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首款Oerlikon的8英寸MEMS集群工具進駐韓國
(20080804 17:16:17)美國商業資訊2008年7月31日列支敦士登BALZERS報導-六月份,韓國的RFID/USN基礎設施服務機構u-IT Cluster Center (www.uitc.or.kr) - 提供MEMS感應器(USN Fab)和RFID/USN鑄造相關的服務,服務範圍從RFID/USN產品的設計到測試(RFID/USN Engineering Lab) - 簽訂了一份從Oerlikon購買CLUSTERLINE® 200 II製造工具的合約,以助於6英寸和8英寸MEMS的研發和批量生產。
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借助這個決策,u-ITC正成為東北亞地區下一代晶圓加工開發的領導者之一。CLUSTERLINE®將安裝在韓國松島u-IT Cluster Center的USN Fab。
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u-IT Cluster Center總裁Sang-Chul Shin先生說:「我們已經評估了可用的晶圓生產設備,並對Oerlikon留下了深刻的印象」。CLUSTERLINE®得到全球主要MEMS和半導體製造商的一致認可,它具有出色的生產加工能力。不論是對於MEMS,還是UBM、BSM、TFH、IC及其它應用,許多年來,Oerlikon已經展示出了雄厚的技術能力和CoO領導力。
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_7 o- A ^6 ~* ]2 \9 n. g' VOerlikon系統部門主管Andreas Dill說:「這種針對高度精密和專業應用的大批量生產平臺,為製造商創造了許多新的機遇。我們很自豪地被選定為合作夥伴。我們已經連續九年獲得VLSI 10最佳獎的殊榮,這證明了我們為客戶成功所做的貢獻。同時,這也是對我們努力為半導體行業提供卓越製造和生產解決方案的另一種重大獎勵。」
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世界上主要的半導體製造商都大量安裝了CLUSTERLINE® 200 II。該工具擁有一流的加工能力和靈活性,可以提升系統的額外客製功能。同時,開放式系統架構也允許對PVD、Soft Etch和PECVD輕鬆地實施工具配置。新一代的CLUSTERLINE®與市場中以前安裝的CLUSTERLINE工具完全相容,同時能夠透過那些可切實提升整體性能的創新功能來實現可擴展能力。
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Oerlikon – 實現高科技
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, h/ I( x$ N" k6 w2 eOerlikon(瑞士證券交易所:OERL)是世界上最成功的高科技工業集團之一,精通於機械和工廠工程。本公司是紡織品製造、薄膜太陽能電池、薄膜塗層、驅動器以及精度和真空系統領域的工業解決方案和創新技術領導者。Oerlikon源於瑞士,悠久的歷史可以追溯到100年以前,全球員工超過19000名,遍佈35個國家的170個地方。公司銷售額高達56億瑞士法郎,在全球市場中排名前兩位。2007年,投入的研發資金高達營業額的5%(2.74億瑞士法郎) |
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