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[市場探討] 美商吉時利儀器優越產品獲頒德州儀器卓越供應商獎

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發表於 2007-7-19 17:48:06 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
新興量測解決方案領導廠商—美商吉時利儀器公司 (紐約證交所代碼:KEI),宣布獲頒德州儀器(TI)2006年卓越供應商獎 (Texas Instruments 2006 Supplier Excellent Award) 。這個年度獎項旨在獎勵產品與服務達到德州儀器卓越高標準的供應廠商,得獎廠商獲選理由包括在成本、環保責任、科技、反應能力、供貨保證與品質等方面的表現足為楷模表率。德州儀器WPL-Assembly 及 Test Capital Equipment 事業群的高層管理團隊,將這個獎項頒給美商吉時利儀器的代表人員。: _5 p4 Q  \- J% a; C8 o% o0 J
美商吉時利儀器提供德州儀器種類眾多的測試與量測軟硬體解決方案,包括Model 4200-SCS半導體特性量測系統、Series S600參數測試系統,以及高效能sourcing/measuring/switching DC等儀器設備。4 E- C! d9 ]' q5 b" H
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Model 4200-SCS使直流與脈衝量測功能完美結合應用程式套件,作為整廠半導體測試的解決方案。美商吉時利儀器最近才宣布針對此系統進行多方面的升級,包括三套全新應用程式軟體套件、改良脈衝訊號產生卡、全新的示波器卡,組合成為功能超強的最新解決方案,適用於快閃記憶體測試、高功率無線電頻率(RF)裝置測試、高階半導體材料脈衝測試。
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4 N# T7 e! n0 S4 D1 s' H美商吉時利儀器Series S600晶圓參數測試機台的設計目的是,協助晶圓廠可大幅降低測試成本。Series S600測試器的主要優點包括:單一平台晶片上直接進行直流至射頻測量、各種測量應用、300與200 mm的SECS/GEM 自動化系統。
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# l5 Q: R& B9 l, r( r美商吉時利儀器行銷管理部門副總裁Mark Hoersten表示:「德州儀器要求的嚴苛標準與品質嚴格把關,讓這個獎項顯得更有意義。我們感謝客戶能夠認同我們所付出的心血和努力,盡力提供最高標準的測量精確度、傑出的客戶服務、降低測試成本。」
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Hoersten 又補充說明,近來美商吉時利儀器榮獲數家公司客戶與產業分析機構頒贈獎項,德州儀器的卓越供應商獎僅是其中之一,證明美商吉時利儀器在測量效能與提供客戶一貫優質服務等方面,獲得全球各地肯定。  `, n2 k4 h+ b. M' i  M
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詳細資訊
9 F$ G( X( c' ~, N& k& {如欲進一步了解美商吉時利儀器之測試量測儀器資訊,請參考http://www.keithley.com
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 樓主| 發表於 2007-7-30 13:48:21 | 只看該作者

美商吉時利儀器推出LINUX-BASED晶圓參數測試系統

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俄亥俄州克里夫蘭-新興量測解決方案領導廠商—美商吉時利儀器公司 (紐約證交所代碼:KEI)宣布晶圓參數測試系統-- S600 系列的多項功能,包括將每個測試系統的控制電腦移轉為 Linux 作業系統, 提供更穩定的作業系統與使用壽命更長的電腦,降低客戶新設工作站與升級軟硬體資源的需求。除此之外,韌體升級後的量測效率,也優於先前採用的 UNIX-based 系統。全新的軟體授權方法,加上各台測試器硬體金鑰採 USB 隨身碟模式,可在工作站之間轉移,縮短維修時間。 3 D2 h/ T6 e  N& e! e! a

8 B5 Z& p: F! J+ g採用 Linux 作業系統的美商吉時利儀器晶圓參數測試系統,趕上 Linux OS 半導體設備不斷增長的潮流。其射頻與平行測試 (parallel test) 功能,加上精心設計的測試結構與探針卡,Model S680 是市面上唯一的射頻測試系統,可在單次探針測試(within the same probe touchdown) 中同時執行直流(DC)與射頻(RF)量測。相較於同類產品先直流測試後射頻測試的序列測量方式,量測效率高出甚多。
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/ @& y8 {5 u6 Z2 T如需美商吉時利儀器-晶圓參數測試系統更多資料,請造訪 http://www.keithley.com/products/semiconductor/#1.
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- U1 d) k# N4 f) q相容性  Model S680 參數測試系統使用新型 Linux 作業系統,相容於測試廠房各種林立混合的測試系統。如果客戶想要建立百分之百的 Linux 測試環境,我們也提供現場升級服務。不論如何,新安裝的 Linux作業系統可與現有的任何用 Solaris控制的參數測試系統完美整合。舉例來說:
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·                  Recipe:Recipe Manager 所使用的格式與內容都是相同的。
% u! N5 ]. Q$ |+ R·                  測試庫原始碼(User Library Source Code):相同原始碼檔案可用於新的測試平台。+ [: b9 f) R! e/ R% f
·                  KTXE:兩個平台使用相同的引擎。
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購買美商吉時利儀器新 S600 系列參數測試系統的用戶,可獲得最新版的軟體 KTE V5.2.2,另外也提供現場直接升級服務。新的系統將配備 Red Hat Enterprise Linux WS Version 4,  Update 4 與一部全新的 x86 電腦。除了射頻與平行測試功能外,此系列系統還可選配 - 適性測試(adaptive test)與 300 mm 晶圓自動化系統功能。由於本系統的圖形使用者介面類似先前的系統,因此最多只需要些許的操作訓練即可上手。
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 樓主| 發表於 2007-9-3 18:56:36 | 只看該作者

美商吉時利儀器公司發表支援射頻波形產生的新軟體平台

第一套訊號庫支援中國TD-SCDMA無線通訊標準
( ~2 u6 D' ]% J+ \) @+ |. ^. ~7 @! W
! o; N8 e7 v6 O2 Y% f新興量測方案領導廠商美商吉時利儀器公司(Keithley Instruments;NYSE:KEI)宣佈推出支援該公司射頻向量訊號產生器的SignalMeister™波形產生軟體。SignalMeister是一套免費的PC版軟體工具,可提供使用者建立任意波形(arbitrary waveform; ARB)檔案並下載至Keithley Model 2910射頻向量訊號產生器(RF Vector Signal Generator)。SignalMeister提供一個可擴充的軟體平台,採用通用使用者介面,能夠與多種訊號波形資料庫整合,並具備高度彈性以處理未來可能出現的多重訊號標準。
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9 u6 ]4 k- f7 {, s4 w+ tSignalMeister軟體的第一個訊號資料庫支援TD-SCDMA無線通訊標準。這個TD-SCDMA資料庫具備完整功能,幾乎任何TD-SCDMA訊號都能快速且輕易地產生。SignalMeister所建立的波形檔案能夠和Keithley Model 2910射頻向量訊號產生器緊密整合。當使用者為TD-SCDMA的無線設備與裝置進行調校和測試時,SignalMeister將協助他們發揮Model 2910提供的所有時間和成本節省效益。
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8 m; E' |# s( x. U1 LModel 2910射頻向量訊號產生器是吉時利創新的新一代射頻測試儀,具備一個彈性的軟體設定無線電(software-defined radio; SDR)架構,提供極快的量測速度並且能夠迅速因應無線通訊市場快速更換的測試需求,而無需進行昂貴的硬體升級。除了既有的技術標準訊號之外,Model 2910不需要任何硬體修改就能產生所有TD-SCDMA訊號。
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5 m+ F& {+ \3 g: O  j搭配Model 2910射頻向量訊號產生器使用的SignalMeister TD-SCDMA波形,具備完美的精確性和訊號調變品質,特別適合需要低成本快速測試應用。這些重要的特性協助確保高品質及高良率,同時能縮短產品測試時間和降低投資成本,為使用者在競爭激烈的TD-SCDMA市場提供關鍵的成功要素。
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採用Model 2910產生的SignalMeister TD-SCDMA波形,提供0.3%誤差向量振幅(EVM)之訊號調變品質。典型絕對振幅準確度(absolute amplitude accuracy)為<0.3dB to -110dBm (CW),相對準確度(linearity) <0.05dB,而再現性(repeatability) <0.05dB。) e  M; \4 F# j# D
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TD-SCDMA裝置需要在不同的頻率和振幅進行測試,而Model 2910藉由專利申請中的訊號合成技術與列表模式(List Mode),只需一毫秒(millisecond)即可完成。再者,TD-SCDMA裝置通常採用多重訊號波形進行測試,而且必須快速切換不同的波形。Model 2910可以在其40MHz頻寬100 Mega-sample任意波形產生器(ARB)記憶體內儲存多組TD-SCDMA波形以及其他技術標準波形,並且可以利用任意波形產生器(ARB)的序列功能,在一個取樣期間內立即切換波形,或者透過遠端控制SCPI指令控制儀器的GPIB、USB或LAN介面(包括LXI Class 3作業支援)在三毫秒之內完成波形轉換。
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- Z4 @& @5 k5 |% C) K! C: gSignalMeister TD-SCDMA軟體可以產生遵循ETSI 3GPP–TDD標準的波形,並且為Uplink和Downlink訊號定義11個實體層和3個傳輸層通道。除了建立遵循標準的訊號之外,SignalMeister軟體也能產生標準外的TD-SCDMA訊號,讓測試工程師能夠將參數值設定到標準之上,對裝置進行強度測試以達到極高的產品品質。如果特定的參數設定不被允許,則SignalMeister軟體會警告使用者並且不允許建立訊號波形檔,以防發生錯誤。+ H4 \% ^; f0 X' [/ h

# G, Y$ u( y: k& @( Y! ?2 FSignalMeister波形生成軟體具備一個直覺式的PC圖形使用者介面(GUI),加速並簡化訊號的產生,讓使用者快速且輕易地產生訊號波形。例如,它的設定精靈可供使用者設定TD-SCDMA標準定義的所有參考量測通道(reference measurement channels; RMC),以及為每一個RMC通道定義啟始時間槽(start timeslot)和啟始碼(start code)。它支援所有Uplink和Downlink RMC。再者,訊號結構樹狀圖(signal configuration tree)協助工程師透過對話框以瀏覽每一通道的TD-SCDMA波形生成,包括組織清楚的訊號參數設定。參數設定摘要表可供顯示現在的設定值,以及每一個參數的容許值範圍。
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具備TD-SCDMA波形產生能力的SignalMeister軟體最符合行動電話製造商、射頻裝置製造商和行動電話晶片組供應商的測試需求,不論是生產或研發環境。要求高速測試能力並且對於設備成本特別敏感的基地台(例如pico base stations微型基地台)製造商測試工程師,也能夠藉由搭配Model 2910射頻向量訊號產生器使用SignalMeister軟體而獲得顯著效益。7 v+ Z2 K8 Y& h) i& }+ n

, m, A; ]# F  K' |; c吉時利為無線市場客戶供應完整的高速精確射頻測試儀方案,這些獲獎的測試儀器結合了無可比擬的準確性、可重覆性、速度、彈性、操作簡單和精巧尺寸,提供新的測試與量測方法,縮短測試時間並節省作業成本。在研發應用方面,吉時利的射頻測試方案協助縮短產品上市時程,同時提高生產力和降低設備成本。吉時利供應功能傑出而投資成本最低的量測方案,協助需要測試無線通訊設備與裝置的廠商克服預算壓力和上市時程限制,而且不需要犧牲量測品質、高價值的機架或工作空間、以及簡易使用性。
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發表於 2007-9-21 23:31:17 | 只看該作者

美商吉時利儀器公司推出新一代系統交換平台

提供快速的訊號轉換、LXI CLASS B、以及可選購高性能整合式多功能數位電表  1 K2 `; q  x+ p% @0 G' {/ a

# o. |6 s2 V% u+ }7 ^) C0 ]台北訊– 2007年9月21日-新興量測方案領導廠商美商吉時利儀器公司(Keithley Instruments;NYSE:KEI)今日發表新一代切換開關以及整合式多功能數位電表(DMM)測試解決方案平台 ─ Series 3700 System Switch/Multimeter 以及擴充卡(Plug-in card)系列產品。它能透過領先業界的6插槽、2U機架規格,控制576個多工器通道,進而針對各種應用提供高品質、精密儀器等級的切換開關功能,包括多通道數量應用針對效能的需求。此外,高效能的整合式DMM選購配備,提供高速、低雜訊的量測功能,高解析度達到7&frac12;-digits,售價卻低於一般的6&frac12;-digit 數位電表(DMM)。想進一步瞭解Series 3700以及觀看產品展示短片,請參考www.keithley.com/pr/0763 \2 I0 F) M2 B+ L
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Series 3700 System Switch/Multimeter 解決方案提供可擴充、高效能的切換開關以及針對各種電子產品與元件自動測試進行最佳化的多通道量測功能。搭配數量持續增加的插入式切換開關控制卡(plug-in switch and control cards),讓Series 3700特別適合支援功能測試系統,或獨立式資料擷取和量測各種電子產品與元件的功能等應用,尤其是多通道I-V測試與加速型老化測試。 8 C( Z9 s" z# M, j

" i! ~$ R# u9 Z+ C1 ^" }Series 3700 提供四種不同的主機選購方案,用來擴增彈性。使用者可選擇一部沒有內建DMM的主機,以及一部沒有前方顯示螢幕和按鍵的主機。選購的整合式數位電表(DMM),讓客戶不必透過切換開關以手動模式配置外部的數位電表(DMM),節省寶貴的開發時間。此外,前方面板的USB 2.0連結埠,提供 “可攜式的記憶體”,讓使用者把量測結果儲存在非揮發性記憶體。 ( S/ G7 p* N3 L3 S9 V
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基本款Model 3706 搭載一個整合式 7&frac12;-digit高效能數位電表(DMM)。除了支援13個內建量測功能外,量測範圍也擴大到1歐姆低阻範圍,以及10-μAmp 低電流範圍。 Model 3706 主機含有一個多重處理器架構,增進量測的速度和系統產能。它的單通道讀取速率,從3&frac12;-digit解析度下每秒超過10,000 個DCV/two-wire Ohms數據,到7&frac12;-digit、26位元解析度下,每秒60個數據。
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Series 3700 亦整合了 Keithley的測試腳本處理 (TSP™) 技術。 測試腳本處理器藉著搭載類PC功能,重新定義量測儀器傳統界限。例如:使用者可建立嵌入式的測試腳本並在儀器內執行,該測試腳本涵蓋完整的測試程序,包括複雜的決策制定和儀器控制,使儀器能自動執行。此外,Keithley提供一款免費軟體工具:測試腳本建立器( Test Script Builder),讓客戶能輕易撰寫、管理、以及除錯測試腳本。這種分散式處理技術能減少PC介入,排除各種匯流排延遲問題,增進測試速度與彈性。在不需要同步速度和時序的應用環境,測試腳本處理器(TSP)亦讓使用者能像傳統的儀器一樣執行單行指令,因而提高彈性。) K; N6 ]7 H0 r& N9 Q$ F9 j

8 E! t& I7 R+ d  @- Z+ t; v測試腳本處理器(TSP)有一項重要支援技術,就是 TSP-Link™,這種通訊匯流排讓多個TSP儀器能設定在一個主/從網路。TSP-Link 能擴充測試系統,讓具備TSP功能的儀器,像是 Series 3700 與Series 2600 SourceMeter&reg; Instruments 能根據未來的測試需求進行擴充。這類具備TSP功能儀器為測試工程師提供基礎單元,針對設計各種緊密整合、高產能的自動測試設備(ATE)系統。 9 Y& U( s+ p4 W3 V
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Series 3700 System Switch/Multimeter是市面上首款 LXI Class B 相容切換開關系統。它包括一個10/100M Base-T乙太網路連結、 LAN–based 儀器觸發、以及精準的時間協議(Precision Time Protocol , PTP)同步。並未包含在LXI Class C 相容儀器的PTP 同步化功能,讓多個 Class B-enabled 儀器能進行時間同步化,讓時間標誌和事件能準確協調。互動式的圖像式網路伺服器讓使用者能快速且輕易地運作、疑難排解、以及學習如何使用儀器。Series 3700 亦提供其他程式控制介面,包括USB與GPIB介面。 1 k1 R* m2 B" E; z

5 Y7 X* }/ ?6 i- |Series 3700 還包括6個可選擇的高密度與一般用途切換開關,能支援各種訊號與控制,包括多工器、陣列、以及獨立式切換開關功能。Model 3720 與Model 3721,是雙組1X30 與雙組1X20多工器切換開關,分別支援一般用途的切換開關功能。Model 3722 是一款雙組 1X48 高密度多工器切換開關,適合支援需要多通道數的一般型切換開關應用。Model 3723 是一款雙組1X30 高速多工器切換開關,使用高速、使用壽命長的磁簧繼電器,其啟動時間不到0.5微秒。Keithley的Model 3730 6X16 高密度陣列擴充卡提供96個雙極交叉接點。Model 3740 是一款32通道獨立型切換開關,適合用來傳送電源訊號或其他高電流訊號。在滿載時,Series 3700 主機支援 576 雙線多工器通道,具備領先業界的通道數目密度,能節省寶貴的機架空間,並降低測試成本。Keithley 將於2008年為Series 3700系列推出更多擴充卡。
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發表於 2007-9-22 10:22:35 | 只看該作者

美商吉時利儀器公司推出兩款SOURCEMETER®系列產品

具備低電流處理能力,提供快速、精簡且經濟的參數測試
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台北訊 – 2007年9月21日-新興量測方案領導廠商美商吉時利儀器公司(Keithley Instruments; NYSE:KE)發表其Series 2600電源電錶 SourceMeter&reg; Instruments系列兩款專為半導體參數分析與測試而推出的業界最先進最具成本效益的解決方案。Models 2635 與2636 提供一種在解析度達1fA (10-15 安培)的環境下嶄新且獨特的參數分析方案,許多半導體、光電、以及奈米元件經常必須在這種環境下運作。此外,其儀器型(Instrument Based)、多重通道的架構,使其比一般主機型的訊源量測解決方案節省50%的成本。透過其 Test Script Processor (TSP™) 與TSP-Link™互聯匯流排,這些新工具讓工程師能迅速建立高速的測試系統,適合應用在研究、特性規劃、晶圓分類、可靠性、製造監控、以及許多其他的測試應用。有關Series 2600 SourceMeter的詳細資訊請參考http://www.keithley.com/pr/075. + H$ D- v: k, w
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Models 2635 與2636 提供低成本的直流與脈衝測試,範圍從10-15A(femtoamps)與10-6V (microvolts)一直到200V/1.5A。它們能與PC配合,也能獨立運作,測試速度是一般大型主機訊源量測解決方案的4倍。此外,每部儀器都含有微處理器,讓客戶能輕易編程以及獨立執行簡單或複雜的測試程式(描述檔),像是電壓/電流源、量測、測試程序控制、以及條件式程式分支的決策。由於它們能輕易整合到自動化系統的其他儀器,因此非常能吸引元件製造商和半導體製造廠,用來進行晶圓層級的測試和封裝元件測試。此外,其低廉的成本,也非常適合各領域的研究機構和學術單位,這類機構需要快速且輕易地量測元件與材料的I-V屬性。  
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2 D& G/ U: w8 J8 f1 }" u) w8 ?擴充容易,帶來最低的持有成本 4 _4 G8 k/ {- H7 [0 A, _
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Models 2635 與2636 讓使用者能大幅降低對中低針腳數元件或是多重元件與材料樣本的測試成本。它們能以單一台儀器扮演多部精準儀器的功能: 電壓/電流源、電壓/電流錶、多功能數位電錶、低頻脈衝產生器、以及任意波型產生器。這些功能由測試腳本處理器(Test Script Processor,TSP)來控制,TSP讓儀器能下載與執行程序可控制的的時間序列(programmable sequence)。這消除了資料傳輸以及PC的運作負荷,帶來重要的速度提升,並提供完整的控制彈性,能針對不同的測試狀況進行調整 1 O; @( k- h) n2 Y

/ O7 y: a& e5 b6 ^+ S除了TSP外,Keithley的TSP-Link 主/從連結機制,提供一個高速、低延遲的介面,連結其他TSP型儀器,支援簡易的多重設備與多重儀器軟體控制功能。其中一項重要優勢,就是2600系列測試系統能針對目前與未來的需求輕易擴充。多部單通道 (Model 2635) 設備和雙通道 (Model 2636) 設備能緊密整合,不需要主控端的大型主機。這種不須依賴大型主機的擴充能力,讓系統能擴充至每個GPIB位址支援32個通道,同時還能減少成本、機架空間、以及擴增未來通道耗費的時間。運用2600系列的特定產品,使用者可以標準化二至三部SMU設備,針對各種應用進行10安培脈衝或 3安培直流的測試。SMU僅須改變執行的測試描述檔,就能立即改變用途。  
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更短的測試時間
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. B( S1 ]. j3 z. I6 W/ hKeithley所有TSP型系統都能儲存與執行數千行程式碼,進行預先規範的元件測試,包括有限比較、通過/失敗決定、零件檢測分類等; 在執行測試時不論是否搭配PC控制器,它們都能運作。此外,其數位I/O能直接控制探測頭、輸送機具、以及其他儀器, TSP-Link 讓使用者能執行高速的自動化測試,涵蓋多個通道和儀器,不需透過GPIB資料傳輸。讓測試時間比舊型序列式儀器減少10倍; 在元件測試中一般則可將測試時間縮短2至4倍。' x* p# M! _0 {4 p- `4 a  ~
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當Models 2635 與2636 與同樣整合TSP與 TSP-Link的Keithley新款Series 3700 System Switch/Multimeter 儀器相結合時,能夠支援範圍更廣的高速應用。這兩款產品提供基本的元件,能緊密整合高效能的多通道開關系統與多通道I-V量測功能。測試工程師可使用它們,輕易開發出低成本的ATE系統,並針對半導體高負載測試或是功能封裝元件測試等各種高吞吐量應用進行最佳化。 5 U) V! ^" f" ?: U$ O+ X8 z

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以往業者在針對基本的研發與高速生產測試方面,開發多台儀器特性分析或ATE系統時,都面臨嚴苛的挑戰。Keithley 透過兩款免費軟體工具來解決這項問題,這些工具大幅簡化Series 2600 SourceMeter的系統化作業。在研發與曲線追蹤等應用方面,Keithley的LabTracer™ 2.0 軟體能控制8個SourceMeter通道,不需撰寫任何程式就能執行元件的特性分析。這款軟體讓使用者能輕易地完全設定每個通道,執行元件的參數測試、以及描繪測試資料。
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' p0 ?8 Y3 T9 [在高速生產應用方面,測試腳本處理器(Test Script Processor,TSP) 可透過一種簡單的BASIC語義程式語言來撰寫程式,並在儀器內不須編譯立即執行。直覺化、簡單易用的介面,相容於所有主流程式語言。Keithley 提供內建的測試描述檔,可進行掃瞄、脈波等波型產生、以及一般元件測試等作業。許多測試描述檔已嵌入在儀器中,使用者也可免費至網站下載更多的描述檔(http://www.keithley.com/). 這些預先撰寫的測試描述檔,可照原樣執行或輕易進行客製化,讓產品使用者能比以往更快啟用系統,並發揮更快的執行速度。 5 r& A8 R" y, N; L' Q
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使用者也可透過其他方法建立客製化測試描述檔,包括一個免費的程式撰寫工具,名為測試腳本建立器(Test Script Builder),能協助使用者建立、修改、除錯、以及儲存TSP描述檔,全程僅須使用其簡單的指令語言。使用者的描述檔可從PC下載到主控端的SourceMeter,並儲存在非揮發性記憶體。達16mb的儲存容量,能儲存50,000 行的TSP 程式碼,以及超過10萬筆量測數據。許多研究顯示,運用TSP和相關軟體,相較於前一代的測試序列儀器,使用者能縮短50%至75%的系統開發時間。  
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Keithley亦透過全套輸出的整合式測試系統,提供Series 2600儀器的各項優勢,這款系統由其自動特性分析套件集成測試系統(Automated Characterization Suite,ACS)負責驅動。Series 2600 儀器支援可擴充的訊源量測通道計數,並能針對各種半導體測試應用進行高速測試,其中包括晶圓層次可靠性測試、可設參數的晶圓晶粒分類、以及自動特性分析。例如,許多量測作業需要前所未有的量測速度,像是即時NBTI,能以序列或平行模式,根據測試計畫在元件、晶圓、或晶舟等層面上執行。ACS的彈性和使用便利性,能完全控制系統儀器,提供一個功能強大的晶圓描述工具,支援半自動與全自動的偵測控制,允許自動執行測試計畫,以及進行深入的結果分析。ACS發揮Series 2600的彈性優勢,讓Keithley得以獨家提供這類的自動化系統。
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發表於 2007-10-25 18:52:03 | 只看該作者
美商吉時利儀器公司推出全新業界領先4200-SCS- m: t: U8 N% c9 E; g+ u9 |" F* Z
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包含整合式C-V模組和軟體使得C-V/I-V/PULSE測試更精確更迅速

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台北訊 – 2007年10月25日 - 新興量測方案領導廠商美商吉時利儀器公司(Keithley Instruments; NYSE:KEI)針對其功能強大的Model 4200-SCS半導體元件特性分析系統發表新款C-V量測儀器。Model 4200-CVU 儀器可將CV量測模組,插入Model 4200-SCS的插槽,快速且輕易地量測fF至nF的電容,支援10kHz至10MHz的頻率。Model 4200-CVU其創新設計含有8項申請中的專利。這項設計提供直覺式點選的操作介面、及內建的元件模組以取得有效的C-V量測數據。讓每個使用者都能更輕鬆的執行C-V量測。
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$ F; `9 f6 I2 t: e詳細資訊請瀏覽http://www.keithley.com/pr/078# D9 X9 Y, r; L$ n: |) V
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Model 4200-CVU 內含最完備的測試資料庫,大幅提升測試的效率。運用Keithley的Model 4200-LS-LC-12,這款特製交換矩陣、擴充卡搭配纜線及轉接器的組合,僅須一次量測就能完成緊密整合的C-V/I-V測試。選購的Model 4200-PROBER-KIT 套件,讓Model 4200-SCS 能輕易連結至最普及的探針,建構一個全面的C-V測試系統,易於設定與執行I-V測試。 
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廣泛的應用支援9 q; O+ B; z6 \( l& s) |
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透過這些4200-SCS 系列最新產品,吉時利在C-V量測方面取得領先地位,如今能透過單一半導體測試儀器滿足範圍最廣的應用,涵蓋探針的配置、元件類型、製程科技、及量測方法,包括pulse I-V。Model 4200-CVU 和選購模組能解決其他特性曲線分析系統面臨的許多問題 ─ 不是無法提供整合式C-V/I-V/pulse功能,就是其使用者操作介面與軟體資料庫的支援有限。此外,系統的彈性與強大的測試執行引擎,可把I-V、C-V、及脈衝測試整合在相同測試流程。因此,Model 4200-SCS能以一個緊密整合的特性曲線分析解決方案,取代各種電子測試工具。吉時利的Model 4200-SCS也能支援 C-V/I-V/pulse 並搭配其他儀器等測試方法,這些特色讓4200-SCS/CVU 解決方案適合支援:
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.半導體技術開發 / 製程開發 / 可靠度實驗室
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.材料與元件研究實驗室與聯盟
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! m; M. F4 E  {; C/ P# W5 T.需要桌上型DC或pulse儀器的實驗室
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.大多數需要多重用途 / 多重儀器小型設備的半導體實驗室與使用者 ) z% i. R3 y& c8 L6 T$ z2 ]

! b6 u2 E9 v- m4 |功能強大的軟體
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8 x& }. S3 `9 B4 g4 r- hModel 4200-SCS 比起市面上的半導體特性曲線分析系統、擁有更簡易操作的Windows介面(GUI)。根據累積多年顧客互動與意見回饋進行研發,使用的簡易性擴及新款Model 4200-CVU 硬體與軟體模組,是其互動測試環境與執行引擎的自然延伸方案。吉時利為支援Model 4200-CVU 硬體,推出眾多樣本程式、測試資料庫、以及內建能立即執行的參數擷取範例。八個軟體資料庫提供範圍最廣的C-V測試與分析。它們涵蓋所有標準應用,包括C-V、C-t、及C-f量測與分析,支援高與低K介電係數結構、MOSFET、BJT、二極體、快閃記憶體、光伏特元件、III-V族複合元件、以及奈米碳管(CNT)元件。除了接合面、針腳對針腳、和互連電容外,分析與參數擷取軟體還能計算出摻雜情況、 氧化層厚度、移動電荷、載子生命週期等資料。這些測試結果包括各種不同的線性和客製化的 C-V 掃瞄、以及 C 對時間和 C 對頻率掃描。5 j) R. `' w. z
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有別於其他特性曲線分析系統,吉時利 C-V/I-V 會在一個紀錄詳盡的開放式環境中進行分析與擷取程式運作,讓使用者能輕易修改與客制化設定其運作程序。整合型的範例程式,是根據吉時利工程師累積的應用知識所規劃,協助縮短開發時間。 $ N$ z0 j& ^2 d
Model 4200-CVU 還含有各種先進的偵測工具,協助確保C-V測試結果的有效性。若不確保測試結果是否精確呢?僅須點選螢幕上的 “Confidence Check” 按鈕,或使用即時前方面板,隔離測試區域以便進行驗證。 9 x9 L$ X! p4 Q& F. t
Model 4200-SCS提供最佳的使用者經驗,帶來最短的學習曲線。它能解決半導體實驗室管理者面臨的許多問題,協助他們提高元件特性分析與模型建構時的生產力與效率。 # t3 U, \+ T8 _% W

! ]9 V4 g% p* i+ U1 D0 P) N為更高的量測效率打造 
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Model 4200-CVU最受稱讚的是其優異的量測準確性、速度、效率,這歸因於Model 4200-SCS的高速數位量測硬體,以及緊密的硬體與軟體整合,還有吉時利秉持的低雜訊系統設計原則。這些優點的組合,意謂Model 4200-CVU 能大幅增進使用者的生產力,不論工作是簡單的設定單一量測作業,或透過滑鼠點選的方式執行一連串的預設測試程序、或是像觸發與執行多個C-V掃瞄等複雜作業。系統的高速數位架構,意謂著Model 4200-CVU 能以即時模式執行與設定C-V掃瞄,速度超越任何其他廠商的C-V儀器。 : A3 s& o& {7 v& @$ h! A; K" N

2 ~% H' Z/ p- ]! a9 N: b高度多元化的測試環境 / l, k. S  z3 i, N- ^# ^6 C; O

) g+ v  O& r6 d- B7 [除了把 I-V/C-V/pulse 測試功能整合至一個彈性化、完全整合的測試環境外,Model 4200-SCS 使用者還有許多其他方案可選擇。其中包括最多8個中或高功率SMU,雙通道脈衝與波形產生器、以及一個整合式數位示波器。和 Model 4200-CVU一樣,這些儀器都能插入至 Model 4200-SCS 插槽,並透過功能強大的Keithley Test Environment Interactive (KTEI,7.0版)軟體環境來控制。這個點選式介面能加速測試設定流程、測試程序控制、以及資料分析的作業。KTEI 還能控制各種外部儀表,包括大多數探針台、加溫基座、測試治具、以及吉時利高完整性矩陣式切換開關,提供業界最高的連結彈性。
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4 i, j6 w8 w7 _# a, V7 O! R2 d避免設備快速淘汰 # q+ \. C# W, b/ t
許多儀器製造商持續推出的產品,彼此之間可能無法相容,新產品的問市,經常代表前一代設備必須走入歷史 ─ 完全無法保護客戶的投資。Keithley持續將硬體與軟體升級至Model 4200-SCS的策略,意謂Model 4200-CVU模組,以及所有相關的軟體與選購硬體,都能更新至首款Model 4200-SCS。這種輕易升級的管道,讓客戶不必每隔幾年就須購買新的參數分析儀,以配合元件或材料技術的創新發展。客戶僅須以低廉的成本就能升級系統,以配合業界持續演進的測試需求,讓投入至Model 4200-SCS的資金能進一步延伸, 超越其他廠商的測試解決方案。此外,外部硬體與開發測試程式的需求,也減至最低程度。 0 M. p7 s9 ?9 a) `" |
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      4200-CV_PR

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發表於 2007-10-25 18:54:37 | 只看該作者

吉時利儀器公司推出業界領先MIMO射頻測試解決方案

搭配新型訊號分析軟體 提供RF訊號產生器和分析儀更高負載力; o$ ^0 J5 y( e

, ~( Y5 e, J" I4 u台北訊 – 2007年10月25日 - 新興量測方案領導廠商美商吉時利儀器公司(Keithley Instruments; NYSE:KEI)針對新一代射頻通訊設備的研發和生產測試發表業界領先4X4 MIMO射頻測試系統(multiple-input, multiple-output RF test system)。MIMO射頻測試系統包含新款Model 2920向量訊號產生器(Vector Signal Generator,VSG)、Model 2820向量訊號分析儀(Vector Signal Analyzer,VSA)、Model 2895 MIMO同步單元以及強大MIMO訊號分析軟體。並沒有其他MIMO測試系統在工業界提供:
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.支援4X4 MIMO應用. J- `$ m4 Y2 h5 \2 F
.支援多種產業標準,涵蓋行動電話、WiMAX和WLAN
  c! f7 P. k$ ~.±1nS 訊號取樣同步化3 ^# Q' D6 I+ r( k; U% G
.低於1nS peak-to-peak訊號採樣延遲變化量
+ i4 Y% S; l9 X& I$ y" E& K2 ^.射頻載波相位顫動(RF-carrier phase jitter)值:低於1度峰對峰值
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  }6 ]" i9 q; H/ R+ A- n$ Z5 W吉時利推出的全新系統藉由與這些高性能量測規格相容,可支援MIMO,對諸如802.11n 40MHz WLAN MIMO以及802.16e Wave 2 Mobile WiMAX進行量測。有關吉時利MIMO射頻測試解決方案請參考www.keithley.com/pr/077* O) T  b3 h* @

5 G  O3 Q" f) S6 t+ R2 {3 hMIMO為一快速發展的科技,使用多個無線電收發資料。在射頻通訊設備中,增加資料傳輸量而不需額外頻寬。吉時利的4X4 MIMO 測試能力提供最先進、高性能MIMO測試平台,可供未來產品發展以期能藉由簡單的軟體升級達到最複雜訊號結構的測試,包括WiMAX Wave 2和4G長期演化(long term evolution,LTE)和超行動寬頻(ultra mobile broadband,UMB)。
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高達6GHz,高度精確並具備可重複性的量測
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吉時利MIMO射頻測試解決方案由支援高達6GHz的頻率範圍、新的射頻訊號產生器跟射頻訊號分析儀所組成。吉時利蓬勃發展中的射頻產品線中最新的產品為Model 2920向量訊號產生器。Model 2920使用的頻率範圍可在10MHz-4GHz或是10MHZ-6GHz。一個可選用配備80 MHz任意波型產生器、搭配100x106取樣數 波型記憶體的頻寬,給予使用者測試商業通訊訊號廣大陣列的能力,包括GSM、EDGE、W-CDMA、cdma2000、 SISO WLAN和工業界最苛求的802.11 n 40MHz WLAN MIMO訊號。8 U8 F8 W) p& h" v8 ?
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吉時利新推出的Model 2820向量訊號分析儀具有40 MHz的標準頻寬,分佈在4 GHz或6GHz的結構。Model 2820具備多功能並能測試各種不同訊號,包括:GSM、EDGE、W-CDMA(uplink/downlink),以及cdma2000,伴隨著大量WLAN訊號,例如MIMO和SISO中包含的802.11n 40MHz WLAN MIMO訊號。
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吉時利MIMO射頻測試解決方案提供訊號精確同步化、低取樣器和射頻載波相位顫動,並包含高準確、可重複性的量測,以確保產品的高品質和高產量。此外,Model 2820和Model 2920可被設定在2、3或4通道的架構裡。這些雙重目的的儀器可獨立作業也可作為4X4 MIMO測試系統的一部份,所以使用者不需要添加個別的訊號分析儀或訊號產生器。2 ]- H+ q: Y6 H

5 n+ @9 T4 L# Y5 B' V1 rMIMO同步單元提供精確跟穩定的校準
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7 e$ Q$ u* r) Q* Y5 lModel 2895 MIMO同步器提供訊號來同步MIMO測試系統中儀器,最多可至4X4 MIMO測試同步。使系統在最多4個訊號分析儀跟訊號產生器間高精確跟穩定的校準。Model 2895分配一般訊號例如局部震盪器(local oscillator)、共同時脈和精確的觸發器到所有被連結到系統的儀器,並允許精確和可重複的量測 OFDM MIMO訊號。; @) p  @/ \* n4 Z# g: h  c* V! q6 i+ C

2 k$ ?* [6 O0 [3 n) T& t' i: z1 s業界領先的軟體分析工具
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& ~) A5 p8 M- ]吉時利也推出Model 280111 WLAN 802.11n MIMO訊號分析軟體。其為業界領先的個人電腦分析工具、針對802.11x的單通道或多通道訊號分析。這個最快、最強力的軟體工具以分析所有802.11x訊號也能夠支援4X4 MIMO通道架構。該軟體使用者介面很容易設定也配合著SCPI指令在測試系統中快速設定。' B* y8 C% u4 M- q8 T( S8 `4 I

8 |) v( N; W* U8 F+ w: h' P. q) V吉時利的4X4 MIMO射頻測試系統對研發工程師以及WLAN和WiMAX設計研發中心的設計人員是相當理想的。此外,相關於3GPP手機生產和射頻功率放大器製造的測試工程師、W-CDMA基地台和其他可應用於國防和航空的無線連結解決方案,也可利用這些強力測試系統所提供的速度性、準確性和彈性。$ l+ `" p; N+ c" |

8 o* u, }8 I# }2 s吉時利下一代射頻儀器被設計以應付今日無線科技的設計人員跟製造商所面對的挑戰,並適合大多數未來技術。吉時利的射頻測試儀器被建立在下一代儀器平台,該儀器平台使用最先進RF和高速DSP科技以減少測試成本跟縮短上市時間。它們提供必需的量測精確度以確保高品質、高產量、高測試速度跟低設備成本以減低測試成本。
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 樓主| 發表於 2008-2-13 18:28:37 | 只看該作者

KEITHLEY 推出 ACS 3.2 版自動特性分析套件軟體

提供新型平行測試與參數化晶粒分類功能 能支援更高的處理流量 ! ?  K' b: N" c
台北訊 -- 2008 2 1 3 -- 先進量測方案領導廠商美商吉時利儀器 (NYSE:KEI) 宣布推出 3.2 版的 ACS (Automated Characterization Suite) 軟體,支援 半導體元件測試,以及元件、晶圓、晶舟層級特性分析的功能。全新推出的 3.2 版本加入了強大的多部位並行測試 (multi-site parallel test) 能力,大幅提昇 ACS 整合式測試系統的自動化功能,除適用於晶粒分類與新型晶圓層級座標定位等應用,也能支援 Keithley 新款具備 1f A 電流量測解析度的 Models 2635 2636 System SourceMeter 儀器。這些新功能組成一個符合高測試彈性與產能速度,且極具價格效益的測試解決方案,同時此方案也適用於實驗室和生產設定等無人操作的環境。" a8 V1 [0 D1 U  }

: z* z8 Q. u" R$ {. G4 I% {" P更高的彈性與 產能速度 / s& Y1 H2 ?, ]( S
新型半導體技術要求花費更少的作業時間與資源、執行更多測試並具備更強資料收集的能力。為符合此一需求,不用針對個別生產線開發量測方案,而以一組現成軟體套件即可驅動的電源量測單元 (SMUs) ,仍是最具成本效益也最具彈性的選擇。 Keithley 新發表的 3.2 版自動化特性分析套件 (Automated Characterization Suite, V3.2) ,即為一套完備的軟體套裝,且包含許多現成的應用程式,能與 Keithley Model 4200-SCS 2600 系列 System SourceMeter instruments 以及其他 SMU 構的系統完美搭配,有效縮短產品上市時程同時減省整體測試成本。 & g! _$ Q# N- \8 H7 M% _

0 h& \+ M+ o4 G% O5 }" I8 P多元件 (Multi-site) 測試 4 m" L: D$ A) V5 ]0 E3 \$ l
多元件測試的整合性結果篩選,需要許多特殊功能來管理從晶圓定位到輸出分類檔案等測試工作流程。 3.2 ACS 能針對晶舟層級進行自動化作業,支援更多無人操作的測試功能,收集大量的統計資料樣本,進行模型建立與流程檢驗,提高工具的使用效率。 ACS 用一種邏輯與實體元件的定義方式,讓系統能並行測試電路結構與元件。之後再透過測試執行流程,把測試結果對應到邏輯部位。並行測試的執行選擇,僅須點選幾次滑鼠鍵,就能從序列測試模式切換至真的並行測試模式。
8 F2 `9 ~6 w; F9 ~9 q2 F4 K1 R/ i
達成以上所述功能的關鍵技術就是 2600 系列 System SourceMeter 內建的 Keithley TSP-Link 。晶圓級的座標定位,讓使用者能輕易移動到晶舟中的任何晶圓,檢視每片晶圓的多色分類圖 (multi-color binning plot) 。使用者僅須點選檢視中的邏輯部位,結果就會立即標上分析參數,並在測試規劃階段加以套用。 - \7 m. y0 J( Z- N
& N# A! Q) R/ F, W3 l
晶粒分類測試應用
. \. G9 u2 u; p' l9 RACS 在每片晶圓上能處理多達 10 萬個晶粒,極具效率。其晶圓描述工具更支援圖型縮放功能,能處理高晶粒數的晶圓。為進一步加快晶粒分類測試速度, ACS 支援可編程的條件設定,當測試顯示元件不符標準時,就省略後續的測試程序。探針測試程序可配合測試圖樣或實體進行最佳化,以提高探針與測試硬體的使用效率。 2600 系列與 Model 4200-SCS 所具備新型較大的參數化測試元件庫能縮短測試的設定時間,使用者存取點 (UAPs) 功能讓使用者能擴充 Keithley 測試執行引擎的功能與特色,包括產生分類檔案 (binning files)
9 O$ T- J8 o. }" N$ c延伸支援 $ a9 Z! g* Y$ X5 H
ACS 現加入支援 2600 系列 System SourceMeter 單元的能力,並具備更高的電流靈敏度。其中包括單通道 Model 2635 與雙通道 Model 2636 ,電流量測的解析度降至 1f A ,來源電壓可達 200 伏特。 2600 系列 System SourceMeter 儀器適合進行各種半導體元件可靠性測試,包括矽元件可靠性測試,像是負偏壓溫度不穩定性 (negative bias temperature instability, NBTI) ACS 也支援測試結果的即時描繪功能:例如以圖形顯示像 TDDB NBTI HCI 等可靠性測試的結果。 ) M; Y* a. P2 c: d# X4 G
" n9 n3 D6 p6 D3 y0 }/ R
新功能包括: 9 ?( g' D" q0 {5 v2 b% s
·邏輯與實體測試點,支援多測試點並行測試作業 3 @6 C5 @, V3 u5 K' L' A
·每片晶圓能處理 10 萬個晶粒
8 i# [; |8 A1 e7 B( P! k·測試點 (site) 或圖案的優先順序最佳配置 % E4 K( v/ G' A7 _1 I! L
· 針對元件、次測試點、測試點、晶圓、以及專案等級可選擇離開狀態
9 n& E% _7 g* f+ m& r·使用者存取點 (UAP) 讓使用者延伸 Keithley 測試執行引擎的功能與特色
+ G+ l  _+ i/ V4 T& B& Y+ v·晶舟取樣計畫 6 C9 l3 {3 r) Z  s6 [
·優先分類的功能,最多可分 16
) P- I7 ?* e' |3 t# q·邏輯測試點分類功能,支援多測試點並行測試 0 J! c6 m8 J1 T1 @
·晶圓級的分類功能,結合圖形資料分析與晶圓級導引 點選一個邏輯測試點就能檢視選定測試作業的圖形化分析結果
3 j- g! f) G" G" E·即時描繪測試結果與分析資料 ; K3 i5 O9 M- v- P* ?) x  \7 H
·新增的大型參數與可靠性資料庫 : V& Y) c- K# r: ~# X: P
·支援 Models 2635 2636 System SourceMeter 儀器
# E/ J& K5 D- Q" {供貨時程 , V6 @- t7 a( e  n/ n
Keithley ACS 整合式測試系統產品現正供應中9 z1 V8 p! f! W% _. O1 h. [

, {9 C7 _" i4 K/ Z. L[ 本帖最後由 jiming 於 2008-2-13 06:30 PM 編輯 ]
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發表於 2008-3-12 18:46:56 | 只看該作者
KEITHLEY 與STRATOSPHERE SOLUTIONS 攜手達成SUB-65nm先進製程特性分析* o' U3 i% g+ g( H3 `, C
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合力推出經過矽實體驗證的互通解決方案,提昇參數良率
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台北訊 -- 2008年3月12日 -- 先進量測方案領導廠商美商吉時利儀器(Keithley Instruments;NYSE:KEI)宣布今後將與Stratosphere Solutions(Sunnyvale, CA)進行密切合作。Stratosphere Solutions是專為IC廠商提供創新參數良率改良方案的領導廠商。兩家公司將合作,運用Array TEG (測試元件群)技術,以支援先進製程的開發和監控。
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IC製造商試圖製造越來越小的元件,因此sub-65nm的製程變異參數,對設計與測試工程人員形成艱鉅的挑戰。也因此,半導體產業愈來愈需要能夠有效監控極端敏感製程的解決方案,以提高IC效能同時維持良率。 : ]; W1 W/ L! Z7 D

3 \4 a8 Q$ g' R2 `1 PKeithley 與Stratosphere Solutions 將為雙方的顧客提供獨特的特性分析架構,結合Keithley的S600系列參數測試系統 以及StratoPro™ IP,達成高產量、高流量、且可靠的參數量測,以確保顧客的成功。
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8 S$ ^+ g1 ^, q- S4 y# P2 [! F" J! N0 HKeithley事業管理副總裁Mark Hoersten表示:「隨著半導體技術的開展,元件微型化已達奈米等級,量測技術不僅必須跟上甚至還得超越製造商製造與測試這些元件的能力。作為半導體量測技術的領導廠商,Keithley希望與其他業界領導廠商合作,針對最先進的應用開發各種創新的解決方案。 」
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* G( P5 o+ u# K* ^+ R# G$ g* SStratosphere Solutions策略長Prashant Maniar則表示:「我們很高興與Keithley合作,連結最頂尖的工具,推出各種創新、立即可用的互通解決方案。當技術邁向45nm製程,越來越多客戶面臨改進參數良率的挑戰;我們所共同推出經緊密整合且通過矽實體驗證(silicon-proven)的解決方案,能協助客戶提高參數良率、降低改進參數良率的成本、縮短測試時間、進而提高投資報酬率(Return on Investment, ROI)。
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/ B1 H& A* k' R* l% D+ O  uKeithley的S600系列參數測試系統能針對日新月異的元件技術進行調整,協助晶圓廠與晶圓代工業者降低測試的成本。此外,還能夠以極低的成本改成DC、RF或是array TEG測試器,藉由設備資產的再利用,降低整體測試成本。Series S600的最新成員Model S680,在單一測試系統中,融入平行測試功能、高DC靈敏度分析、fA等級的解析度、以及高達40 GHz的RF S參數量測功能,在65nm技術層級,提供業界最高的處理速度以及更低的持有成本。
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Stratosphere獲獎無數的StratoPro屬於array TEG 架構產品。隨著製程技術精密到65nm,這類架構產品在半導體製程的特性分析上變得更為重要。此外,頂尖半導體廠商需要業界標準的方案來協助,StratoPro可符合這些需求,因為能在相同的矽元件空間內提供高出數千倍的密度、最高解析度的量測能力、 以及更優異的整體測試完整性。
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9 ?' a5 |9 ^: n+ a& m( G, k3 PStratoPro™是一款Parametric ActiveMatrix™ 矽元件IP 平台,讓晶圓廠與輕晶圓廠客戶能進行高準確性的特性分析,並得到各項電氣參數及其變異等晶粒內的統計數據。客戶可選擇經過65nm與45nm矽實體驗證的StratoPro平台,因為它提供10到1000倍的測試結構密度,能執行極高解析度的量測,搭配Keithley的測試器平台,更大幅縮短測試時間。晶圓廠客戶可在製程發展初期、良率提昇、以及生產監控等階段運用StratoPro™;輕晶圓廠客戶則可運用這款解決方案來分析與設計模式有關的製程變數。
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發表於 2008-5-20 11:14:20 | 只看該作者

KEITHLEY全新自動特性分析套件(ACS)測試系統證實五倍快速

新興量測方案領導廠商美商吉時利儀器公司(Keithley Instruments; NYSE:KEI)宣佈為其Automated Characterization Suite (ACS) 自動特性分析套件軟體,加入選擇性的晶圓級可靠性(WLR)測試工具,可支援各種半導體可靠度與使用期預測等應用。4.0版延續ACS軟體現有單部位與多部位並行測試功能(single- and multi-site parallel test capabilities);加入資料庫功能(database capability),以及多個軟體工具與可選購的新可靠性測試模組(RTM)與ACS 資料分析功能。新增的 可靠性測試 與資料分析 工具讓ACS-based測試系統在使用期預測的速度上,比傳統的晶圓級可靠度(WLR)測試方法快5倍。在技術開發、製程整合、以及開發新積體電路的製程監視階段,加快WLR測試速度,ACS系統能大幅縮短新產品的上市時程。欲得知詳細資訊,請瀏覽:https://Product Tour。8 Q& e" T- S9 Z9 O4 F
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ACS-based測試系統擁有硬體架構的彈性,能滿足元件、晶圓、或晶舟層級的半導體特性分析需求;並且能與Keithley的Series 2600 System SourceMeter&reg; 儀器、或Model 4200-SCS半導體特性分析系統結合,甚至能夠同時搭載兩者。 + T/ J/ W/ c. N* i) k" Y7 e

# J7 \4 V4 @/ k" s- w/ b真正並行晶圓級可靠性(WLR)測試方案能更快提供關鍵的元件資訊 ( O; J9 R" V) p4 b$ Q! q1 w
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晶圓級可靠性(WLR)測試方案能準確預測各種半導體元件的壽命,例如電晶體(transistors)、電容器(capacitors)、以及內部互連元件(interconnects)。這些在晶圓測試結構上執行的檢測,能反映出研發階段最為關鍵的可靠性資訊;在進入量產階段時,類似的測試程序可用來監控製程的一貫性。WLR測試的作法是讓元件持續面對高電壓、高電流、與/或高溫的考驗。不同於傳統的WLR系統一次只對一個元件進行加壓測試;安裝ACS軟體的新型WLR工具能並行測試多個元件,並能對每個元件施予不同的加壓狀況(電壓或電流)。 + A! Z. f( x1 p0 L

. g! K0 B+ H6 d4 [) S+ w: e. Q新衍生的技術挑戰、包括持續調整薄膜厚度以及元件在高溫環境應用的可靠性,讓並行WLR測試比以往更加重要。並行測試方法讓工程師藉由測試由多個元件組成的單一結構,找出使用期縮短的因素。傳統WLR測試使用的測試結構,有許多可運用在並行測試技術,因此在不必修改測試結構的情況下,提高系統的測試速度2至5倍。然而,這種真正並行的WLR測試有一前提,也就是在測試系統的架構中,每個針腳必須有自己專屬的電源量測單元(Source-Measure Unit, SMU)。: K# S( S8 a% [1 ?8 S: ~* Q) x4 q

' v$ Z- m) E! _& w' D( z( f配備多台Series 2600 System SourceMeter儀器的ACS-based測試系統,是唯一能提供每個針腳配置SMU的解決方案。將內建的Test Script Processors (TSP&reg;) 處理器透過一個TSP-Link&reg;虛擬背板(virtual backplane)連結起來,此一ACS系統能夠把多個網路連線的Series 2600儀器,簡化成為具高度彈性以及動態重組能力的SMU陣列。這種系統架構讓應用程式能指揮SMU,以一個大型、密切協調的群組來運作,也可分成多個較小群組,同時測試多個元件。Series 2600的內建處理器與虛擬背板(virtual backplane),加上業界頂尖的量測速度,得以提供精確的電源/量測時序,進而成功擷取高速運轉中斷事件的詳細資訊。ACS-based系統能與2-40個高功率的Keithley SMU搭配,支援高達200V或1.5A的電源量測。 / s4 O! {4 _  K" V0 _

: Y5 e* \7 p0 h6 M) _$ p5 t7 ^, p9 H簡捷的測試設定與分析功能
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. I7 x+ D% c+ I, j0 `+ X搭配ACS 4.0的全新選擇性可靠性測試模組 (可靠性測試 Module, RTM),為一強大的加壓/量測程序工具,提供一個互動介面,可以測試元件的可靠度(HCI、BTI等);閘極氧化層(gate oxide)的完整性(TDDB、JRAMP、以及VRAMP等);以及金屬連接性元件(EM)。該模組具彈性的測試程序功能,支援前置與後置測試作業,以及加壓內測試(intra-stress testing)與加壓監控(stress monitoring)。此外,該模組雖然依循JEDEC標準測試理論(包括像JESD61與JESD92)而設計,但也能提供必要的彈性,針對先進奈米等級結構,快速建立新的測試程序。# j8 z3 U  f0 E& J3 m/ x
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在測試可靠性時,原始的測試資料可即時紀錄到資料庫與/或描繪成圖表。這些即時圖表讓可靠性工程人員在完成測試之前能先行”快速一瞥”測試結果,以判斷這些耗費甚長的測試是否可能得出有意義的結果。可選購的資料分析模組能從資料庫匯入測試結果,並與分析專案中所定義的規則與模型相結合。如此一來,一旦分析流程定義清楚,就可以重複運用這個過程來輕易分析新匯入的資料。對於剛接觸WLR測試的人員,這個選項省去建立客製化分析軟體,還有人工處理資料表的功夫。然而,對於希望使用自己所開發客製化分析軟體的客戶,ACS 4.0也提供軟體工具,能輕易地從資料庫中擷取資料。
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資料分析 選購方案支援多種標準分析技術,像是常態密合(normal fitting)、加速以及對數常態(Lognormal)與韋伯(Weibull)等分佈模型。模型可輕易重新安排與編輯,以建立新的分析流程。內建的描述語言(scripting language)亦讓使用者能輕易定義自己的模型。此外,可靠性公式化工具提供各種先進功能,包括模型建立、線性密合(line-fitting)、標準參數擷取、標準數學函數,能以客製化的方式處理資料。
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離線測試專案開發與資料分析 0 E; H4 F$ }/ F8 V* F& @8 g! U
ACS 4.0 測試方案與資料分析選購方案能進行離線安裝(也就是說,安裝在沒有連線到電源量測儀器的PC上)。在多個使用者或部門共享相同ACS硬體的環境中,這種離線功能讓使用者方便地存取各種軟體工具以建立測試程序、離線檢視及分析資料,而不需連結至測試系統的工作站。在購買 資料分析 方案時,可選擇額外授權,進行多重的離線安裝流程;ACS測試方案可以離線模式進行安裝,不必額外的授權。   Y/ s$ O! |( Q; ^. Y: |- w
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彈性的硬體架構
: [4 P! G6 c6 ]1 ]( Z7 ^9 S  xACS 4.0 軟體能驅動各種由Series 2600 System SourceMeter組成的測試系統、或是單純的Model 4200-SCS 半導體特性分析系統、甚至是兩者組合而成的系統。整合各種獨特功能於單一系統,可靠性工程人員因此能整合各項優勢,例如高速、每個針腳配置SMU的彈性(Series 2600)、以及高功率脈衝I-V測試功能(Model 4200-PIV),來分析介面的陷阱(interface trap)以及等溫線的行為(isothermal behaviors),這些都是在新閘極堆疊技術(gate stack technology)中常見的特性。一般而言,Model 4200-SCS應用可用在可靠性實驗室,而Series 2600的高速特色,讓這些儀器適合用在製程開發、製程整合、以及製程監控等應用。ACS-based系統結合這兩種儀器,簡化元件從實驗室發展到晶圓廠的流程,讓工程師能在兩種環境中使用相同的特性分析工具。 % ^2 s2 V1 E/ B1 K$ B
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Keithley的ACS-based測試系統結合了各種WLR測試常見的硬體元件,包括廣受歡迎的晶圓探針(wafer probers)與探針卡轉接器(probe card adapters)、加溫座控制器(hot chuck controllers)、單部位與多部位探針卡(single- and multi-site probe cards)、以及高 溫探測選項等等。
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詳細資訊) j& D4 G, U. Q0 I7 q, ~
Keithley ACS整合測試系統可立即提供升級!有關ACS-based整合測試系統、或是Keithley任何半導體測試的解決方案,請瀏覽:http://www.keithley.com/products/semiconductor
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發表於 2008-12-15 17:40:05 | 只看該作者
原帖由 chip123 於 2008-5-20 11:14 AM 發表
/ N3 t! t& u" m& L" F新興量測方案領導廠商美商吉時利儀器公司(Keithley Instruments; NYSE:KEI)宣佈為其Automated Characterization Suite (ACS) 自動特性分析套件軟體,加入選擇性的晶圓級可靠性(WLR)測試工具,可支援各種半導體可靠度 ...
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KEITHLEY推出高成本效益的元件測試方案% ]* k* \8 v. P- R* x! M3 {
兼具使用上的簡便及強大的曲線掃瞄功能8 o$ \" d! g1 j; @( P

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  台北訊 – 20081215新興量測方案領導廠商美商吉時利儀器公司(Keithley Instruments NYSE:KEI)日前發表ACS Basic Edition,以及支援元件測試應用的特性分析和曲線掃瞄軟體。最新版ACS Basic Edition軟體進一步壯大Keithley的自動化特性分析套件(ACS)陣容,搭配業界最完備的電源量測單元(SMU),也就是Keithley SourceMeter&reg; 系列產品,可取代老舊的曲線掃瞄儀器,透過單一解決方案執行基本的曲線掃瞄及參數測試,並將成本壓至極低的水準。ACS Basic Edition 現已開始供應,欲進一步了解詳細資訊,請瀏覽
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http://keithley.acrobat.com/acsbasic/
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. _3 x( g: m# g2 ~2 C  Keithley2007年首先推出其ACS整合測試系統,提供獨特的量測功能,以及強大靈活的自動導向軟體,能滿足元件、晶圓、或晶舟層級的半導體特性分析需求。初期的ACS系統是針對大型晶圓探針台以及規模較大的晶圓測試應用所設計;而ACS Basic Edition鎖定桌上型的元件測試應用,這類應用雖不需整合式探針設備,但仍需要ACS平台提供的量測與軟體自動化功能。) a' ^9 f2 e! v  T/ \  u

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簡單軟體讓您輕鬆上手7 ~, a2 v0 y8 \! {/ ^$ z9 a
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  有別於其他測試系統,ACS Basic Edition提供一套龐大的資料庫,內含許多預設的元件測試程序,不僅能縮短啟動時間、減少程式碼的撰寫,還能簡化測試流程。ACS Basic Edition 結合了簡單易用的曲線掃瞄儀,以及參數分析儀的分析功能,任何人都可透過ACS Basic Edition輕鬆對一個半導體元件進行測試,並立即進行特性分析曲線與參考曲線的比較。
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2 t; m0 F6 I/ g# r& ?8 iACS Basic Edition提供一系列工具讓用戶根據不同元件類型輕鬆進行設定,技術人員僅須選擇所需元件類型的圖示,再選擇想要進行的測試項目,幾分鐘後螢幕上就會顯示特性曲線。ACS Basic Edition不僅搭配容易操作的曲線掃瞄儀,還提供空白表格讓您輕鬆套用格式。這項擴增功能得力於formulator,能針對未處理的曲線掃瞄資料進行數學或參數的擷取處理,意謂參數的特性分析,和曲線掃瞄儀一樣容易使用。在需要執行超過一種測試的情況,ACS Basic Edition 強悍的多重測試功能,讓使用者能在單一裝置上進行一連串的測試。
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9 v* f% h7 b% c: P9 `' iSourceMeter協助進行更廣泛的測試4 n1 G* ?) n# `+ ^6 E
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  KeithleySourceMeter系列產品提供ACS Basic Edition電源量測功能。ACS Basic Edition 能搭配全系列Series 2400Series 2600Series 2600A儀器,提供高功率或微小訊號的特性分析功能,涵蓋1KW脈衝一直到極敏感的 1fA量測解析度。在分析高功率元件的特性時,ACS Basic Edition通常會搭配Keithley Model 2612A雙通道SourceMeter系統儀器,這款儀器每個通道支援200V (兩個通道支援400V) 10A的脈衝( 1.5A連續式)。在更高功率的測試方面,ACS Basic Edition可搭配Keithley Model 2430 1kW Pulse Mode System SourceMeter尋找信號源及在150 微秒脈衝內、量測高達100V 10A的信號。在分析各種敏感元件─像是先進的矽閘(silicon gates)或奈米元件─的時候,通常會採用Keithley Model 2636A雙通道SourceMeter,提供兩個量測解析度達 1fA的電源量測通道。亦可組裝多部SourceMeter儀器以得到更多元化的功能。! K9 @! B- b6 j, K
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  ACS Basic Edition 不僅支援Keithley全系列SourceMeter系統產品,還支援各種切換開關解決方案、常用的 LCR 儀器、以及各種測試配件。結合ACS Basic Edition的多樣測試能力,加上 Keithley Series 3700 Model 707A 切換開關主機,讓系統能針對更複雜的元件其中包括排列電阻器(resistor network)、運算放大器、或其他針腳數較高的元件,執行一連串的測試。有些元件需要進行DC I/V測試,以及電容或C-V量測。ACS Basic Edition能輕易利用多樣測試與切換開關功能,執行 DC I/V測試以及 LCR 量測作業。2 l0 r! ~2 v: z. Q  N
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ACSACS Basic Edition軟體之間順暢切換
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) C9 X3 V) \* Y# P+ _+ ~  S: a  目前初期推出的ACS系統,支援封裝層級與晶圓層級的特性分析測試應用,包括參數化晶粒測試、晶圓級可靠性測試、參數特性分析、以及元件測試。包括新推出Basic Edition在內的所有ACS系統,均使用相同的關鍵設備,故能維持測試專案的可攜性,並維持系統間的相容。例如,在Basic Edition中建立的專案,可在任何使用相容硬體的ACS系統上執行。這意謂著小規模的ACS Basic Edition測試系統,可搭配運用在20SourceMeter儀器上,藉以發展一個多點晶粒分類測試系統(multi-site die-sort system)
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詳細資訊
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  有關Keithley ACS Basic EditionACS系統、或其他半導體測試方案的詳細資訊,請瀏覽 https://admin.acrobat.com/_a16893448/acsbasic/
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