MOM電容佈法

r2583614

有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???

l690527

有 froundy  kit 就用
& j. f% x! L! r+ o, P畫的 每間蓋的layer 也不一樣
  i3 l+ N; N# o2 t3 N, U3 W廠建好的 製程try過比較沒問題
$ V7 k  y2 ~% s# R
2 n" H  ?! H. N自己寫一個spice  model  容值抓抓看
! q5 Q; O; J2 @  _8 t+ `
MOM 是tsmc的说法： metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap，
可能任何工艺都有这个cap，
4 N9 h/ i1 b# G# q" |0 _% _
MIM ： metal insulator metal， 这个在Analog、RF工艺里面才有，用来做 高精度的cap，
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成，  logic工艺是不提供的，
& T: r& ~) N5 `, r4 L: p6 LMIM的2层metal 特别厚， 一般是下面的好几倍甚至是10几倍

beverly_tseng

回復 1# r2583614

& b. Y3 P. T$ G5 `+ t3 y6 p
2 C: L4 e* B2 k9 ]* H0 E! L    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.