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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的$ {* _' z# {, g5 c
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
! W7 \. ]8 }0 Z/ q4 f7 f, R3 t所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK' V* }5 N; ~3 |3 @& Z# l
我認知的步驟如下:
5 M' q+ @! t: O! v2 G# R0 U: ]8 e' ~1 M6 U9 K
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少3 [8 E$ F0 l6 x5 I
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
/ p3 ~' {. a* J) K V, H; W) n0 }! o; U" @5 n+ V% m# u" N* |
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
7 G S8 u7 n( |' t% ]+ | 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch- a1 S4 j) {& V& B( W. E, T; z
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量3 Y8 ^% R5 p& J3 ~* `
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多), B: {( p" x$ n/ X% L& F
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的7 N7 v* f* T, S, E+ F( B
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯1 C8 W0 O0 }/ q2 z# I
. M% Y1 @7 Y3 ~& J9 H
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift0 O& ~" f" j& {9 I. O* h
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
# a( E6 Z! c* ]1 _1 _
1 B ?: \) n+ Z4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
Y& L. d5 N+ d
6 m- W7 k+ l9 t4 ?7 G/ G5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc . _4 U/ Y. f5 L
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失' g4 j- s9 P6 o, {$ N: o; ?4 W
P6 D! h- R$ d2 p9 |這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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. m+ ^. q4 w" x5 C! p7 Z" o% m YHCHANG |
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