如何知道製程參數?

kminmin1

想請問各位大大我使用的製程是UMC18
6 d/ ^7 A5 [" ]9 t; m
2 @" b6 n7 K$ @/ U* ^5 n* V要如何知道製程的參數?
如:Va , λ ,uncox等等...
有試過手算，但發現同長度的PMOS在不同電流下(飽和區)，λ值卻不同
. G- n: E6 h+ C9 Sro=1/gds
5 v7 |- a& a+ y, K" oro=1/λ*idsat
! g" a! R9 o# \% M0 {λ=1/va*L
$ I) T3 [4 a/ {# ~" V
例:
PMOS(saturation)       PMOS(saturation)
) M5 T* t+ f6 }) B& V5 k+ fW=25u L=0.5u            W=25u L=0.5u
9 t7 Z$ L3 [. ~. a1 l7 \id   -8.907e-05        -8.588e-05
gds   7.941e-06         5.289e-06
: c7 T. f( o4 Z7 @
算出後:
λ   0.089               0.061

% u3 l5 G8 D6 c6 e
看有些論文寫說λ是工藝給定的
哪一些製程參數是固定的?還是都是非固定呢?
7 f5 m& E& Y7 K3 O- t

YMCK

沒有辦法知道一個確定的值吧
5 c8 f# S- e+ s( C& j, R只能先用製程檔提供的初始值下去估計
' f) g! O1 N( @- w# k( F* \/ f然後再看模擬跑出來的結果下去調整