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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:/ }5 b0 ?* H$ G
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
2 x5 a# Y; |6 A* b. e$ t因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK- W' _: \9 A' l4 @ L
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
3 K7 {% K+ b: G+ D% x我認知的步驟如下:# u" |4 }$ Z2 O5 e2 t' W1 h7 [
* H M, F& f9 m9 H+ f6 r1 O; d+ C; k+ _# ?1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少 }" N, b8 L' o
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.8 {/ V! T) x4 @) e: C- @
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2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
5 ?! S$ r: j4 T% o 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
* X& {/ O+ @& a$ A, J' K# @' v 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量8 T* b( q/ B) l4 C% f( [
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
. s! ~; t' l. j' _ 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的* M3 j1 U/ K3 ^2 K: b! |: @# n. x
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift$ [7 U9 r2 j2 X9 k* ]4 ^/ w# @" @
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看& W/ I& O/ D$ [: f5 r: I( q
% {2 e* k3 k2 H p; {' f4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的 [! d1 I7 \3 Q" \( M
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
% U( F4 }+ k3 J* T9 a3 ` M, H9 M 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失- p' H; W( R$ r2 |. P" ?- `$ k
8 `+ h! I: g3 @/ Y, x這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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