Layout佈線問題

serenityjie

大家好:
8 t# C8 I" t! k4 S
' N( N7 L" s' s" z% `2 i小弟最近在Layout佈線時想到一個問題，
8 d# C/ d: x/ K& P) z一般在做金屬導線連接時，
應該是像圖一一樣，
polysilicon與Metal line並無間隙，且需要部份重疊，
$ {, T, |  q2 E. ^+ {. z利用Contact hole 將兩者連接起來，
Contact hole是屬於垂直方向將上下兩個需相通的部分做連接，
想請問各位前輩，
9 t6 p: j. X( e$ b) a, V若以圖二這種方式連接，
* S4 e: s; j; d5 V( S+ j* ^  bpolysilicon與Metal line之間不重疊，保持有一段距離，
再利用Contact hole 將兩者連接起來，把Contact hole當成導線的功能，
* ]! W- H& q4 |9 D, C# y讓Contact hole具有垂直方向以及水平方向的連接，
1 ]7 r( a$ I+ b- @( w, [這樣可以嗎?

k200630901

會有current density的問題 去翻閱一下製程設計手冊，找一下current density在不同layer間的參數~

t1FP125

翻翻一下製程設計手冊
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