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請問各位高手.我已經畫好了一個MIM電容.
9 Y H& k$ Z# G* c畫法如下.
7 s( _9 ^8 f+ E1.先打上VIA56
3 C6 ^" X7 o+ u6 j: L8 e2.用CTM5和Metal6(這兩者同樣大小)覆蓋再VIA56上4 g. f. p8 x) p6 q7 f
3.再來是Metal5包住.略大於1和2# v/ O. _. o, d7 p* M
4.最外層用CTM Dummy包起來5 _7 R- v* Q) y7 D" I9 A, W) l
% _/ N2 E& L, p! `: ?DRC已經確認過了.但是LVS有誤.5 W! z) t" q& |3 e
" o2 c7 M7 J3 M" r; m% v; W: tLAYOUT NAME ne SOURCE NAME
& T. S1 [3 ]7 U7 B. Q/ x************************************************************************************************/ O& S, g1 T% J8 J* D0 H
C0(-96.425,-81.585) C(M5) C0 C(CP)4 \7 @2 k# f ^8 W3 ~
bad component subtype) @ w9 r3 X: Q& L- ^/ W4 ~, F
2 y& D" v! U6 K, ~
) |4 s/ l% d9 \請問是不是我有少包了dummy之類的.因為layout好像是只有看到M5.但是.sp檔是識別成電容! U+ I. _& O0 \' r6 s
謝謝各位啦!! |
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