請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？

hyseresis

請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
3 J: c+ d) W* f6 p是如何形成？
3 a% ~+ d/ }% ]  h2 D: p6 W作用是什麼ㄋ？？

motofatfat

可以把它想成多一層 導電用物質
幫助導電 ,只會附著在 poly & diff 上
會全面灑在晶圓上　如果　不想有
的地方就用　ＲＰＯ(t) 或　ＳＡＢ　(u)
圍起來　那各地區　就會是　nonsilicide
3 G* l# r7 H1 X9 i- U  p1 m( ?; a+ E阻值較高　通常用在　電阻　和　ＩＯ　ＣＥＬＬ　上

hyseresis

感謝！！原來如此阿!!
% K' b. s! `* v之前一直不是很清楚,是做什麼的！
! R  y: I& T2 G# Z. O現在了解囉

jauylmz

延續 二樓的說明   
6 E5 X3 {9 t" v0 ]* K2 WSilicide 又名 金屬矽化物  常用的幾種( TiSi2、NiSi、CoSi2、WSi2 )
2 f0 F- R' C) ?+ l& {- C% P
: s4 z1 Y0 Y; Z4 N9 q記得以前還有Polycidce 只用在 Poly 上的