ L" T8 z1 ~7 T* t查找了過去的一些Bipolar高壓片，發現很多使用的是長條矩形Cont或者Cont Ring，貌似應當有不錯的均勻性。
; r- H$ _9 S, ?2 G! [8 w1 E但是咨詢了一些同仁，認爲 使用標準Cont Matrix會更均勻。、
迷惑中....
如果不考慮CMP製程限制，那種方法更有效些呢？
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" N7 v* D" I" F, p) Q2 ~

sendow

這個問題也困擾我很久, 不知有前輩可以解答嗎?
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個人經驗, 有些製程有效, 不過可能要考慮parasitic path,
有些製程則使用contact matrix即可, 還有要考慮processs能力,
有些製程slit contact可能form不好, 造成ESD robustness unstable,
$ ]$ w' ^1 s, q這也是現實上要考量的.
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一般而言如要高效能ESD ability還是選用ESD circuit來保護比較safe
; o' k) h1 Z8 `( Q7 ^" @% W$ A不過有專利問題,這方面可能又要取捨了.