各位前輩大家好:5 c. _1 M- I5 [2 z% g! a- o0 a) L
小弟最近在使用UMC 0.18製程準備下線,# |9 O9 j) ^! M
在跑DRC時卻一直出現以下的錯誤,6 I* y8 G& s# s
4.1M --> Minimum DIFFUSION density over 500um x 500 um areas is 20% in % moved in 250um increments across the chip.. w# J( ]6 a; n5 j
將此錯誤highlight起來後,發現是M7發生錯誤,原先佈局設計是將M1利用M7保護,M1尺寸比M7還要小, ) @6 f: d& n. @. k% U2 `0 z/ I在佈局時都有依照design rule來進行佈局,一直無法將此錯誤排除,( X/ A5 r' B" C% p, q; t: t
想請問各位前輩以上錯誤是因為什麼所造成的?