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[問題求助] TSMC 0.18 MIM電容LVS錯誤

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1#
發表於 2008-12-25 14:04:26 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請問各位高手.我已經畫好了一個MIM電容.
9 Y  H& k$ Z# G* c畫法如下.
7 s( _9 ^8 f+ E1.先打上VIA56
3 C6 ^" X7 o+ u6 j: L8 e2.用CTM5和Metal6(這兩者同樣大小)覆蓋再VIA56上4 g. f. p8 x) p6 q7 f
3.再來是Metal5包住.略大於1和2# v/ O. _. o, d7 p* M
4.最外層用CTM Dummy包起來5 _7 R- v* Q) y7 D" I9 A, W) l

% _/ N2 E& L, p! `: ?DRC已經確認過了.但是LVS有誤.5 W! z) t" q& |3 e

" o2 c7 M7 J3 M" r; m% v; W: tLAYOUT NAME                                           ne  SOURCE NAME
& T. S1 [3 ]7 U7 B. Q/ x************************************************************************************************/ O& S, g1 T% J8 J* D0 H
C0(-96.425,-81.585) C(M5)                                C0  C(CP)4 \7 @2 k# f  ^8 W3 ~
  bad component subtype) @  w9 r3 X: Q& L- ^/ W4 ~, F
2 y& D" v! U6 K, ~

) |4 s/ l% d9 \請問是不是我有少包了dummy之類的.因為layout好像是只有看到M5.但是.sp檔是識別成電容!  U+ I. _& O0 \' r6 s
謝謝各位啦!!
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2#
發表於 2008-12-25 15:27:40 | 只看該作者
怎麼看起來你的SP檔是要你畫POLY電容的樣子?& d* f: R( r8 o5 a6 C
你們的MIM電容在netlist裡是定義成怎樣的TYPE?
3#
 樓主| 發表於 2008-12-25 16:49:32 | 只看該作者

回復 1# 的帖子

感謝J大.我已經解決了!4 ~/ w- e% F* u+ r" }
果然是你說的問題.3 f# ~5 f6 K5 v( e8 M
我的schematic呼叫錯了!
; C7 w* ?# h: Q% D謝謝你!!
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