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布局前的准备:
8 G& H# @' _/ ^7 ^6 G3 _1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.5 f* n( c! ~- k
2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.$ z/ C6 r' h: i a1 m
3 布局前考虑好出PIN的方向和位置 s# s* E3 Q w" Q* S$ J
4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起
! A9 D, K$ E4 z- x2 _5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。) M, C7 `% Z0 s
6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.2 o: d% w k) [1 c7 B
7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.
8 O' f8 Z4 d! k0 y8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.9 L. ?2 I# O# a7 i
9 将不同电位的N井找出来.
. y" P7 R7 x# |9 z布局时注意:+ h; ~9 C1 A) } Z( q
10 更改原理图后一定记得check and save
: H. w, z, @2 i- p11 完成每个cell后要归原点
# [# d i; r4 S, u8 J- p12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).
1 \; z6 K$ w! W7 A3 n# V9 ~9 D13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来* K: |( [6 D8 e3 q- |6 y- V
14 尽量用最上层金属接出PIN。
% D6 ^( n, z4 v4 d1 v15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.
; o8 J- F6 ~' @# S) J; M8 |16 金属连线不宜过长;
, O5 ?! Z4 d0 J p- L: u8 x& }9 t17 电容一般最后画,在空档处拼凑。
. L! e$ ~) _$ d& o3 Q18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.
8 t( p3 k. l7 T! N1 j( S: Q5 Z+ o19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。
7 `: X9 C- p6 T. _# u8 x20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.+ g; s1 M& q* O, ~
21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.
/ E4 Z2 a4 ?; T. {" }- a# \22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。 A2 F8 ~2 B' p, o V; v, I) F0 e
23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.
1 Q9 ?+ a+ D" i% A1 d24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.
- _/ K3 h# [* \9 l& X8 [25 一般打孔最少打两个, G9 h @2 i6 V7 j$ S9 L N
26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.% G3 u) o6 h* e% a/ \% A
27 薄氧化层是否有对应的植入层
: }2 j4 u6 k/ @0 Y$ I28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.
; [& ~3 @/ q/ T* @0 \, I29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度
3 \( p! B6 y! @9 z& _# @4 ]+ S& q4 _30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。4 t% P! D3 x1 F0 D+ u
31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。4 s4 U1 J5 r1 A6 U
32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.1 M( T6 \" k* Q3 W; l( `
33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。
g p# Q4 A4 w+ F9 K34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.* s" F: j/ I: d+ i6 i# z
35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层* @9 u0 L1 K. {) ]( L2 C, z, Y
36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.
5 I2 p) W" j! `. `37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。6 y9 I; v" v& J2 @
38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。
8 _( h: z: [1 ]" n& d! a39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。) r# _4 y. m, l0 E3 c
40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.* m4 {) F+ C7 R( g3 B
41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。
P+ C& U: W, G' i3 q8 x42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.0 Q* z. P* M% e i( U* R
43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.
! D1 r4 T) w7 U% ] W7 E44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.) d1 b- A2 @3 E$ M- W
45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.
: n2 H/ R' p; o, o6 n+ Y46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置)21中心匹配最佳。: h4 k0 D& T5 I8 Q- Z' W6 d, g
47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.
- }4 Q1 t# {! p X: B48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.% a8 i, ^5 n6 X4 B$ l
49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。% W6 _- V/ v$ H( { c! `7 ^
50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.
$ v. u1 e8 E) A) r0 P5 p/ T51 05工艺中resistor层只是做检查用; {, Z0 ^& Q( t( V9 x( _0 ]3 b" h
52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.. |( ?$ F0 Q2 _: R
53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样." D8 V4 m4 { s/ m( C+ H7 {* Y) |
54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。! J$ \) G; T/ ]& e
55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.
) |9 V4 i' i% b, l# G+ V6 `# R
3 ]# J" Y) s- e: v& X' F56 关于powermos" ~5 Y9 p ^7 p3 s1 G
① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接, Z, B: Z& r/ B. O' Y3 c. A
② 几种缩小面积的画法。& q O- M. U5 ~
③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um, B- L/ v: y2 j& R" w
57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).
- [9 u" A# A' I/ j7 V7 L58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向6 q( Q+ m) N0 G5 `
59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.
* {" e3 e6 }, J7 e( J1 |9 S60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。
- |! G* d$ `' P61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略.
4 h. A. \2 e! d62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.
; ^# ~# l5 b: R9 l- g63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.
$ m# a. Q8 @+ Z: k$ q: ?64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺), l, p% m; f" a" D
65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.
3 \% v) h \. X/ J: O+ Z; P5 s) M66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.6 T" P: ^: s% Y R
67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联
& X0 K1 H; W2 T/ K8 J$ k" e68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.
. D( ^, r- r# V- J* e2 ]. @' ]出错检查:
9 |- _6 }9 F: `1 Q+ N8 r: k; t; [69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;+ o' i$ Z j1 K* i; \5 d) _ d& K
70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX5 s0 J: }1 e5 g8 u$ X# `3 i/ d M
71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。* O- c7 }0 s( o+ q+ \
72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。
( Y! Y4 ?4 z( J* w* ~$ w73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起
+ M4 e7 |0 ^6 `! F74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端, P8 Y6 m. A' y9 p
75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.: |- @/ {3 f8 o i' L
76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE.
8 a2 o; ^ K c3 L77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.2 x- w8 i1 v+ ?8 R% F/ V0 F% E m
78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy! p% q( w0 F5 [* @
79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.) E5 V9 @9 y/ g
80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
9 A- g7 V+ _3 R81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.
$ H8 P( ?! F/ ]9 J4 i, K82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.
- l& q, G$ m: c" }, `) r8 ?83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.5 C }; b; T: j& m L
容易犯的错误
' s+ _( q$ B9 S84 电阻忘记加dummy
: p6 X1 @! r+ K1 @% n6 _5 g85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.8 R6 a# K4 V+ S0 R$ @; Y
86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.8 ^2 }% I9 S* l5 b ~
87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.1 r4 Q% n0 Z6 F% K8 K2 L
88 是否按下capslock键后没有还原就操作
x3 @6 e) i) m" r, o节省面积的途径4 G; n6 z1 d* V% M, u1 S
89 电源线下面可以画有器件.节省面积.
% M3 z. E4 }$ ?0 B) `1 K: A7 Z90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。
! L/ k: Y- Q: A; J7 m91 电阻的长度画越长越省面积。: A+ X+ d" J: V: `8 i" o
92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.
2 O" h3 B# ? d/ n7 B93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。 l- A9 X* i) R7 w+ ^9 M5 {
94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN |
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