關於高壓製程HVNW與NW

tommy01

請問一下高壓製程裡面的HVNW與一般低壓的NW有什麼不同?
) S$ S5 W3 b8 m$ n" i' ~高壓製程的WELL到OD距離較大,用一般的NW也可以阿
+ p. [7 q' T: Z3 {7 u/ e爾且連接到HVNW電位與一般的NW一樣,不是都透過subco連出來的嗎?
還是HVNW挖的井區比低壓NW深,導致subco也比一般NW深,所以可以提高耐壓?

m851055

與參雜濃度及doping深度有關。
% t5 K, k5 d, k$ p3 c& i看cross-section圖可以了解。